車規(guī)級(jí)SiC半導(dǎo)體功率模塊產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目簽約

8月13日，據(jù)瑞福芯科技官微消息，瑞福芯科技總經(jīng)理周旭光與協(xié)同創(chuàng)新基金管理有限公司董事長李萬壽及總經(jīng)理丘煒雄、中科院先進(jìn)研究院中科中孵總經(jīng)理涂樂平、桉森芯（上海）微電子有限公司董事長陳建璋于8月9日組成項(xiàng)目調(diào)研團(tuán)，一起就瑞福芯科技“車規(guī)級(jí)SiC半導(dǎo)體功率模塊產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”落地江蘇東臺(tái)高新區(qū)進(jìn)行投資實(shí)地考察。

source：瑞福芯科技

考察后，瑞福芯科技與江蘇東臺(tái)高新區(qū)簽定了《車規(guī)級(jí)SiC半導(dǎo)體功率模塊產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目戰(zhàn)略合作框架協(xié)議》。瑞福芯科技擬落地江蘇東臺(tái)高新區(qū)，投資10-15億元建設(shè)第二研發(fā)中心和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)基地，首期啟動(dòng)資金投入1億元。

資料顯示，瑞福芯科技成立于2022年10月，注冊(cè)資本1000萬人民幣，經(jīng)營范圍含半導(dǎo)體分立器件制造、半導(dǎo)體分立器件銷售、電子元器件制造、電力電子元器件制造等。

碳化硅業(yè)務(wù)進(jìn)展方面，瑞福芯科技在去年2月與愛仕特簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，共同推動(dòng)SiC功率模塊在新能源汽車領(lǐng)域的應(yīng)用。

據(jù)悉，瑞福芯科技已建立預(yù)計(jì)年產(chǎn)30萬只的模塊工廠，主要產(chǎn)品為車用SiC MOS功率模塊?；陔p方簽署的戰(zhàn)略合作協(xié)議，在未來數(shù)年內(nèi)瑞福芯科技生產(chǎn)的SiC MOS模塊將全部采用愛仕特的SiC MOS芯片，愛仕特將為瑞福芯科技批量供應(yīng)車用功率模塊所需的1200V/17mΩ及1700V/17mΩ的SiC MOS芯片，并協(xié)助瑞福芯科技建設(shè)模塊工廠，保證其后續(xù)的量產(chǎn)需求。

納設(shè)智能南通新生產(chǎn)基地環(huán)評(píng)獲批

8月5日，據(jù)南通高新區(qū)消息，納設(shè)智能位于南通市南通高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)雙福路126號(hào)半導(dǎo)體光電產(chǎn)業(yè)園N2棟1F、4F的廠房近日獲得環(huán)評(píng)審批。

環(huán)評(píng)信息顯示，該項(xiàng)目總投資6000萬元，通過購置超聲波清洗機(jī)、電加熱烤箱、光學(xué)裝配平臺(tái)、氦檢儀、CV測(cè)試儀等生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行CVD外延設(shè)備生產(chǎn)，項(xiàng)目建成后，預(yù)計(jì)形成年產(chǎn)R02型號(hào)CVD外延設(shè)備230臺(tái)、R04型號(hào)CVD外延設(shè)備220臺(tái)的生產(chǎn)能力。

在碳化硅外延設(shè)備細(xì)分領(lǐng)域，納設(shè)智能6英寸碳化硅外延設(shè)備在2023年已批量出貨給多家外延客戶，也獲得了批量驗(yàn)收，業(yè)績相較于2022年增長了10倍。

在6英寸碳化硅外延設(shè)備出貨基礎(chǔ)上，納設(shè)智能研發(fā)并交付了8英寸碳化硅外延設(shè)備，其具備獨(dú)特的反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)、可獨(dú)立控制的多區(qū)進(jìn)氣方式等特點(diǎn)，將更好的提高外延片的均勻性，降低外延缺陷及生產(chǎn)中的耗材成本。目前，該設(shè)備已銷售給多個(gè)客戶。

