{"id":64249,"date":"2023-06-13T17:28:10","date_gmt":"2023-06-13T09:28:10","guid":{"rendered":"https:\/\/www.cnledw.com\/?p=64249"},"modified":"2023-06-14T16:38:14","modified_gmt":"2023-06-14T08:38:14","slug":"%e7%a1%85%e5%85%89%e7%9a%84%e4%b8%8b%e4%b8%80%e4%bb%a3%e6%8a%80%e6%9c%af%e8%b7%af%e7%ba%bf%e5%9b%be","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.cnledw.com\/SiC\/newsdetail-64249.html","title":{"rendered":"\u7845\u5149\u7684\u4e0b\u4e00\u4ee3\u6280\u672f\u8def\u7ebf\u56fe"},"content":{"rendered":"

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2.\u7845\u5149\u5b50\u6280\u672f\u7684\u6280\u672f\u89c6\u89d2<\/strong><\/p>\n

\u7ecf\u8fc7\u51e0\u4ee3CMOS\u5de5\u827a\u7684\u53d1\u5c55\uff0c\u8bb8\u591a\u6750\u6599\u88ab\u6dfb\u52a0\u5230\u7845\u4e2d\uff0c\u4ee5\u964d\u4f4e\u529f\u7387\u3001\u63d0\u9ad8\u6027\u80fd\u548c\u7f29\u5c0f\u9762\u79ef\u2014\u2014\u8fd9\u4e9b\u901a\u5e38\u88ab\u79f0\u4e3aPPA\u6307\u6807\u3002\u6dfb\u52a0\u7269\u5305\u62ec\u7528\u4e8e\u91d1\u5c5e\u8ff9\u7ebf\u7684Al\u548cCu\uff0c\u7528\u4e8e\u8bf1\u5bfc\u5e94\u53d8\u548c\u5b9e\u73b0\u5f02\u8d28\u7ed3BJT\u7684Ge\uff0c\u4ee5\u53ca\u7528\u4e8e\u949d\u5316\u548c\u6269\u6563\u52bf\u5792\u7684\u6c2e\u5316\u7845\uff08SiN\uff09\u3002<\/p>\n

CMOS\u7684\u7814\u53d1\u9884\u7b97\u548c\u5546\u4e1a\u5e02\u573a\u6bd4\u7845\u5149\u5b50\u6280\u672f\u5927\u51e0\u4e2a\u6570\u91cf\u7ea7\u3002\u56e0\u6b64\uff0c\u6211\u4eec\u5728\u7845\u5149\u5b50\u5de5\u827a\u7684\u53d1\u5c55\u4e2d\u4e5f\u770b\u5230\u4e86\u7c7b\u4f3c\u7684\u8d8b\u52bf\u3002\u9664\u4e86\u7528\u4e8e\u9ad8\u901f\u8c03\u5236\u7684p\/n\u63ba\u6742\u5242\u4e4b\u5916\uff0c\u73b0\u5728\u7531\u51e0\u4e2a\u6676\u5706\u5382\u539f\u751f\u652f\u6301\u7684\u4e24\u79cd\u6750\u6599\u662f\uff081\uff09Ge\u9ad8\u901f\u5149\u7535\u63a2\u6d4b\u5668\u548c\uff082\uff09SiN\uff0c\u4ee5\u6269\u5c55\u6ce2\u957f\u8303\u56f4\uff0c\u5b9e\u73b0\u66f4\u9ad8\u7684\u5149\u529f\u7387\uff0c\u5e76\u5728\u5e72\u6d89\u6d4b\u91cf\u5668\u4ef6\u4e2d\u652f\u6301\u5177\u6709\u66f4\u4f4e\u635f\u8017\u548c\u66f4\u597d\u76f8\u4f4d\u63a7\u5236\u7684\u6ce2\u5bfc\u3002<\/p>\n

\u7f29\u5c0f\u9762\u79ef\u5c06\u662fLSI\u548cVLSI\u65f6\u4ee3\u4e0b\u4e00\u4e2a\u5341\u5e74\u7845\u5149\u5b50\u5de5\u827a\u5f00\u53d1\u7684\u91cd\u70b9\u3002\u4e8b\u5b9e\u4e0a\uff0c\u6700\u5927\u7684\u5bc6\u5ea6\u9650\u5236\u5f88\u5c11\u6765\u81ea\u5668\u4ef6\u5c3a\u5bf8\uff1b\u6d88\u9664\u4e32\u6270\u7684\u6ce2\u5bfc\u4e4b\u95f4\u7684\u95f4\u8ddd\u6bd4\u5b9e\u9645\u6ce2\u5bfc\u7684\u5c3a\u5bf8\u5927\u5f97\u591a\u3002<\/p>\n

\u5bf9\u4e8e\u5c04\u9891\uff08RF\uff09\u5668\u4ef6\uff0c\u6709\u6e90\u5143\u4ef6\u4e4b\u95f4\u7684\u95f4\u8ddd\uff08\u4e34\u754c\u5c3a\u5bf8\u4e3a\u5fae\u7c73\uff09\u901a\u5e38\u4e3a\u6570\u767e\u5fae\u7c73\uff0c\u4ee5\u6d88\u9664\u5c04\u9891\u4e32\u6270\u3002\u7f29\u5c0f\u8fd9\u4e9b\u201c\u7a7a\u767d\u201d\u9700\u8981\u975e\u5e38\u8be6\u7ec6\u7684\u7cfb\u7edf\u7ea7\u6a21\u62df\u548c\u5145\u5206\u7684\u591a\u7269\u7406\u5efa\u6a21\uff0c\u8fd9\u5c06\u662f\u5236\u9020\u66f4\u5c0f\u3001\u66f4\u4fbf\u5b9c\u3001\u66f4\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u82af\u7247\u7684\u6838\u5fc3\u3002<\/p>\n

\u65e0\u6e90\u5668\u4ef6\u672c\u8eab\u7684\u5c3a\u5bf8\u51cf\u5c0f\u901a\u5e38\u53d7\u5230\u6298\u5c04\u7387\u5bf9\u6bd4\u5ea6\u548c1-2\u03bcm\u7684\u5de5\u4f5c\u6ce2\u957f\u7684\u9650\u5236\u3002\u4f7f\u7528\u53cd\u5411\u8bbe\u8ba1\u6280\u672f\u6765\u6536\u7f29\u65e0\u6e90\u6784\u5efa\u5757\u4ecd\u6709\u4e00\u4e9b\u4f59\u91cf\uff0c\u4f46\u6ce2\u5bfc\u672c\u8eab\u4e0d\u80fd\u771f\u6b63\u6536\u7f29\u5230\u4eca\u5929\u7845\u5e73\u53f0\u7684400-500 nm\u5bbd\u5ea6\u4ee5\u4e0b\u3002<\/p>\n

\u7136\u800c\uff0c\u5728\u5149\u5b66I\/O\u8026\u5408\u5668\u548c\u9ad8\u901f\u8c03\u5236\u5668\u4e2d\u4ecd\u7136\u53ef\u4ee5\u5b9e\u73b0\u663e\u8457\u7684\u7f29\u653e\u3002\u4e3a\u4e86\u8026\u5408\u5230\u5149\u7ea4\uff0c\u5e26\u6709\u8fb9\u7f18\u8026\u5408\u5668\u7684V\u5f62\u69fd\u4ee5\u76f8\u5f53\u5927\u7684\u82af\u7247\u9762\u79ef\u4e3a\u4ee3\u4ef7\uff0c\u63d0\u4f9b\u4e86\u4f4e\u635f\u8017\u3001\u6613\u4e8e\u9876\u5305\u8fde\u63a5\u3002\u6ca1\u6709V\u5f62\u69fd\u7684\u8fb9\u7f18\u8026\u5408\u5668\u66f4\u5c0f\uff0c\u4f46\u9700\u8981\u66f4\u7cbe\u786e\u7684\u4e3b\u52a8\u5bf9\u51c6\uff0c\u4ece\u800c\u589e\u52a0\u4e86\u6210\u672c\u3002<\/p>\n

