氧化鎵熔點高達1900℃,不溶于水,微溶于熱酸或堿溶液。其β相穩(wěn)定性最佳,具有4.9eV的禁帶寬度(遠超硅的1.1eV和碳化硅的3.3eV),以及8MV/cm的高擊穿場強,使其在高壓、高頻、高溫等極端環(huán)境下表現優(yōu)異,未來發(fā)展?jié)摿薮?,全球競相角逐研發(fā),其中亞洲市場表現亮眼,近期傳出新動態(tài)。
近期,日本株式會社(NCT)宣布向全球合作客戶推出其創(chuàng)新的Planar SBD(肖特基勢壘二極管)器件。該器件基于全氧化鎵材料制造,標志著NCT在氧化鎵半導體領域的重大突破。
此次推出的Planar SBD器件為Research Sample(RS)級別,專為科研及早期應用探索而設計。產品提供兩種電極尺寸規(guī)格供客戶選擇:
規(guī)格一:電極尺寸為2.4mm square,適用于特定測試及應用場景。
規(guī)格二:電極尺寸為3.2mm square,提供更大的電極面積,滿足不同客戶的測試需求。此次發(fā)布的
Planar SBD器件旨在滿足客戶對氧化鎵器件的測試、分析及應用探索需求,進一步推動氧化鎵行業(yè)的產業(yè)化發(fā)展。
氧化鎵布局上,NCT公司于2021年推出了全球首個量產4英寸氧化鎵晶圓,并計劃2028年實現8英寸氧化鎵量產。
今年3月,杭州鎵仁半導體有限公司(以下簡稱“鎵仁半導體”)宣布,基于自主創(chuàng)新的氧化鎵單晶生長技術與大尺寸襯底加工技術,公司成功制備了全球首款8英寸(200mm)氧化鎵晶圓襯底,國內第四代半導體氧化鎵晶圓襯底率先邁入8英寸時代。
source:鎵仁半導體
資料顯示,鎵仁半導體氧化鎵晶圓襯底尺寸快速演進:2022年推出2英寸襯底,2023年推出4英寸襯底,2024年推出6英寸襯底,2025年推出8英寸襯底。
鎵仁半導體指出,未來氧化鎵應用前景廣闊,主要表現在三個領域:
功率器件領域,尤其是大于650V的中壓、高壓以及特高壓功率器件領域,比如新能源汽車快充、工業(yè)電源、電網高壓功率模塊等。
高功率射頻器件領域,氧化鎵的電子飽和速度、約翰遜優(yōu)值較高,在射頻器件領域具有很大應用潛力,比如通信基站和雷達系統(tǒng)等,對于通信、國防、航空航天等領域具有重要意義。
深紫外光電器件領域,氧化鎵還可用于日盲探測、輻射探測等特有領域?!叭彰ぁ弊贤馓綔y是近年來迅速發(fā)展起來的一種新型探測技術,主要應用于紫外預警、紫外偵察、紫外制導和紫外非視線通訊等軍事領域,以及環(huán)境監(jiān)測、生化檢測、工業(yè)燃燒過程控制、醫(yī)學紫外成像等民用領域。(集邦化合物半導體秦妍整理)