在碳化硅襯底細(xì)分領(lǐng)域，納設(shè)智能自主研發(fā)的首臺(tái)原子層沉積設(shè)備在完成所有生產(chǎn)和測(cè)試流程后，于今年1月順利出貨。原子層沉積（Atomic Layer Deposition，簡稱ALD）是一種薄膜沉積技術(shù)，可歸于化學(xué)氣相沉積大類。相對(duì)于一般化學(xué)氣相沉積，其具有獨(dú)特的表面自限制化學(xué)效應(yīng)，因而可以逐個(gè)原子層生長各種化合物或單質(zhì)薄膜材料，實(shí)現(xiàn)更精確的厚度控制，可用于各類襯底材料的薄膜沉積。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）

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據(jù)集邦化合物半導(dǎo)體不完全統(tǒng)計(jì)，今年上半年共有納設(shè)智能、邑文科技、芯長征、芯三代、萊普科技、拉普拉斯、頂立科技等9家碳化硅相關(guān)廠商IPO傳出最新動(dòng)態(tài)，其中大部分動(dòng)態(tài)都是企業(yè)開啟上市輔導(dǎo)，正式開始沖刺IPO。

碳化硅設(shè)備廠商占據(jù)IPO舞臺(tái)C位

據(jù)集邦化合物半導(dǎo)體觀察，上述9家廠商當(dāng)中，有6家均為碳化硅設(shè)備相關(guān)廠商，在一定程度上顯示了碳化硅設(shè)備在碳化硅產(chǎn)業(yè)各細(xì)分領(lǐng)域中發(fā)展情況相對(duì)較好。

這6家碳化硅設(shè)備廠商當(dāng)中，納設(shè)智能于2022年2月生產(chǎn)的CVD外延設(shè)備據(jù)稱是國內(nèi)首臺(tái)完全自主創(chuàng)新的碳化硅外延設(shè)備，有望加速該類設(shè)備國產(chǎn)替代進(jìn)程。在此基礎(chǔ)上，納設(shè)智能進(jìn)一步研制出更大尺寸具有更多創(chuàng)新技術(shù)的8英寸碳化硅外延設(shè)備，順應(yīng)了碳化硅產(chǎn)業(yè)由6英寸向8英寸轉(zhuǎn)型趨勢(shì)，在技術(shù)上具有前瞻性。

芯三代與納設(shè)智能同為碳化硅外延設(shè)備廠商，芯三代研發(fā)的碳化硅CVD設(shè)備在高產(chǎn)能、6/8英寸兼容、CoO成本、長時(shí)間多爐數(shù)連續(xù)自動(dòng)生長控制、低缺陷率、維護(hù)便利性和可靠性等方面都具有一定優(yōu)勢(shì)。

邑文科技主營業(yè)務(wù)為半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備研發(fā)、制造。目前，邑文科技設(shè)備已導(dǎo)入泰科天潤、三安光電、積塔半導(dǎo)體、比亞迪半導(dǎo)體等國內(nèi)碳化硅知名企業(yè)。

萊普科技在晶圓制造領(lǐng)域推出了碳化硅晶圓激光退火設(shè)備；拉普拉斯則推出了碳化硅基半導(dǎo)體器件用超高溫氧化爐和碳化硅基半導(dǎo)體器件用超高溫退火爐，其中，碳化硅基半導(dǎo)體器件用超高溫退火爐用于碳化硅的高溫退火活化工藝，可以消除晶格缺陷，有效提高器件的可靠性和成品率；頂立科技主要產(chǎn)品則是碳及碳化硅復(fù)合材料熱工裝備、高端真空熱處理系列裝備、粉末冶金系列熱工裝備、霧化制粉裝備等。

從碳化硅產(chǎn)品生產(chǎn)流程來看，碳化硅粉末需要經(jīng)過長晶形成晶碇，再經(jīng)過切片、打磨和拋光等一系列步驟方可制成碳化硅襯底；襯底通過外延生長形成外延片；外延片再經(jīng)過光刻、刻蝕、離子注入、沉積等工序制造成器件，整個(gè)流程涉及到豐富多樣的設(shè)備。

上述6家廠商盡管主營設(shè)備類別不盡相同，但都有一定的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，在碳化硅產(chǎn)品相應(yīng)生產(chǎn)環(huán)節(jié)扮演了關(guān)鍵角色。得益于此，相關(guān)企業(yè)獲得了包括投資者在內(nèi)的市場(chǎng)各方大力支持。

從融資情況來看，納設(shè)智能、邑文科技、芯長征、芯三代等設(shè)備廠商都在近幾年連續(xù)完成了多輪融資。一方面，融資多意味著企業(yè)處于良性發(fā)展態(tài)勢(shì)；另一方面，融資資金有助于廠商進(jìn)一步加強(qiáng)運(yùn)營及研發(fā)方面的投入，進(jìn)而推動(dòng)長期業(yè)績?cè)鲩L。