\u591a\u82af\u5149\u7ea4\u662f\u4e00\u79cd\u5f88\u6709\u5438\u5f15\u529b\u7684\u89e3\u51b3\u65b9\u6848\u3002\u4e3b\u8981\u7684\u66ff\u4ee3\u8026\u5408\u65b9\u6cd5\u662f\u901a\u8fc7\u5149\u6805\u8026\u5408\u5668\uff0c\u5b83\u7d27\u51d1\u7684\u7279\u6027\u63d0\u4f9b\u4e86\u5728\u82af\u7247\u8868\u9762\u4e0a\u5b9a\u4f4d\u7684\u7075\u6d3b\u6027\uff0c\u80fd\u591f\u8fdb\u884c\u6676\u5706\u7ea7\u6d4b\u8bd5\uff0c\u5e76\u4e14\u4e5f\u53ef\u4ee5\u4ee5\u4f4e\u63d2\u5165\u635f\u8017\uff08IL\uff09\u6765\u5b9e\u73b0\uff0c\u4f46\u5b58\u5728\u504f\u632f\u548c\u6e29\u5ea6\u654f\u611f\u6027\u4ee5\u53ca\u8f83\u4f4e\u7684\u5149\u5e26\u5bbd\u3002\u65e0\u6e90\u5bf9\u51c6\u5c01\u88c5\u6280\u672f\uff0c\u5982\u5149\u5b50\u5f15\u7ebf\u952e\u5408\uff08PWB\uff09\uff0c\u63d0\u4f9b\u4e86\u4e00\u79cd\u6709\u5438\u5f15\u529b\u7684\u6f5c\u5728\u66ff\u4ee3\u65b9\u6848\uff0c\u5bf9\u5176\u7ec4\u4ef6\u8fdb\u884c\u66f4\u591a\u7684\u53ef\u9760\u6027\u7814\u7a76\u5c06\u6709\u52a9\u4e8e\u5176\u5e7f\u6cdb\u5e94\u7528\u3002<\/p>\n

2.1\u3001E\/O \u8c03\u5236<\/strong><\/p>\n

\u4e0b\u4e00\u4e2a\u5341\u5e74\u7684\u63a2\u7d22\u65e8\u5728\u7f29\u5c0f\u5149\u5b50\u82af\u7247\u4ece\u800c\u63d0\u9ad8\u5bc6\u5ea6\uff0c\u5373\u5728\u7845\u5149\u5b50\u4e2d\u627e\u5230\u96be\u4ee5\u6349\u6478\u7684\u201c\u7406\u60f3\u201d\u8c03\u5236\u5668\u2014\u2014\u957f\u5ea6\uff08L\uff09\u5c0f\u3001\u9700\u8981\u5c0f\u7684\u9a71\u52a8\u7535\u538b\u6765\u4ea7\u751f\u03c0\u76f8\u79fb\uff08V\u03c0\uff09\u3001\u63d0\u4f9b\u4f4e\u7684\u4f20\u64ad\u635f\u8017\uff08\u03b1\uff09\u548cIL\uff0c\u5bf9\u4e8e\u4e00\u4e9b\u5e94\u7528\uff0c\u5177\u6709\u9ad8\u7ebf\u6027\u548c\u5927-3dB E\/O\u5e26\u5bbd\uff08BW\uff09\u3002\u6b64\u5916\uff0c\u8be5\u8c03\u5236\u5668\u4f18\u9009\u7684\u662f\u79fb\u76f8\u5668\uff0c\u56e0\u4e3a\u8fd9\u80fd\u591f\u5b9e\u73b0\u66f4\u9ad8\u9636\u76f8\u5e72\u8c03\u5236\u683c\u5f0f\u3002<\/p>\n

2.1.1 \u9ad8\u901f\u8c03\u5236\u5668<\/strong><\/p>\n

\u57fa\u4e8e\u6ce2\u5bfc\u7684\u8c03\u5236\u5668\uff08\u88681\uff09\u7684\u5e38\u7528\u6548\u7387\u54c1\u8d28\u56e0\u6570\uff08FoMeefficiency\uff09\u4e3a\u03b1V\u03c0L\u3002\u5bf9\u4e8e\u975e\u5e38\u7d27\u51d1\u7684MRM\uff0c\u7531\u4e8e\u03b1\u5f15\u8d77\u7684\u635f\u8017\u53d8\u5f97\u4e0d\u90a3\u4e48\u5173\u952e\uff0c\u5e76\u4e14\u66f4\u597d\u7684FoMeefficiency\u5305\u542bIL\u548cVpp\uff08\u7279\u5b9a\u5149\u5b66\u8c03\u5236\u5e45\u5ea6\u6216OMA\u7684\u5cf0\u95f4\u7535\u538b\u6446\u52a8\uff09\u3002\u6240\u6709\u8c03\u5236\u5668\u90fd\u8981\u5728FoMeefficiency\u548cE\/O BW\u4e4b\u95f4\u8fdb\u884c\u6743\u8861\u3002<\/p>\n

\u6700\u540e\uff0c\u9a71\u52a8\u5668\u4e2d\u6d88\u8017\u7684\u529f\u7387\u53d6\u51b3\u4e8e\u9a71\u52a8\u5668\u6240\u770b\u5230\u7684\u8c03\u5236\u5668\u963b\u6297\u3002\u7535\u963b\u963b\u6297\uff08\u7aef\u63a5\u884c\u6ce2\u8c03\u5236\u5668\uff09\u6d88\u8017\u9759\u6001\uff08DC\uff09\u548c\u52a8\u6001\uff08AC\uff09\u529f\u7387\uff0c\u800c\u9ad8\u963b\u6297\uff08\u7535\u5bb9\u6027\uff09\u4e3b\u8981\u6d88\u8017\u52a8\u6001\u529f\u7387\u3002\u7531\u4e8e\u9700\u8981\u589e\u52a0\u6fc0\u5149\u529f\u7387\u6765\u8865\u507f\u635f\u8017\uff0c\u56e0\u6b64\u9ad8IL\u4e5f\u662f\u8f83\u9ad8\u529f\u8017\u7684\u4ee3\u8868\u3002<\/p>\n

\"\"
<\/figcaption><\/figure>\n

\u88681 \u4e0d\u540c\u8c03\u5236\u5668\u62d3\u6251\u7ed3\u6784\u7684\u6bd4\u8f83<\/p>\n

\u9664\u4e86\u62d3\u6251\u7ed3\u6784\u4e4b\u5916\uff0c\u8c03\u5236\u5668\u7684PPA\u5ea6\u91cf\u8fd8\u53d6\u51b3\u4e8e\u7528\u4e8e\u8c03\u5236\u7684\u6750\u6599\u548c\u673a\u5236\u3002\u88682\u663e\u793a\u4e86\u5728\u5404\u79cd\u7845\u5149\u5b50\u5de5\u827a\u4e2d\u7528\u4e8e\u8c03\u5236\u5668\u7684\u4e0d\u540c\u6750\u6599\u3002\u5229\u7528\u81ea\u7531\u8f7d\u6d41\u5b50\u7b49\u79bb\u5b50\u4f53\u8272\u6563\u7684p-n\u63ba\u6742\u5242\u76ee\u524d\u5728\u6240\u6709\u5546\u4e1a\u7845\u5149\u5b50\u6676\u5706\u5382\u90fd\u53ef\u4ee5\u4e70\u5230\uff0c\u652f\u630160 GHz\u751a\u81f3\u66f4\u9ad8\u7684E\/O BW\u3002<\/p>\n

\u76ee\u524d\uff0c\u5546\u4e1a\u5e02\u573a\u4e3b\u8981\u7531\u884c\u6ce2MZM\u8c03\u5236\u5668\u5f62\u5f0f\u7684\u6b64\u7c7b\u5668\u4ef6\u4e3b\u5bfc\u3002\u7b49\u79bb\u5b50\u4f53\u5728\u7845\u4e2d\u7684\u5206\u6563\u5bfc\u81f4\u4e86\u4e2d\u7b49\u7684FoM\u6548\u7387\uff0c\u5bf9\u4e8e\u5e73\u5747OMA\u5177\u6709\u9ad8\u7684IL\u3002\u8f7d\u6ce2\u79ef\u7d2f\u5141\u8bb8\u8f83\u77ed\u7684MZM\uff0c\u4f46\u6709BW\u9650\u5236\u3002\u5f53\u5b9e\u73b0\u4e3aMRM\u65f6\uff0c\u5668\u4ef6\u8981\u5c0f\u5f97\u591a\uff0c\u4f46IL\u548cOMA\u5bf9\u4e8e\u652f\u6301LSI\/VLSI IC\u6765\u8bf4\u4ecd\u7136\u662f\u6b21\u4f18\u7684\u3002<\/p>\n

