今年7月,楚江新材控股子公司頂立科技擬以自有資金2,941.00萬元投資建設(shè)碳化鉭產(chǎn)業(yè)化項目,助推碳化硅國產(chǎn)化。
圖片來源:拍信網(wǎng)正版圖庫
據(jù)悉,碳化鉭(TaC)涂層石墨件是SiC生長設(shè)備內(nèi)用于導(dǎo)流的重要易耗部件。TaC涂層石墨比裸石墨或 SiC 涂層石墨具有更好的耐化學(xué)腐蝕性能,尤其適用于 MOCVD 設(shè)備生長 GaN 或 AlN 單晶和 PVT 設(shè)備生長 SiC 單晶,采用這一方式所生長的單晶質(zhì)量可以得到明顯提高。(文:集邦化合物半導(dǎo)體 Arely整理)
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