碳化硅設(shè)備廠商業(yè)績報(bào)喜

在IPO大舞臺(tái)，碳化硅設(shè)備廠商占據(jù)C位，其中一個(gè)很重要的原因，是各大碳化硅設(shè)備企業(yè)戰(zhàn)果頗豐。尤其是對(duì)比部分碳化硅材料、器件等其他環(huán)節(jié)的廠商，碳化硅設(shè)備玩家普遍業(yè)績表現(xiàn)亮眼。

近期，國際碳化硅設(shè)備關(guān)鍵廠商愛思強(qiáng)、Aehr和Axcelis相繼發(fā)布了最新業(yè)績，均符合或超出預(yù)期。

其中，愛思強(qiáng)2024年第二季度初步總營收為1.32億歐元，相比去年同期的1.73億歐元有所下降，但也符合預(yù)期。其第二季度實(shí)現(xiàn)訂單總額1.76億歐元，其中，碳化硅/氮化鎵設(shè)備訂單占比最高，分別為58%和29%。愛思強(qiáng)表示，其主要客戶正在持續(xù)推進(jìn)第三代功率半導(dǎo)體工廠的擴(kuò)產(chǎn)建設(shè)，愛思強(qiáng)作為上游設(shè)備主要供應(yīng)商之一，有望保持訂單增長，進(jìn)而達(dá)成更好的業(yè)績表現(xiàn)。

Aehr 2024財(cái)年第四季度營收約1660萬美元，凈利潤約為2380萬美元；其2024財(cái)年?duì)I收約6620萬美元，凈利潤約為3310萬美元。Aehr總裁兼首席執(zhí)行官Gayn Erickson表示，公司全年?duì)I收和凈利潤結(jié)果超過了此前提供的至少6500萬美元營收和1100萬美元凈收入的指引，并超過了分析師的普遍預(yù)期。

Axcelis 2024年第二季度業(yè)績同樣超出預(yù)期：當(dāng)前預(yù)計(jì)營收將超過2.52億美元，每股攤薄收益將超過1.38美元，相比之下，Axcelis此前發(fā)布的營收指引為2.45億美元，每股攤薄收益為1.30美元。此外，Axcelis繼續(xù)預(yù)計(jì)下半年業(yè)績將強(qiáng)于上半年。

國內(nèi)碳化硅設(shè)備廠商方面，晶升股份、北方華創(chuàng)兩家企業(yè)近日發(fā)布了2024年上半年業(yè)績預(yù)告，均實(shí)現(xiàn)凈利潤預(yù)增。

其中，晶升股份預(yù)計(jì)2024年上半年實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤3300-3650萬元，同比增加118.72%-141.92%。2023年，晶升股份開拓了三安光電、東尼電子、比亞迪、合晶科技、上海新昇、金瑞泓、神工股份等眾多客戶。在此基礎(chǔ)上，晶升股份2024年上半年繼續(xù)深化客戶合作、持續(xù)拓展技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域，帶動(dòng)其營收進(jìn)一步增長。

北方華創(chuàng)則預(yù)計(jì)2024年上半年實(shí)現(xiàn)營收114.1-131.4億元，同比增長35.40%-55.93%；歸母凈利潤25.7-29.6億元，同比增長42.84%-64.51%。目前，北方華創(chuàng)已具備碳化硅、氮化鎵等多種材料外延生長技術(shù)能力，覆蓋功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域應(yīng)用需求。截至2023年底，北方華創(chuàng)已發(fā)布20余款量產(chǎn)型外延設(shè)備，累計(jì)出貨超1000腔。在2023年出貨基礎(chǔ)上，2024年上半年，北方華創(chuàng)刻蝕、薄膜沉積、清洗、爐管和快速退火等工藝裝備工藝覆蓋度及市場(chǎng)占有率持續(xù)穩(wěn)步攀升，帶動(dòng)業(yè)績同比穩(wěn)健增長。