\"\"
<\/figcaption><\/figure>\n

\u88682 \u6bd4\u8f83\u4e0d\u540c\u7684\u8c03\u5236\u6750\u6599\u548c\u673a\u5236\u5728\u5546\u4e1aCMOS\u6676\u5706\u5382\u7684\u96c6\u6210\u60c5\u51b5\u4ee5\u53ca\u529f\u7387\u3001\u6027\u80fd\uff08\u622a\u81f32023\u5e74\uff09\u548c\u9762\u79ef\uff08PPA\uff09\u6307\u6807\u65b9\u9762\u7684\u60c5\u51b5<\/p>\n

\u7531\u4e8eGe PD\u5df2\u7ecf\u5f97\u5230\u4e86\u5927\u591a\u6570\u5546\u4e1a\u7845\u5149\u5b50\u6676\u5706\u5382\u7684\u652f\u6301\uff0c\u5404\u4e2a\u56e2\u961f\u90fd\u8bd5\u56fe\u4f7f\u7528GeSi\uff0c\u4e00\u79cd\u76f8\u5173\u4f46\u4e0d\u5b8c\u5168\u76f8\u540c\u7684\u6280\u672f\uff0c\u6765\u5b9e\u73b0\u66f4\u597d\u7684\u8c03\u5236\u5668\u3002\u57fa\u4e8eFranz-Kelydysh\u6548\u5e94\u7684GeSi\u7535\u5438\u6536\u8c03\u5236\u5668\uff08EAM\uff09\u53ef\u4ee5\u5728\u9ad8E\/O BW\u7684C\/L\u6ce2\u6bb5\u5de5\u4f5c\u3002\u7136\u800c\uff0c\u5b83\u4eec\u901a\u5e38\u4e0d\u662f\u5149\u5b66\u5bbd\u5e26\uff0c\u56e0\u4e3a\u5b83\u4eec\u4f7f\u7528\u5e26\u8fb9\u8c03\u5236\u8fdb\u884c\u5438\u6536\u3002\u5bf9\u4e8eO\u6ce2\u6bb5\u64cd\u4f5c\uff0c\u5229\u7528\u91cf\u5b50\u53d7\u9650\u65af\u5854\u514b\u6548\u5e94\uff08QCSE\uff09\u7684\u8c03\u5236\u5668\u4ecd\u7136\u5b58\u5728\u8f83\u5927\u7684IL\u3002\u867d\u7136\u5728\u8fd9\u4e00\u9886\u57df\u5df2\u7ecf\u8fdb\u884c\u4e86\u591a\u6b21\u5b66\u672f\u548c\u5546\u4e1a\u63a2\u7d22\uff0c\u4f46\u5c1a\u4e0d\u6e05\u695a\u8fd9\u4e9b\u8c03\u5236\u5668\u662f\u5426\u4f1a\u8fdb\u5165\u672a\u6765\u51e0\u4ee3\u7684\u5546\u4e1a\u5668\u4ef6\u3002<\/p>\n

InP\u5230CMOS\u7684\u5f02\u8d28\u96c6\u6210\u5df2\u7ecf\u5f15\u8d77\u4e86\u7535\u5b50\u548c\u5149\u5b50\u5b66\u7814\u7a76\u8005\u7684\u5174\u8da3\u3002\u5bf9\u4e8e\u5149\u5b50\u5b66\uff0c\u5b83\u4e3aIMDD\u6536\u53d1\u5668\u7684\u5927\u6279\u91cf\u5236\u9020\uff08HVM\uff09\u4e2d\u7684\u6fc0\u5149\u96c6\u6210\u94fa\u5e73\u4e86\u9053\u8def\uff0c\u5e76\u6b63\u5728\u7528\u4e8eSOA\u96c6\u6210\u3002\u9274\u4e8e\u8fd9\u4e9b\u96c6\u6210\u52aa\u529b\uff0cInP\/Si\u8c03\u5236\u5668\u4ecd\u7136\u975e\u5e38\u6709\u524d\u9014\u3002\u7528\u4e8eC\/L\/O\u5e26\u7684InP\/Si EAM\u5df2\u7ecf\u88ab\u8bc1\u660e\uff0c\u5e76\u4e14\u5728\u81f3\u5c11\u4e00\u4e2a\u7845\u5149\u5b50\u6676\u5706\u5382\u4e2d\u53ef\u7528\u3002<\/p>\n

\u6700\u201c\u7eaf\u201d\u7684\u7535\u5149\u8c03\u5236\u4f9d\u8d56\u4e8ePockels\u6548\u5e94\uff0c\u5b83\u63d0\u4f9b\u4e86\u672c\u8d28\u4e0a\u975e\u5e38\u9ad8\u7684E\/O BW\uff0c\u751a\u81f3\u8d85\u8fc7100 GHz\uff0c\u4f46\u8fd9\u4e9b\u6750\u6599\u5728CMOS\u96c6\u6210\u65b9\u9762\u9762\u4e34\u8bf8\u591a\u6311\u6218\uff0c\u5e76\u4e14\u5f88\u5c11\u6216\u6839\u672c\u6ca1\u6709\u4e0eCMOS\u96c6\u6210\u7528\u4e8e\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\u7684\u5386\u53f2\uff08\u4e0e\u5df2\u7ecf\u5728CMOS\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\u4e2d\u5f15\u5165\u7684Ge\u548cSiN\u76f8\u6bd4\uff09\u3002<\/p>\n

\u7edd\u7f18\u4f53\u4e0aLiNbO3\uff08LNOI\uff09\u8c03\u5236\u5668\u63d0\u4f9b\u4f4eIL\uff0c\u5e76\u5df2\u4e0e\u6e90\u6781\u548cPD\u96c6\u6210\u3002\u7136\u800c\uff0c\u5176\u03b1V\u03c0L\u4ea7\u7269\u9700\u8981\u8fdb\u4e00\u6b65\u89e3\u51b3\u3002\u9502\u662fCMOS\u5236\u9020\u5382\u7684\u6c61\u67d3\u7269\uff0c\u5176\u4f7f\u7528\u53ef\u4ee5\u4f7f\u7528BEOL\u96c6\u6210\u6216\u5c01\u88c5\u6280\u672f\u6765\u89e3\u51b3\u3002<\/p>\n

\u805a\u5408\u7269-\u7845-\u6709\u673a\u6742\u5316\u7269\uff08SOH\uff09\u548c\u7b49\u79bb\u5b50\u4f53-\u6709\u673a\u6742\u5316\u4f53\uff08POH\uff09\u9700\u8981\u6781\u5316\u548c\u6c14\u5bc6\u5bc6\u5c01\uff0c\u8fd9\u7ed9\u5236\u9020\u7a33\u5b9a\u7684\u5668\u4ef6\u5e26\u6765\u4e86\u91cd\u5927\u6311\u6218\u3002\u5c3d\u7ba1\u6700\u8fd1\u7684\u7ed3\u679c\u5f88\u6709\u5e0c\u671b\uff0c\u4f46\u5b83\u4eec\u7684\u9ad8\u6e29\u53ef\u9760\u6027\u548c\u56de\u6d41\u517c\u5bb9\u6027\u4ecd\u6709\u5f85\u8fdb\u4e00\u6b65\u8bc1\u660e\u3002POH\u8c03\u5236\u5668\uff0c\u5c3d\u7ba1\u5b83\u4eec\u5728PPA\u6307\u6807\u4e2d\u770b\u8d77\u6765\u5f88\u6709\u5438\u5f15\u529b\uff0c\u4f46\u4e0eCMOS SOI\u5236\u9020\u7684\u517c\u5bb9\u6027\u66f4\u5dee\u3002<\/p>\n

\u826f\u597d\u7684\u7b49\u79bb\u5b50\u4f53\u91d1\u5c5e\uff08Cu\u3001Ag\u3001Au\uff09\u4e5f\u662f\u4e25\u91cd\u7684\u6c61\u67d3\u7269\uff0c\u5e76\u4e14\u9700\u8981\u5149\u5b66\u635f\u8017\u5f88\u5927\u7684\u6269\u6563\u963b\u6321\u5c42\uff08\u4f8b\u5982TaN\uff09\u3002<\/p>\n

