利用氣體供應原料，在基板上制造晶體，可以減少設(shè)備的維護頻率，也可以降低運營成本。

日本酸素正在將制作設(shè)備商用化，做到隨時可向客戶供貨。

這種作方法屬于“有機金屬化學氣相沉積（MOCVD）法”，通過在密閉裝置內(nèi)充滿氣體狀原料，在基板上制造出GaO的晶體。該方法與現(xiàn)有的氫化物氣相外延（HVPE）制法相比，可以制作更高頻率器件。

圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫

據(jù)悉，GaO的耐壓性超過SiC和GaN這兩種材料，其可以在降低電力轉(zhuǎn)換時的損耗。GaO有望用于純電動汽車（EV）、白色家電及光伏發(fā)電等領(lǐng)域。

并且，其彌補了傳統(tǒng)的氫化物氣相外延法，難以與高電子遷移率晶體管所需的鋁進行混晶的缺點。GaO晶體除了可以用于制造功率元件，還可以制作“高電子遷移率晶體管（HEMT）”，供通訊設(shè)備使用。

與原先的方法相比，東京農(nóng)工大等團隊通過MOCVD方法，將GaO晶體的生長速度提高至每小時約16微米，速度提升了16倍。東京農(nóng)工大學教授熊谷義直表示：“MOCVD方法與HVPE方法屬于并列關(guān)系”。

目前，已經(jīng)有幾家企業(yè)實現(xiàn)了實用化，根據(jù)富士經(jīng)濟提供的數(shù)據(jù)顯示，到2023年GaO市場可達到470億日元（折合人民幣約23.1億）。

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設(shè)備訂單量創(chuàng)新高，愛思強業(yè)績?nèi)嬖鲩L

得益于SiC/GaN基高效電力電子產(chǎn)品需求的持續(xù)增長，2023年第二季度及上半年，愛思強的訂單量、營收、利潤總額、毛利潤、EBIT（息稅前利潤/經(jīng)營利潤）等業(yè)績指標均實現(xiàn)了雙位數(shù)增長，毛利率達42%。

具體來看，Q2新增訂單總額為1.778億歐元（約合人民幣13.96億元），同比增長17%，創(chuàng)下2011年以來季度最高水平；累計上半年，新增訂單總額達3.177億歐元（約合人民幣24.94億元），同比增長12%。截至6月30日，訂單積壓也顯著增加，達4.125億歐元，同比增長31%。

從產(chǎn)品結(jié)構(gòu)來看，目前SiC/GaN電力電子產(chǎn)品設(shè)備的訂單量占比最高。愛思強透露，目前集團正在為幾家重要客戶的生產(chǎn)設(shè)施建設(shè)提供支持，所提供的設(shè)備可幫助客戶實現(xiàn)SiC/GaN器件的大規(guī)模生產(chǎn)。在這其中，愛思強的G10-SiC、G10-AsP和G10-GaN（今年晚些時候推出）等新一代G10產(chǎn)品系列發(fā)揮重要作用。

在SiC/GaN設(shè)備需求強勁增長的推動下，愛思強Q2實現(xiàn)營收1.735億歐元，同比增長69%；上半年總營收為2.507億歐元，同比增長31%。同時，愛思強也提到，收入增長還受益于前一季度未解決的大部分出口許可證現(xiàn)已獲批，且相應的設(shè)備已經(jīng)實現(xiàn)交付。

按照應用來看營收構(gòu)成，SiC/GaN電力電子產(chǎn)品設(shè)備收入占比持續(xù)提升，達83%；光電子及通訊應用設(shè)備收入占比為12%；含Micro LED設(shè)備在內(nèi)的LED應用設(shè)備占比為5%。按照區(qū)域市場劃分，亞洲地區(qū)貢獻一半的收入，來自歐洲和美洲地區(qū)的收入占比分別是29%、21%。

收入增加也帶動了利潤的增長。愛思強Q2實現(xiàn)毛利潤為7350萬歐元，同比增長94%；毛利率從2Q22的37%提升到2Q23的42%。累計上半年，毛利潤達1.046億歐元，同比增長42%，毛利率也從1H22的39%提升到1H23的42%。

Q2經(jīng)營利潤（EBIT）為4460萬歐元，同比大幅增長159%，經(jīng)營利潤率為26%，同比增長了9個百分點；上半年經(jīng)營利潤達4810萬歐元，同比增長53%，經(jīng)營利潤率為19%，同比增長3個百分點。Q2利潤總額達4040萬歐元，同比也顯著增長了134%；上半年利潤總額為4390萬歐元，同比增長41%。

