source：中導(dǎo)光電

據(jù)悉，中導(dǎo)光電NanoPro-1XX設(shè)備可以為碳化硅芯片制備產(chǎn)線提供全工藝過(guò)程缺陷檢測(cè)。

據(jù)介紹，相較于6英寸碳化硅晶圓，8英寸碳化硅晶圓的尺寸增大，對(duì)制造和檢測(cè)過(guò)程中的精度與工藝要求更高。中導(dǎo)光電投入大量資源研發(fā)，力求在晶圓表面納米級(jí)缺陷檢測(cè)方面達(dá)到更高的精確度和更復(fù)雜的工藝水平。

官網(wǎng)資料顯示，中導(dǎo)光電創(chuàng)立于2006年11月，是一家國(guó)內(nèi)平板顯示面板和半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備專業(yè)企業(yè)，其集成電路檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品覆蓋“無(wú)圖形”和“有圖形”晶圓檢測(cè)應(yīng)用領(lǐng)域，檢測(cè)靈敏度達(dá)納米級(jí)，已成功進(jìn)入客戶產(chǎn)線。

在碳化硅設(shè)備領(lǐng)域，11月18日，廣州粵升半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（下文簡(jiǎn)稱：廣州粵升）宣布，其已在今年9月實(shí)現(xiàn)碳化硅外延設(shè)備的大批量出貨。

廣州粵升表示，此批設(shè)備在第一代外延爐基礎(chǔ)上做了進(jìn)一步優(yōu)化設(shè)計(jì)，具備生產(chǎn)高質(zhì)量、高穩(wěn)定性的外延片生產(chǎn)能力。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）

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據(jù)悉，前道圖形晶圓檢測(cè)設(shè)備是半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中的核心設(shè)備之一，技術(shù)門(mén)檻高，對(duì)提高產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本、推進(jìn)工藝迭代起著重要作用。目前，雖然中國(guó)大陸已經(jīng)成為全球最大的前道量檢測(cè)市場(chǎng)，國(guó)內(nèi)廠商市場(chǎng)份額占比仍然較小。

此次交付用戶的NanoPro-150產(chǎn)品靈敏度系納米級(jí)序列，充分滿足半導(dǎo)體芯片90nm及以上產(chǎn)線制造工藝需求。該型號(hào)首臺(tái)設(shè)備于去年首次交付給國(guó)內(nèi)知名功率半導(dǎo)體企業(yè)使用，如今再次迎來(lái)訂單，表明了市場(chǎng)對(duì)該設(shè)備有著很高的認(rèn)可度。

圖片來(lái)源：拍信網(wǎng)正版圖庫(kù)

NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端產(chǎn)品，除與國(guó)際頂尖公司同類產(chǎn)品在靈敏度、檢出速度等主要性能參數(shù)相近外，還開(kāi)發(fā)和引入了許多先進(jìn)的AI算法和軟件，進(jìn)一步提高了信噪比，顯著提升了設(shè)備在關(guān)鍵制程的缺陷檢測(cè)靈敏度和檢出率。

此外，該設(shè)備還可兼容兩種不同的晶圓尺寸，如8英寸與12英寸、6英寸與8英寸、5英寸與6英寸等，拓展了設(shè)備使用范圍。

同時(shí)，該產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了精密光機(jī)電關(guān)鍵核心部件的國(guó)產(chǎn)化和自主可控，為產(chǎn)品的量產(chǎn)和穩(wěn)產(chǎn)提供了保障。

中導(dǎo)光電是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體前道圖形缺陷檢測(cè)設(shè)備的領(lǐng)軍企業(yè)。中導(dǎo)光電于成立以來(lái)的16年內(nèi)，在平板顯示（FPD）等工業(yè)領(lǐng)域，銷售各種亞微米（≥0.5μm）“有圖形”檢測(cè)設(shè)備近300臺(tái)。

公司目前進(jìn)入銷售和量產(chǎn)的NanoPro-1XX系列產(chǎn)品和MDI亞微米檢測(cè)設(shè)備，加上NanoPro-2XX和NanoPro-3XX將先后進(jìn)入市場(chǎng)，有望打破國(guó)內(nèi)企業(yè)重度依賴國(guó)外檢測(cè)設(shè)備的局面。（化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)Morty整理）

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