\u94c1\u7535\u8584\u819c\u6750\u6599\uff08\u5982BaTiO3\uff09\u7684\u591a\u6676\u5c42\u663e\u793a\u51fa\u6bd4LNOI\u5927\u5f97\u591a\u7684Pockels\u7cfb\u6570\uff08\u4ee5pm\/V\u8868\u793a\uff09\uff0c\u5e76\u4e14\u4e0e\u805a\u5408\u7269\u76f8\u5f53\uff0c\u6700\u8fd1\u5927\u7684E\/O BW\u7684\u8bc1\u660e\u4f7f\u5b83\u4eec\u5f88\u6709\u524d\u666f\u3002\u6ce8\u610f\uff0c\u5668\u4ef6\u4e2d\u7684\u5927\u6ce2\u514b\u5c14\u7cfb\u6570\u662f\u975e\u5e38\u91cd\u8981\u7684\uff0c\u8fd9\u9700\u8981\u7535\u8c03\u5236\u573a\u548c\u4f20\u64ad\u5149\u5b66\u6a21\u5f0f\u7684\u826f\u597d\u91cd\u53e0\u3002\u4e00\u822c\u6765\u8bf4\uff0c\u5bf9Ge PD\u5904\u7406\u548c\u56de\u6d41\u7684\u517c\u5bb9\u6027\u5c06\u662f\u5546\u4e1a\u6676\u5706\u5382\u91c7\u7528\u65b0\u8c03\u5236\u5668\u6280\u672f\u7684\u8981\u6c42\u3002<\/p>\n

\u6539\u5584\u6240\u6709PPA\u6307\u6807\u548cHVM\u9002\u7528\u6027\u5bf9\u4e8e\u5546\u4e1a\u6676\u5706\u5382\u548cLSI\u5e94\u7528\u81f3\u5173\u91cd\u8981\u3002\u7136\u800c\uff0c\u7531\u4e8e\u5927\u91cf\u7684\u5149\u5b50\u5e94\u7528\uff0c\u5c06\u59cb\u7ec8\u9700\u8981\u6781\u9ad8\u7684E\/O BW\u8c03\u5236\u5668\uff0c\u4e00\u4e9b\u4e13\u6ce8\u4e8e\u539f\u578b\u548c\u7814\u53d1\u6676\u5706\u5382\u5c06\u7ee7\u7eed\u89e3\u51b3\u76f8\u5173\u7684\u5236\u9020\u6311\u6218\u3002<\/p>\n

\u6700\u540e\uff0c\u5c3d\u7ba1>100 GHz E\/O BW\u8c03\u5236\u5668\u5bf9\u7535\u4fe1\u548c\u6570\u636e\u4e2d\u5fc3\u5e94\u7528\u90fd\u5f88\u6709\u5438\u5f15\u529b\uff0c\u4f46\u5b83\u4eec\u9700\u8981\u80fd\u591f\u4ee5\u8fd9\u6837\u7684\u901f\u5ea6\u9a71\u52a8\u5b83\u4eec\u7684\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\u3002\u9664\u975eV\u03c0\uff08\u6216Vpp\uff09\u663e\u8457\u964d\u4f4e\uff0c\u5426\u5219\u65e0\u8bbaCMOS\/BiCMOS\/III-V\u5b9e\u73b0\u5982\u4f55\uff0c\u8fd9\u79cd\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\u90fd\u5c06\u6d88\u8017\u5927\u91cf\u529f\u7387\u3002<\/p>\n

2.1.2 \u7528\u4e8e\u8c03\u8c10\u548c\u5207\u6362\u7684\u79fb\u76f8\u5668<\/strong><\/p>\n

\u8bb8\u591a\u5149\u5b50\u5e94\u7528\u9700\u8981\u6d88\u8017\u5f88\u5c11\u6216\u4e0d\u6d88\u8017\u529f\u7387\u7684\u79fb\u76f8\u5668\uff0c\u5e76\u4e14\u5177\u6709\u7528\u4e8e\u914d\u7f6e\u3001\u8c03\u8c10\u548c\u5207\u6362\u7684\u4f4e\u03b1V\u03c0L\u3002\u5bf9\u4e8e\u67d0\u4e9b\u5e94\u7528\uff0c\u8fd9\u4e9b\u79fb\u76f8\u5668\u4e5f\u5e94\u8be5\u5177\u6709\u5f88\u9ad8\u7684\u901f\u7387\uff0c\u4f46\u4e0d\u9700\u898110GHz E\/O BW\u3002<\/p>\n

\u867d\u7136\u5728\u8bb8\u591a\u7535\u8def\u4e2d\uff0c\u5149\u53ea\u901a\u8fc7\u4e00\u4e2a\u9ad8\u901f\u8c03\u5236\u5668\uff0c\u4f46\u5b83\u5fc5\u987b\u7a7f\u8fc7\u8bb8\u591a\u4f4e\u901f\u79fb\u76f8\u5668\u8fdb\u884c\u8c03\u8c10\u548c\u5207\u6362\u3002\u5229\u7528\u70ed\u5149\u6548\u5e94\u7684\u91d1\u5c5e\u52a0\u70ed\u5668\uff08\u6216\u63ba\u6742\u6ce2\u5bfc\uff09\uff0c\u5982\u4eca\u53ef\u7528\u4e8e\u6240\u6709\u5236\u9020\u5e73\u53f0\u3002\u5b83\u4eec\u5177\u67091-10\u03bcs\u7684\u54cd\u5e94\u65f6\u95f4\uff0c\u5e76\u4e14\u6d88\u8017\u76f8\u5f53\u5927\u7684\u529f\u7387\uff0c\u4ea7\u751f\u70ed\u4e32\u6270\uff0c\u4ece\u800c\u9650\u5236LSI\/VLSI\u7684\u7f29\u653e\u3002\u6539\u5584\u70ed\u7edd\u7f18\u964d\u4f4e\u4e86\u5b83\u4eec\u7684\u529f\u8017\uff0c\u4f46\u4ee3\u4ef7\u662f\u66f4\u9ad8\u7684\u54cd\u5e94\u65f6\u95f4\u3002<\/p>\n

\u56fe3b\u4e2d\u5217\u51fa\u7684\u6700\u540e\u4e00\u7ec4\u6750\u6599\u548c\u6280\u672f\u662f\u52a0\u70ed\u5668\u7684\u6709\u5438\u5f15\u529b\u7684\u66ff\u4ee3\u54c1\u3002\u5b83\u4eec\u5305\u62ec\u6db2\u6676\uff08LC\uff09\u3001MEMS\/NOEMS\u548c\u76f8\u53d8\u6750\u6599\uff08PCM\uff09\u3002\u7528\u4e8e\u663e\u793a\u5e94\u7528\u7684\u7845\u4e0aLC\uff08LCOS\uff09\u8c03\u8c10\u5df2\u7ecf\u88ab\u5927\u89c4\u6a21\u5730\u8bc1\u660e\uff0c\u5e76\u4e14LC\u4e5f\u662f\u81ea\u7531\u7a7a\u95f4\u6ce2\u957f\u9009\u62e9\u5f00\u5173\u7684\u9009\u62e9\u6280\u672f\u3002\u4f5c\u4e3a\u79fb\u76f8\u5668\uff0c\u5b83\u4eec\u4f7f\u7528\u6781\u4f4e\u7684\u529f\u7387\uff0c\u4f46\u76ee\u524d\u53d7\u5230IL\u7684\u5f71\u54cd\uff0c\u5c3d\u7ba1\u6700\u8fd1\u5728\u53ef\u89c1\u5149\u6ce2\u6bb5\u5df2\u7ecf\u8bc1\u660e\u4e86\u6781\u4f4e\u7684IL\u3002<\/p>\n

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\"\"
<\/figcaption><\/figure>\n