自由現(xiàn)金流方面，Q2為-8200萬歐元，上半年為-8010萬歐元。對此，愛思強指出，今年自由現(xiàn)金流與去年相比產(chǎn)生的變化主要是因為集團為應對2023年下半年預期的收入增長，增加了存貨而造成資金外流。

設(shè)備市場增勢強，廠商看好長期成長動能

上半年，國內(nèi)半導體行業(yè)設(shè)備廠商中微公司和北方華創(chuàng)也預計取得了較好的成績，營收和凈利潤均實現(xiàn)增長，且凈利潤增幅都超過100%。

中微公司預計上半年實現(xiàn)營收約25.27億元，同比增長約28.13%（其中，用于Mini LED的MOCVD設(shè)備收入增長約 24.11%；刻蝕設(shè)備收入增長約32.53%）；預計歸母凈利潤為9.8-10.3億元，同比增長109.49-120.18%；預計歸母扣非凈利潤為5.0-5.4億元，同比增長13.45-22.53%。

北方華創(chuàng)預計上半年實現(xiàn)營收78.2-89.5億元，同比增長43.65-64.41%；預計歸母凈利潤為16.7-19.3億元，同比增長121.3-155.76%；預計歸母扣非凈利潤為14.9-17.2億元，同比增長130.9-166.55%。
對于業(yè)績增長的驅(qū)動因素，兩家廠商大致提及設(shè)備占有率提升，這也在一定程度反映了下游市場對薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備等半導體設(shè)備有著不斷增長且長期的需求。

愛思強就對全年發(fā)展給出了積極的預期。在全球電氣化、數(shù)字化和可持續(xù)發(fā)展等趨勢發(fā)展下，愛思強預計SiC/GaN高效電力電子產(chǎn)品的增長勢頭將延續(xù)到未來幾年，且這一趨勢在電動汽車領(lǐng)域中可以得到很強的證明，也因此，SiC設(shè)備將成為其2023年最暢銷的產(chǎn)品。

鑒于上半年取得的成果，結(jié)合持續(xù)看好的終端市場需求，愛思強預期下半年將實現(xiàn)顯著的增長，利潤率和訂單量將不斷提高。因此，愛思強調(diào)高了2023財年的成長預期：新增訂單總額預估為6.2-7.0億歐元（之前為6.0-6.8億歐元）；營收預計為6.0-6.6億歐元（之前為5.8-6.4億歐元）；預期毛利率仍約為45%，EBIT利潤率仍在25-27%左右。

除了業(yè)績表現(xiàn)預期，廠商對市場前景的態(tài)度也在研發(fā)投入中有所反映。

在2023年上半年，愛思強運營費用總額達到5650萬歐元，同比增長34%，。這主要是由于研發(fā)方面支出的增加。愛思強正在不斷加強對現(xiàn)有設(shè)備和新一代設(shè)備的研發(fā)投入，同時擴招集團員工，截至6月30日，愛思強共有1014名員工，同比增長31%。

研發(fā)投入方面，愛思強在今年5月還宣布，擬投資1億歐元在德國黑措根拉特（Herzogenrath）總部建設(shè)新的創(chuàng)新研發(fā)中心，包含1000㎡的潔凈室空間，為已在準備的下一代產(chǎn)品及未來其他新產(chǎn)品提供更充足的生產(chǎn)能力，提升半導體沉積設(shè)備的研發(fā)能力。

中微公司、北方華創(chuàng)也正在積極擴充產(chǎn)能，以中微公司為例。

本月初，南昌中微生產(chǎn)研發(fā)基地項目已正式建成并投入使用，該項目占地面積約130畝，目前已投產(chǎn)的一期項目建筑面積約14萬平方米?；嘏鋫湫袠I(yè)領(lǐng)先的實驗室、潔凈度達十級的高標準潔凈室、先進的生產(chǎn)車間及高效的物流倉儲中心。同時，中微公司還在5月推出12英寸薄膜沉積設(shè)備，擴充業(yè)務產(chǎn)品線。

在愛思強提到的全球大趨勢以及中國國產(chǎn)設(shè)備替代大潮下，中微公司和北方華創(chuàng)的長期成長動能及中長期業(yè)績成長皆可期。其中，北方華創(chuàng)近日與投資者互動時表示，目前公司在手訂單充足，預計三季度業(yè)績?nèi)詫⒈３衷鲩L。（文：集邦化合物半導體Jenny）

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