在已有戰(zhàn)果基礎(chǔ)上，碳化硅設(shè)備廠商致力于獲得更多業(yè)績?cè)隽俊＠纾篈ehr積極與大量新的潛在碳化硅器件和模塊供應(yīng)商接觸，以滿足他們的預(yù)期產(chǎn)能需求；愛思強(qiáng)已收購位于意大利皮埃蒙特區(qū)都靈附近的一座生產(chǎn)基地，目的是擴(kuò)充設(shè)備產(chǎn)能，擴(kuò)大歐洲市場(chǎng)業(yè)務(wù)。

在各大廠商積極拓展業(yè)務(wù)的同時(shí)，訂單隨之而來。例如：安世半導(dǎo)體近日訂購了愛思強(qiáng)用于8英寸碳化硅量產(chǎn)的新型G10-SiC設(shè)備，安世半導(dǎo)體還訂購了愛思強(qiáng)的G10-GaN設(shè)備；一家碳化硅測(cè)試和預(yù)燒客戶近日向Aehr訂購了多套WaferPak?全晶圓接觸器；最近幾個(gè)月，Axus公司的Capstone?CS200系列CMP設(shè)備收到了來自歐洲、亞洲和北美地區(qū)碳化硅半導(dǎo)體制造商的訂單；此外，今年上半年在不到一個(gè)月時(shí)間內(nèi)，Axcelis已完成三起碳化硅設(shè)備訂單的出貨。

國內(nèi)廠商方面，優(yōu)睿譜今年6月成功交付客戶一款晶圓邊緣檢測(cè)設(shè)備SICE200，該設(shè)備可用于硅基以及化合物半導(dǎo)體襯底及外延晶圓的邊緣缺陷檢測(cè)。這是優(yōu)睿譜時(shí)隔一個(gè)月后，再次實(shí)現(xiàn)碳化硅設(shè)備交付。

據(jù)觀察，碳化硅設(shè)備廠商普遍業(yè)績報(bào)喜，疊加今年下半年的持續(xù)簽單與交貨，各大碳化硅設(shè)備廠商有望繼續(xù)保持業(yè)績?cè)鲩L。

擴(kuò)產(chǎn)潮、8英寸轉(zhuǎn)型，碳化硅設(shè)備廠商前景光明

碳化硅設(shè)備廠商產(chǎn)銷兩旺，與碳化硅產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展密切相關(guān)。

近年來，在市場(chǎng)需求驅(qū)動(dòng)下，大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)成為碳化硅產(chǎn)業(yè)重頭戲，僅2022年新立項(xiàng)/簽約碳化硅相關(guān)項(xiàng)目就超過20個(gè)。2023年，據(jù)集邦化合物半導(dǎo)體不完全統(tǒng)計(jì)，國內(nèi)外共有近60項(xiàng)碳化硅相關(guān)擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目啟動(dòng)。這些項(xiàng)目當(dāng)中，有不少投資數(shù)十億甚至上百億的大手筆。

這數(shù)十個(gè)項(xiàng)目落地實(shí)施，對(duì)產(chǎn)線上各類碳化硅相關(guān)設(shè)備的需求數(shù)量相當(dāng)可觀。對(duì)于給這些項(xiàng)目供貨的碳化硅設(shè)備廠商而言，在項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)產(chǎn)出之前，這些設(shè)備供應(yīng)商將提前收獲一波紅利，后續(xù)隨著項(xiàng)目改擴(kuò)建，相關(guān)設(shè)備廠商將持續(xù)受益。

今年以來，碳化硅賽道擴(kuò)產(chǎn)熱度依舊居高不下，各大設(shè)備廠商有望持續(xù)獲得業(yè)績?cè)隽俊?/p>

隨著碳化硅市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大，將會(huì)吸引更多新玩家入局，其中也包括新的設(shè)備企業(yè)，碳化硅設(shè)備賽道競爭也會(huì)日趨激烈，更契合市場(chǎng)和用戶需求的產(chǎn)品更有可能在競爭中勝出，獲得應(yīng)用機(jī)會(huì)。其中，降本是一個(gè)很好的賣點(diǎn)。據(jù)硅酷科技近日透露，一條投入過億元的產(chǎn)線，使用硅酷科技的設(shè)備可節(jié)省50%成本。

除了持續(xù)涌動(dòng)的擴(kuò)產(chǎn)潮，8英寸設(shè)備也已成為各大碳化硅設(shè)備廠商發(fā)力的方向之一。在碳化硅產(chǎn)業(yè)由6英寸向8英寸轉(zhuǎn)型升級(jí)過程中，有望釋放大量8英寸碳化硅設(shè)備需求，也是各大設(shè)備廠商不容忽視的機(jī)會(huì)。