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\u88683\u603b\u7ed3\u4e86\u5404\u79cd\u96c6\u6210\u65b9\u6848\u7684PPA\u548c\u5176\u4ed6\u6307\u6807\u3002\u5927\u591a\u6570C\/L\/O\u6ce2\u6bb5\u6fc0\u5149\u5668\u7684\u58c1\u585e\u6548\u7387\uff08WPE\uff09\u4ec5\u7ea6\u4e3a10%\uff0c\u8fd9\u4e00\u6307\u6807\u9700\u8981\u66f4\u96c6\u4e2d\u7684\u7814\u7a76\u6765\u6539\u8fdb\u3002\u5bf9\u4e8e\u7c7b\u4f3c\u7684WPE\uff0c\u6fc0\u5149\u5668\u4e0ePIC\u4e4b\u95f4\u7684\u8026\u5408\u635f\u8017\u53ef\u4ee5\u4f5c\u4e3a\u529f\u8017\u7684\u4ee3\u8868\u3002\u57282.5D\u6df7\u5408\u96c6\u6210\u4e2d\uff0c\u5355\u72ec\u7684\u6fc0\u5149\u5668\u63d0\u4f9b\u4e86\u9009\u62e9\u5177\u6709\u6240\u9700\u5149\u529f\u7387\u7684\u6fc0\u5149\u5668\u7684\u7075\u6d3b\u6027\uff0c\u5e76\u4e14\u70ed\u7ba1\u7406\u4e5f\u5f88\u5bb9\u6613\u3002<\/p>\n

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\"\"
<\/figcaption><\/figure>\n

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HVM\u4e2d\u53e6\u4e00\u9879\u5546\u4e1a\u4e0a\u6210\u529f\u7684\u6280\u672f\u662f\u5f02\u8d28\u96c6\u6210\uff0c\u5373\u5728\u6676\u5706\u7ea7\u5c06\u591a\u79cd\u6750\u6599\u6216\u5916\u5ef6\u5806\u53e0\u4e00\u8d77\u52a0\u5de5\u6210\u4e00\u4e2a\u7845\u7247\u3002<\/p>\n

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\u5f88\u53ef\u80fd\u9996\u5148\u901a\u8fc7\u7ed3\u5408\u591a\u4e2a\u5355\u6ce2\u957f\u6fc0\u5149\u5668\u6765\u652f\u6301\u6a2a\u5411\u6269\u5c55\u3002\u68b3\u72b6\u6fc0\u5149\u5668\uff0c\u5982\u65e0\u6e90\u534a\u5bfc\u4f53\u9501\u6a21\u6fc0\u5149\u5668\uff08SMLL\uff09\uff0c\u6b63\u88ab\u5404\u79cd\u7814\u7a76\u5c0f\u7ec4\u79ef\u6781\u7814\u7a76\u3002DFB\u9635\u5217\u786e\u4fdd\u5728\u6bcf\u4e2a\u6ce2\u957f\u4e2d\u90fd\u6709\u5927\u7684\u8f93\u51fa\u5149\u529f\u7387\uff0c\u800c\u5728SMLL\u4e2d\uff0c\u529f\u7387\u5728\u6ce2\u957f\u4e4b\u95f4\u5206\u914d\uff0c\u964d\u4f4e\u4e86SNR\u3002\u53ef\u9971\u548c\u5438\u6536\u4f53\u7684\u5b58\u5728\u8fdb\u4e00\u6b65\u964d\u4f4e\u4e86SMLL\u7684\u603b\u8f93\u51fa\u529f\u7387\uff08\u5e76\u56e0\u6b64\u964d\u4f4e\u4e86\u6bcf\u6ce2\u957f\uff09\u3002<\/p>\n

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2.3\u3001\u96ea\u5d29\u5149\u7535\u63a2\u6d4b\u5668<\/strong><\/p>\n

\u5927\u591a\u6570\u7845\u5149\u5b50\u5e94\u7528\u53d7\u5230\u6fc0\u5149\u5668\u8f93\u51fa\u529f\u7387\u548cWPE\u6709\u9650\u4ee5\u53ca\u7535\u8def\u4e2d\u9ad8IL\u7684\u9650\u5236\u3002\u4e00\u79cd\u66ff\u4ee3\u65b9\u6848\u662f\u5728\u68c0\u6d4b\u9636\u6bb5\u63d0\u9ad8SNR\uff08\u56fe2\uff09\u3002\u4f4e\u7535\u538bAPD\u5177\u6709\u5927\u7684-3dB O\/E BW\u3001\u9ad8\u7684\u6574\u4f53\u54cd\u5e94\u5ea6\u548c\u540c\u65f6\u4f4e\u7684\u566a\u58f0\uff0c\u5c06\u6709\u5229\u4e8e\u63d0\u9ad8\u63a5\u6536\u673a\u7684\u4fe1\u566a\u6bd4\u3002\u9700\u8981\u6ce8\u610f\u7684\u662f\uff0c\u6574\u4f53\u54cd\u5e94\u5ea6\uff08\u4ee5A\/W\u4e3a\u5355\u4f4d\uff09\u548c\u4f4e\u566a\u58f0\u81f3\u5173\u91cd\u8981\u3002\u5177\u6709\u5dee\u7684\u56fa\u6709\u54cd\u5e94\u6027\u7684APD\u7684\u5927\u7684\u500d\u589e\u589e\u76ca\u4e0d\u4f1a\u5ef6\u4f38\u51fa\u4f18\u8d8a\u7684\u6027\u80fd\u3002<\/p>\n

\u5c3d\u7ba1\u5728\u7845APD\u4e2d\u76f8\u5bf9\u66f4\u5bb9\u6613\u5b9e\u73b0\uff0c\u4f46\u540c\u65f6\u4f18\u5316\u589e\u76ca-BW\u566a\u58f0\u5bf9\u4e8e\u4f4e\u7535\u538bSi\/Ge APD\u6765\u8bf4\u4ecd\u7136\u5177\u6709\u6311\u6218\u6027\u3002\u4e0eGe PD\u76f8\u6bd4\uff0cAPD\u901a\u5e38\u5177\u6709\u8f83\u5dee\u7684BW\u3001\u7ebf\u6027\u5ea6\u548c\u529f\u7387\uff0c\u8fd9\u9650\u5236\u4e86\u5b83\u4eec\u5728\u5404\u79cd\u5e94\u7528\u4e2d\u7684\u4f7f\u7528\u3002APD\u8fd8\u9700\u8981\u9488\u5bf9\u6e29\u5ea6\u548c\u7535\u538b\u6f02\u79fb\u8fdb\u884c\u6700\u4f73\u504f\u7f6e\u548c\u7a33\u5b9a\uff0c\u4f46\u8fd9\u4e5f\u6bd4\u5df2\u7ecf\u8bc1\u660e\u7684\u5fae\u73af\u7535\u8def\u5177\u6709\u66f4\u5c0f\u6311\u6218\u6027\u3002<\/p>\n

3.\u7845\u5149\u5b50\u6280\u672f\uff1a\u7cfb\u7edf\u89c6\u89d2<\/strong><\/p>\n

3.1\u3001\u5149\u5b50&\u7535\u5b50\u76f8\u8f85\u76f8\u6210<\/strong><\/p>\n

\u7845PIC\u51e0\u4e4e\u603b\u662f\u4e0e\u7535\u5b50IC\uff08EIC\uff09\u4e00\u8d77\u5b58\u5728\u3002\u5f53\u6211\u4eec\u5ba1\u89c6\u57fa\u4e8e\u5149\u5b50\u82af\u7247\u7684\u7cfb\u7edf\u65f6\uff0c\u4eca\u5929\u7684\u683c\u5c40\u51e0\u4e4e100%\u7531\u6570\u636e\u901a\u4fe1\u4e3b\u5bfc\uff0c\u6211\u4eec\u9884\u8ba1\u8fd9\u79cd\u60c5\u51b5\u5c06\u5728\u4e0d\u4e45\u7684\u5c06\u6765\u7ee7\u7eed\u6301\u7eed\u4e0b\u53bb\u3002<\/p>\n

\u5728\u8fd9\u79cd\u60c5\u51b5\u4e0b\uff0cEIC\u6709\u51e0\u4e2a\u7528\u9014\uff08\u56fe2\uff09\uff1a<\/p>\n

\uff081\uff09\u542f\u7528\u7aef\u5230\u7aef\u6570\u636e\u7684E\/O\u548cO\/E\u8f6c\u6362\u3002<\/p>\n

\uff082\uff09 \u5bf9\u6e29\u5ea6\u548c\u5236\u9020\u53d8\u5316\u8fdb\u884c\u504f\u7f6e\u3001\u63a7\u5236\u548c\u8865\u507f\u3002\u56e0\u6b64\uff0c\u5149\u5b50\u5b66\u901a\u8fc7\u63d0\u4f9b\u6570\u636e\u94fe\u8def\u4e3a\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\u670d\u52a1\uff0c\u800c\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\u901a\u8fc7\u63d0\u4f9b\u63a7\u5236\u548c\u8bfb\u51fa\u4ee5\u53ca\u6570\u5b57\u4fe1\u53f7\u5904\u7406\uff08DSP\uff09\u4e3a\u5149\u5b50\u5b66\u670d\u52a1\u3002\u5149\u5b50\u5b66\u548c\u7535\u5b50\u5b66\u4e4b\u95f4\u7684\u4e00\u4e2a\u4e3b\u8981\u533a\u522b\u662f\uff0c\u5149\u5b50\u4e0d\u76f8\u4e92\u4f5c\u7528\uff0c\u56e0\u6b64\u975e\u5e38\u9002\u5408\u4fe1\u606f\u4f20\u8f93\uff0c\u800c\u7535\u5b50\u76f8\u4e92\u4f5c\u7528\u5e76\u76f8\u4e92\u6392\u65a5\uff0c\u56e0\u6b64\u662f\u5f88\u597d\u7684\u5f00\u5173\u548c\u8ba1\u7b97\u5143\u4ef6\u3002\u56e0\u6b64\uff0c\u6bcf\u4e2a\u7845\u5149\u5b50\u5f00\u5173\u90fd\u9700\u8981\u76f8\u5e94\u7684\u7535\u5b50\u5f00\u5173\u3002<\/p>\n

\u603b\u7684\u6765\u8bf4\uff0c\u5fc5\u987b\u4f34\u968fLSI PIC\u7684EIC\u4e2d\u7684\u6676\u4f53\u7ba1\u6570\u91cf\u6bd4PIC\u4e2d\u7684\u7ec4\u4ef6\u6570\u91cf\u5927\u51e0\u4e2a\u6570\u91cf\u7ea7\u3002\u8fd9\u662f\u4e00\u79cd\u81ea\u7136\u7684\u76f8\u4e92\u4f5c\u7528\uff0c\u56e0\u4e3a\u6676\u4f53\u7ba1\u5728\uff081\uff09\u5f00\u5173\u3001\uff082\uff09\u63d0\u4f9b\u589e\u76ca\uff08\u7ebf\u6027\u548c\u9650\u5236\u6027\uff09\u548c<\/p>\n

\uff083\uff09\u63d0\u4f9b\u9ad8\u7cbe\u5ea6\u65f6\u6d88\u8017\u7684\u529f\u7387\u8981\u4f4e\u5f97\u591a\uff0c\u540c\u65f6\u6bd4\u5149\u5b50\u7ec4\u4ef6\u5c0f\u51e0\u4e2a\u6570\u91cf\u7ea7\u3002\u53e6\u4e00\u65b9\u9762\uff0c\u4e0e\u94dc\u76f8\u6bd4\uff0c\u5149\u5b50\u7ec4\u4ef6\uff081\uff09\u5728\u8f83\u957f\u8ddd\u79bb\u4e0a\u79fb\u52a8\u6570\u636e\u65f6\u80fd\u591f\u5b9e\u73b0\u8f83\u4f4e\u7684\u9891\u7387\u76f8\u5173\u635f\u8017\uff0c\uff082\uff09\u53ef\u4ee5\u901a\u8fc7\u5f02\u6b65\u548c\u65e0\u4e2d\u7ee7\u5668\u7684\u6570\u636e\u79fb\u52a8\u63d0\u4f9b\u8f83\u4f4e\u7684\u5ef6\u8fdf\uff0c\u4ee5\u53ca\uff083\uff09\u4f7f\u975e\u5e38\u9ad8\u901f\u7684\u6570\u636e\u5728\u5149\u6ce2\u5bfc\u4e0a\u7684\u5e76\u884c\u6027\uff08\u901a\u8fc7WDM\uff09\u53d8\u5f97\u5bb9\u6613\u3002<\/p>\n

\u5f53\u6570\u636e\u5df2\u7ecf\u5728\u5149\u57df\u4e2d\u65f6\uff0c\u5149\u5b50\u4fe1\u53f7\u5207\u6362\u6216\u5904\u7406\u53ef\u80fd\u4f1a\u53d8\u5f97\u6709\u5438\u5f15\u529b\u3002<\/p>\n

\u524d\u8005\u662f\u4e00\u79cd\u5e7f\u6cdb\u90e8\u7f72\u7684\u6280\u672f\uff0c\u800c\u540e\u8005\u5c1a\u672a\u5b9e\u73b0\u4ece\u7814\u7a76\u5230\u4ea7\u54c1\u7684\u98de\u8dc3\uff0c\u4ee5\u53d6\u4ee3DSP\u7684\u529f\u80fd\u3002\u56e0\u6b64\uff0c\u8ba4\u8bc6\u5230PIC\u548cEIC\u6280\u672f\u5404\u81ea\u7684\u4f18\u70b9\u662f\u5f88\u597d\u7684\u3002<\/p>\n

\u4f8b\u5982\uff0c\u5fc5\u987b\u4ed4\u7ec6\u5206\u6790\u5149\u5b50\u57df\u4e2d\u5904\u7406\u7535\u5b50\u6570\u636e\u7684E\/O\u548cO\/E\u5f00\u9500\u3002\u76f8\u53cd\uff0c\u7845\u5149\u5b50\u6280\u672f\u4e3a\u7f29\u5c0f\u5927\u578b\u5149\u5b66\u7cfb\u7edf\u63d0\u4f9b\u4e86\u673a\u4f1a\uff0c\u5e76\u5c06\u65b0\u7684\u5e94\u7528\uff08\u5982\u4f20\u611f\u548c\u6210\u50cf\uff09\u5e26\u5230\u4e86\u73b0\u5b9e\u4e2d\uff0c\u800c\u7535\u5b50\u6280\u672f\u672c\u8eab\u65e0\u6cd5\u5b9e\u73b0\u8fd9\u4e9b\u5e94\u7528\u3002<\/p>\n

\u6700\u540e\uff0c\u7845\u5149\u5b50\u6280\u672f\u5728\u6570\u767e\u592a\u8d6b\u5179\u7684\u8f7d\u6ce2\u4e0a\u5de5\u4f5c\uff0c\u800c\u7845\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\u4ec5\u9650\u4e8e\u4e9a\u592a\u8d6b\u5179\u3002\u8fd9\u79cd\u4e0d\u540c\u7684\u5c5e\u6027\u5f00\u542f\u4e86\u6709\u5438\u5f15\u529b\u7684\u5171\u540c\u8bbe\u8ba1\u673a\u4f1a\uff0c\u4f8b\u5982\u8bbe\u8ba1\u5177\u6709\u8d85\u4f4e\u76f8\u4f4d\u566a\u58f0\u7684\u7535\u5b50\u65f6\u949f\u3002<\/p>\n

3.2\u3001\u5149\u5b50&\u7535\u5b50\u751f\u6001\u7cfb\u7edf<\/strong><\/p>\n

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3.3\u3001\u5149\u5b50&\u7535\u5b50\u5171\u540c\u96c6\u6210<\/strong><\/p>\n

\u81ea\u4ece\u7b2c\u4e00\u4e2a\u5546\u4e1a\u4e0a\u6210\u529f\u7684\u7845\u5149\u5b50\u4ea7\u54c1\u95ee\u4e16\u4ee5\u6765\uff0cPIC\u4e0eEIC\u96c6\u6210\u7684\u9009\u62e9\u5c31\u4e00\u76f4\u5b58\u5728\u3002\u5f00\u53d1\u5355\u7247EPIC\u5de5\u827a\uff08\u56fe4e\uff09\uff0c\u4eceCMOS\uff08\u6216BiCMOS\uff09SOI\u5de5\u827a\u5f00\u59cb\uff0c\u5e76\u9488\u5bf9\u5149\u5b50\u5e94\u7528\u5bf9\u5176\u8fdb\u884c\u4f18\u5316\uff0c\u5df2\u591a\u6b21\u83b7\u5f97\u6210\u529f\u3002\u4ece\u5546\u4e1a\u5316\u548c\u4e0a\u5e02\u65f6\u95f4\u7684\u89d2\u5ea6\u6765\u770b\uff0c\u5355\u7247EPIC\u901a\u5e38\u201c\u4f3c\u4e4e\u201d\u662f\u9996\u9009\u7684\u4f18\u8d8a\u6280\u672f\uff08\u88684\uff09\u3002<\/p>\n