目前，愛思強(qiáng)等國際廠商8英寸設(shè)備已陸續(xù)簽單，連科半導(dǎo)體、優(yōu)晶科技等國內(nèi)廠商8英寸設(shè)備也在近期取得積極進(jìn)展。

短期來看，碳化硅設(shè)備細(xì)分領(lǐng)域訂單能見度高，各大廠商將持續(xù)分食市場(chǎng)大蛋糕；長期來看，未來8英寸產(chǎn)線釋放的設(shè)備需求也將給各大設(shè)備廠商帶來一波紅利。此外，市場(chǎng)競爭有望推動(dòng)設(shè)備企業(yè)打磨出更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，進(jìn)而推動(dòng)碳化硅產(chǎn)品向更多領(lǐng)域、更多場(chǎng)景深度滲透。（文：集邦化合物半導(dǎo)體Zac）

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source：納設(shè)智能

原子層沉積（Atomic Layer Deposition，簡稱ALD）是一種薄膜沉積技術(shù)，可歸于化學(xué)氣相沉積大類。相對(duì)于一般化學(xué)氣相沉積，其具有獨(dú)特的表面自限制化學(xué)效應(yīng)，因而可以逐個(gè)原子層生長各種化合物或單質(zhì)薄膜材料，實(shí)現(xiàn)更精確的厚度控制。該技術(shù)制備的薄膜具有良好的的厚度均勻性，優(yōu)異的一致性，突出的三維保型性，可用于各類襯底材料的薄膜沉積。

納設(shè)智能利用自身在半導(dǎo)體外延設(shè)備、化學(xué)氣相沉積技術(shù)等方面積累的經(jīng)驗(yàn)及軟硬件基礎(chǔ)，推出了規(guī)格更嚴(yán)、性能更優(yōu)的ALD設(shè)備。
圖片

納設(shè)智能的ALD設(shè)備可對(duì)玻璃、硅片等襯底材料進(jìn)行超薄氧化物、氮化物等材料的鍍膜，可以制備出均勻性好、保形性優(yōu)、致密性佳的薄膜材料，可應(yīng)用于對(duì)超薄薄膜（1nm~50nm）有需求的各個(gè)領(lǐng)域。

來源：納設(shè)智能

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圖源：拍信網(wǎng)正版圖庫

資料顯示，納設(shè)智能成立于2018年10月，致力于第三代半導(dǎo)體碳化硅（SiC）外延設(shè)備、石墨烯等先進(jìn)材料制造裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和應(yīng)用推廣。公司自有第三代半導(dǎo)體SiC高溫化學(xué)氣相沉積外延設(shè)備（用于第三代半導(dǎo)體SiC芯片生產(chǎn)的核心環(huán)節(jié)-外延生長）,是一款工藝指標(biāo)優(yōu)異、耗材成本低、維護(hù)頻率低的中國首臺(tái)完全自主創(chuàng)新的SiC外延設(shè)備。

據(jù)悉，SiC外延設(shè)備是第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的核心環(huán)節(jié)，是為新能源汽車、高速軌道交通、特高壓傳輸、5G通信、大數(shù)據(jù)中心、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、光伏、風(fēng)電等迫切需要大功率電力電子器件的新基建領(lǐng)域提供SiC外延生長的核心裝備。

近兩年來，納設(shè)智能SiC外延設(shè)備進(jìn)入收獲期。2022年2月27日，納設(shè)智能新制造車間成功出廠了上述高溫化學(xué)氣相沉積外延設(shè)備，這標(biāo)志著納設(shè)智能具有大規(guī)模產(chǎn)能的新制造車間正式投產(chǎn)輸出。該新制造車間是納設(shè)智能2022年新增的研發(fā)、生產(chǎn)制造車間，于2022年1月份正式投入使用。

據(jù)介紹，納設(shè)智能6英寸SiC外延設(shè)備在國內(nèi)市場(chǎng)中占據(jù)了重要地位，截至2023年8月，累計(jì)獲得10+個(gè)客戶超過150臺(tái)設(shè)備訂單，訂單金額累計(jì)數(shù)億元。