\u9a71\u52a8\u5668\u548cTIA\u7b49\u9ad8\u901f\u7535\u8def\u53ef\u4ee5\u4e0e\u8c03\u5236\u5668\u548cPD\u5e76\u6392\u653e\u7f6e\uff0c\u4ece\u800c\u51cf\u5c11\u5bc4\u751f\u6548\u5e94\u548c\u529f\u8017\u3002\u63a7\u5236\u5668\uff08\u70ed\u3001\u6ce2\u957f\uff09\u53ef\u4ee5\u88ab\u8bbe\u8ba1\u5e76\u653e\u7f6e\u5728\u5149\u5b50\u7ec4\u4ef6\u65c1\u8fb9\uff0c\u800c\u4e0d\u9700\u8981\u4e13\u7528\u710a\u76d8\u3002\u5bf9\u4e8eLSI\u5e94\u7528\uff0c\u5355\u7247EPIC\u53ef\u4ee5\u663e\u8457\u7b80\u5316\u5c01\u88c5\u590d\u6742\u6027\u3002\u7136\u800c\uff0c\u5f53\u7ba1\u82af\u533a\u57df\u7531\u5149\u5b50\uff08\u5149\u5b50\u5143\u4ef6\u6bd4\u7535\u5b50\u5143\u4ef6\u5927\u51e0\u4e2a\u6570\u91cf\u7ea7\uff09\u4e3b\u5bfc\u65f6\uff0c\u5728\u6ca1\u6709\u5145\u5206\u5229\u7528CMOS\u5668\u4ef6\u7684\u60c5\u51b5\u4e0b\uff0c\u6574\u4f53\u7ba1\u82af\u6210\u672c\u53ef\u80fd\u4f1a\u663e\u8457\u589e\u52a0\u3002\u8fd9\u79cd\u5206\u6790\u5fc5\u987b\u9488\u5bf9\u4e2a\u522b\u4ea7\u54c1\u9010\u4e00\u8fdb\u884c\u3002<\/p>\n

\"\"
<\/figcaption><\/figure>\n

\u88684 \u5728PPA\u6307\u6807\uff08\u622a\u81f32023\u5e74\uff09\u3001\u6210\u672c\u3001\u6d4b\u8bd5\u53ef\u80fd\u6027\u3001\u5c01\u88c5\u98ce\u683c\u548c\u5e94\u7528\u9002\u7528\u6027\u65b9\u9762\u6bd4\u8f83\u5c06PIC\u8fde\u63a5\u5230\u7535\u5b50IC\u7684\u4e0d\u540c\u6280\u672f<\/p>\n

\u539f\u5219\u4e0a\uff0c\u5728\u5f00\u53d1\u51fa\u5177\u6709\u5353\u8d8aFoMeefficiency\u7684\u4e0b\u4e00\u4ee3\u8c03\u5236\u5668\u4e4b\u524d\uff0c\u57fa\u4e8e\u5fae\u73af\u7684\u7535\u8def\u4f3c\u4e4e\u5bf9\u5355\u7247EPIC\u5de5\u827a\u975e\u5e38\u6709\u5438\u5f15\u529b\uff08\u7b2c2.1.1\u8282\uff09\u3002\u4f46\u8981\u5f97\u51fa\u5b83\u4eec\u5728\u7ed9\u5b9a\u7684\u7279\u5b9a\u5e94\u7528\u4e2d\u662f\u5426\u6709\u610f\u4e49\u7684\u7ed3\u8bba\uff0c\u9700\u8981\u8fdb\u884c\u5b8c\u6574\u7684\u7cfb\u7edf\u5206\u6790\uff1b\u5fae\u73af\u5177\u6709\u76f8\u5f53\u5927\u7684\u63a7\u5236\u5f00\u9500\u548c\u6027\u80fd\u6743\u8861\uff0c\u5c24\u5176\u662f\u5728\u975e\u5e38\u9ad8\u7684\u901f\u5ea6\u4e0b\u3002<\/p>\n

\u5982\u679c\u5e94\u7528\u9700\u8981\u9ad8\u901fADC\/DAC\uff0c\u5c24\u5176\u662fDSP\uff08\u56fe2\uff09\uff0c\u8fd8\u5fc5\u987b\u6dfb\u52a0\u53e6\u4e00\u4e2afinFET EIC\u4ee5\u8282\u7701\u529f\u8017\uff0c\u56e0\u4e3a\u76ee\u524d\u572845 nm CMOS SOI\u4e2d\u6700\u5feb\u7684\u5355\u7247EPIC\u5de5\u827a\u4ecd\u7136\u6bd4finFET\u5de5\u827a\u6162\u51e0\u4ee3\uff08\u6247\u51fa\u5ef6\u8fdf\uff09\u3002\u5728\u672a\u6765\u51e0\u5e74\u5185\uff0c\u5c06\u5149\u5b50\u7ec4\u4ef6\u76f4\u63a5\u96c6\u6210\u523045nm\u8282\u70b9\u4ee5\u4e0b\u7684CMOS\u6676\u7247\u4e0a\u7684\u53ef\u80fd\u6027\u4e0d\u5927\uff1b\u5728PICs\u548c\u89c4\u6a21\u5fae\u7535\u5b50\u4e4b\u95f4\u7684\u7247\u4e0a\u952e\u5408\u76f8\u5bf9\u7b80\u5355\u7684\u4e16\u754c\u91cc\uff0c\u8fd9\u6837\u505a\u5728\u7ecf\u6d4e\u6216\u6280\u672f\u4e0a\u90fd\u6ca1\u6709\u610f\u4e49\u3002<\/p>\n

EPIC\u7684\u5176\u4ed6\u53ef\u80fd\u6027\u4e5f\u88ab\u5e7f\u6cdb\u63a2\u8ba8\u3002\u5c06\u5149\u5b50\u6dfb\u52a0\u5230\u4e0a\u4e00\u4ee3CMOS\u5de5\u827a\u4e2d\u4f1a\u5bfc\u81f4\u9ad8\u529f\u7387\u3001\u8f83\u6162\u7684\u9a71\u52a8\u548cTIA\uff0c\u4ece\u800c\u5bfc\u81f4\u66f4\u7cdf\u7cd5\u7684\u6536\u53d1\u5668\u8bbe\u8ba1\uff0c\u5e76\u4f7f\u5176\u5bf9\u7845\u5149\u5b50\u7684\u6700\u5927\u5ba2\u6237\u2014\u2014\u6570\u636e\u901a\u4fe1\u548c\u7535\u4fe1\u2014\u2014\u6ca1\u6709\u5438\u5f15\u529b\u3002<\/p>\n

\u5c3d\u7ba1\u5982\u6b64\uff0c\u8fd9\u6837\u7684\u8fc7\u7a0b\u5bf9\u5927\u5b66\u7814\u7a76\u4eba\u5458\u5f88\u6709\u5438\u5f15\u529b\uff0c\u56e0\u4e3a\u5b83\u4e3a\u4ee5\u4f4e\u6210\u672c\u548c\u5c01\u88c5\u52aa\u529b\u5171\u540c\u8bbe\u8ba1\u548c\u521b\u65b0\u65b0\u7684EPIC\u7535\u8def\u5f00\u8f9f\u4e86\u673a\u4f1a\u3002\u53e6\u4e00\u65b9\u9762\uff0c\u6b63\u5728\u8fdb\u884c\u591a\u9879\u52aa\u529b\uff0c\u5c06\u53cc\u6781\u6676\u4f53\u7ba1\u96c6\u6210\u5230\u4e0e\u7845\u5149\u5b50\u5668\u4ef6\u76f8\u540c\u7684\u6676\u7247\u4e0a\u3002\u7136\u800c\uff0c\u5230\u76ee\u524d\u4e3a\u6b62\uff0c\u8fd9\u6837\u505a\u4f9d\u7136\u6d89\u53ca\u5bf9\u53cc\u6781\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\u7684\u6027\u80fd\u7684\u4e0d\u53ef\u63a5\u53d7\u7684\u59a5\u534f\u3002<\/p>\n