同在2023年8月，納設(shè)智能成功研制出更大尺寸具有更多創(chuàng)新技術(shù)的8英寸SiC外延設(shè)備，該設(shè)備具備獨(dú)特反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)、可獨(dú)立控制的多區(qū)進(jìn)氣方式、以及智能控制系統(tǒng)，能夠提高SiC外延片的均勻性，降低外延缺陷及生產(chǎn)中的耗材成本。

目前，SiC產(chǎn)業(yè)正在由6英寸向8英寸邁進(jìn)，納設(shè)智能開發(fā)的8英寸SiC外延設(shè)備順應(yīng)了SiC產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，在技術(shù)上具有前瞻性。

成立至今，納設(shè)智能共完成4輪融資，分別是2019年4月的種子輪、2020年11月的天使輪、2021年11月的Pre-A輪和2023年3月的A輪，投資方包括深創(chuàng)投、粵財(cái)創(chuàng)投、基石資本、廣東省半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、華業(yè)天成資本、前海母基金、智慧互聯(lián)產(chǎn)業(yè)基金、比鄰資本、東方富海、嘉遠(yuǎn)資本等眾多機(jī)構(gòu)。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）

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院企強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合

據(jù)了解，研究中心成立于2008年，專注于高性能多元化合物半導(dǎo)體材料的前沿技術(shù)研究，在光電傳感半導(dǎo)體材料制造方面取得了一系列成就。

納設(shè)智能成立于2018年10月，致力于第三代半導(dǎo)體碳化硅外延設(shè)備、石墨烯等先進(jìn)材料制造裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和應(yīng)用推廣。該公司自有第三代半導(dǎo)體碳化硅高溫化學(xué)氣相沉積外延設(shè)備，是中國首臺(tái)完全自主創(chuàng)新的碳化硅外延設(shè)備。

據(jù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人、深圳先進(jìn)院研究中心副研究員寧德在接受采訪時(shí)表示，2022年，研究中心因?yàn)橐M(jìn)行一系列SiC外延的實(shí)驗(yàn)研究，于是了解到在材料設(shè)備方面較有名氣的納設(shè)智能，湊巧的是當(dāng)時(shí)納設(shè)智能的相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)也在研究中心參觀學(xué)習(xí)，雙方得以深入交流。

研究中心專注于先進(jìn)材料的應(yīng)用研究，納設(shè)智能在先進(jìn)材料的設(shè)備制造方面頗有心得，二者一拍即合。

據(jù)悉，雙方接下來將進(jìn)一步融合彼此的研究方向與內(nèi)容，同時(shí)在聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室組織架構(gòu)、工作機(jī)制和運(yùn)營規(guī)范等方面不斷探討、不斷優(yōu)化，進(jìn)一步推進(jìn)院企之間的研究和教學(xué)、高層次人才實(shí)踐基地建設(shè)以及創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)實(shí)踐指導(dǎo)等方面的合作。

據(jù)介紹，目前雙方除了著重于工藝和設(shè)備的合作外，聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室還將對(duì)其他半導(dǎo)體先進(jìn)材料進(jìn)行研究，如氮化鋁、氮化鎵、石墨烯等先進(jìn)材料生長設(shè)備及工藝。雙方的合作將進(jìn)一步提高研發(fā)效率，縮短研發(fā)周期，推動(dòng)先進(jìn)材料領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新。

圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫

“20+8”產(chǎn)業(yè)政策助推

2022年6月，深圳出臺(tái)《關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》重要政策文件，培育發(fā)展壯大“20+8”產(chǎn)業(yè)集群，前瞻布局8大未來產(chǎn)業(yè)。預(yù)計(jì)到2025年，深圳戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)增加值將超過1.5萬億元。

半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)是深圳“20+8”產(chǎn)業(yè)集群之一，此次深圳先進(jìn)院與納設(shè)智能的合作是科研力量賦能深圳“20+8”產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展的一個(gè)縮影。雙方的“牽手”，是新型研發(fā)機(jī)構(gòu)以協(xié)同創(chuàng)新的特色方法助力深圳“20+8”產(chǎn)業(yè)集群建設(shè)的標(biāo)志性體現(xiàn)。

今年8月，在以“新型研發(fā)機(jī)構(gòu)助力深圳產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展”為主題的“科創(chuàng)中國”企業(yè)家論壇上，深圳先進(jìn)院與8家科技企業(yè)簽約，促進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，納設(shè)智能就是其中之一。
（文：集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）

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