\u76ee\u524dHVM\u4e2d\u7684\u5927\u591a\u6570\u7845\u5149\u5b50\u6536\u53d1\u5668\u90fd\u57fa\u4e8e2.5D\u96c6\u6210\u65b9\u6cd5\uff0c\u5176\u4e2dPIC\u548cEIC\u5728\u5176\u5404\u81ea\u7684\u6700\u4f73\u5de5\u827a\u4e2d\u8fdb\u884c\u8bbe\u8ba1\u3001\u5c3a\u5bf8\u786e\u5b9a\u3001\u4f18\u5316\u3001\u6d4b\u8bd5\uff0c\u7136\u540e\u5012\u88c5\u5230\u4e2d\u4ecb\u5c42\u57fa\u677f\u4e0a\uff08\u56fe4b\uff0c\u88684\uff09\u3002EIC\u5de5\u827a\u53ef\u4ee5\u4ece\u4f17\u591aCMOS\/SiGe\u6676\u5706\u5382\u4e2d\u9009\u62e9\u3002<\/p>\n

\u591a\u4e2aEIC\u82af\u7247\u4e5f\u53ef\u4ee5\u662f\u5012\u88c5\u82af\u7247\uff0c\u4f8b\u5982\uff081\uff09\u5177\u6709\u76f8\u5f53\u5927\u7684\u51fb\u7a7f\u7535\u538b\u7684SiGe\u82af\u7247\u6216\u7f29\u653eCMOS\u82af\u7247\uff0c\u4ee5\u5141\u8bb8\u9ad8\u6446\u52a8\u9a71\u52a8\u5668\u548c\u5408\u7406\u7684\u5f00\u5173\u901f\u5ea6\u6765\u652f\u6301RF\u901f\u5ea6\u8981\u6c42\uff0c\u4ee5\u53ca\uff082\uff09\u7528\u4e8eDSP\/ADC\/DAC\u7684\u9ad8\u7ea7FinFET\u82af\u7247\u3002<\/p>\n

\u5177\u6709\u66f4\u5feb\u6676\u4f53\u7ba1\u7684EIC\u5de5\u827a\u751a\u81f3\u53ef\u4ee5\u8865\u507f\u7531\u4e8e\u989d\u5916\u7684\u710a\u76d8\u3001ESD\u548c\u5e03\u7ebf\uff08\u4e0e\u5355\u7247EPIC\u89e3\u51b3\u65b9\u6848\u76f8\u6bd4\uff09\u800c\u4ea7\u751f\u7684\u5bc4\u751f\u7535\u5bb9\u3002\u5bf9\u4e8e\u5927\u591a\u6570PIC\u7ec4\u4ef6\u9700\u8981\u76f8\u5bf9\u8f83\u4f4e\u901f\u5ea6\u7684\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\uff08\u5982\u6fc0\u5149\u96f7\u8fbe\uff09\u7684LSI\u5e94\u7528\uff0c\u5012\u88c5\u82af\u7247\u89e3\u51b3\u65b9\u6848\u4f3c\u4e4e\u662f\u5408\u7406\u7684\u3002<\/p>\n

\u7136\u800c\uff0c\u5bf9\u4e8e\u9700\u8981\u8bb8\u591a\u9ad8\u901f\u9a71\u52a8\/\u8bfb\u51fa\u7ebf\u7684LSI\u5e94\u7528\uff0c\u5012\u88c5\u82af\u7247\u89e3\u51b3\u65b9\u6848\u610f\u5473\u7740\u5185\u63d2\u5668\u4e0a\u6709\u8bb8\u591aRF\u8ff9\u7ebf\uff0c\u8fd9\u5bfc\u81f4\u4e86\u590d\u6742\u6027\u548c\u4e32\u6270\u95ee\u9898\u3002\u5728\u4efb\u4f55\u4e00\u79cd\u60c5\u51b5\u4e0b\uff0c\u7531\u4e8e\u9700\u8981\u8bb8\u591aI\/O\u51f8\u5757\uff0cPIC\u7684\u5c3a\u5bf8\u90fd\u4f1a\u589e\u52a0\uff0c\u5c3d\u7ba1\u4f7f\u7528\u5fae\u51f8\u5757\u548c\u94dc\u67f1\u6280\u672f\uff0c\u4f46\u8fd9\u4e9b\u589e\u52a0\u5728\u5546\u4e1a\u4e0a\u901a\u5e38\u53ef\u4ee5\u5ffd\u7565\u4e0d\u8ba1\u3002\u5728\u67d0\u4e9b\u60c5\u51b5\u4e0b\uff0c\u53ef\u4ee5\u8003\u8651\u6df7\u54083D\u96c6\u6210\uff0c\u5176\u4e2dEIC\u5728\uff08\u8f83\u5927\u7684\uff09PIC\u82af\u7247\u4e0a\u5012\u88c5\uff0c\u5e76\u4f7f\u7528\u5148\u8fdb\u7684\u6280\u672f\uff0c\u5982\u7845\u901a\u5b54\uff08TSV\uff09\uff08\u56fe4c\uff0c\u88684\uff09\u3002<\/p>\n

RF\u7ebf\u8def\u4ecd\u7136\u9700\u8981\u4ece\u5c0f\u578bEIC\u5e03\u7ebf\u5230PIC\u4e0a\u7684\u51e0\u4e2a\u5730\u65b9\uff0c\u8fd9\u4ecd\u7136\u5177\u6709\u6311\u6218\u6027\u3002\u5f02\u67843D\u96c6\u6210\u4e5f\u5728\u7814\u7a76\u4e2d\uff0c\u5728\u8fd9\u79cd\u96c6\u6210\u6280\u672f\u4e2d\uff0c\u5149\u5b50\u7ec4\u4ef6\u7684\u6027\u80fd\u6709\u671b\u5f97\u5230\u8fdb\u4e00\u6b65\u6539\u8fdb\uff08\u56fe4d\uff0c\u88684\uff09\uff0c\u5176\u4e2d\u4e00\u79cd\u53ef\u80fd\u6027\u662f\u4f7f\u7528\u96c6\u6210\u5728PIC\u4e0a\u7684\u591a\u4e2aEIC 3D\u3002<\/p>\n

\u603b\u7684\u6765\u8bf4\uff0c\u5e94\u7528\u3001\u6027\u80fd\u89c4\u683c\u548c\u53d1\u8d27\u91cf\uff08\u5f71\u54cd\u6210\u672c\uff09\u5c06\u51b3\u5b9a\u66f4\u6602\u8d35\u7684\u5355\u7247EPIC\uff08\u5177\u6709\u66f4\u7b80\u5355\u7684\u5c01\u88c5\uff09\u3001\u591a\u82af\u72472.5D\u96c6\u6210\uff08\u5177\u6709\u66f4\u590d\u6742\u7684\u5c01\u88c5\uff09\u8fd8\u662f3D\u96c6\u6210\uff08\u5177\u6709\u66f4\u52a0\u590d\u6742\u7684\u5904\u7406\/\u5c01\u88c5\uff09\u54ea\u79cd\u662f\u6b63\u786e\u7684\u9009\u62e9\uff08\u88684\uff09\u3002\u6211\u4eec\u9884\u8ba1\u6240\u6709\u8fd9\u4e9b\u573a\u666f\u90fd\u5c06\u5171\u5b58\uff0c\u5c31\u50cf\u5728\u7535\u5b50\u751f\u6001\u7cfb\u7edf\u4e2d\u4e00\u6837\u3002<\/p>\n

4.\u7845\u5149\u5b50\u6280\u672f\uff1a\u5e94\u7528\u524d\u666f<\/strong><\/p>\n

\u5728\u672c\u8282\u4e2d\uff0c\u6211\u4eec\u63cf\u8ff0\u4e86\u5404\u79cd\u7845\u5149\u5b50\u5e94\u7528\u6210\u529f\u7684\u4e3b\u8981\u6280\u672f\u969c\u788d\uff08\u88685\uff09\uff0c\u5c06\u5b83\u4eec\u4e0e\u524d\u51e0\u8282\u4e2d\u8ba8\u8bba\u7684\u4e00\u4e9b\u6311\u6218\u548c\u673a\u9047\u8054\u7cfb\u8d77\u6765\u3002\u6211\u4eec\u4ec5\u9650\u5236PIC\/EIC\u6280\u672f\u7684\u969c\u788d\uff0c\u4e0d\u5305\u62ec\u7ecf\u6d4e\u3001\u76d1\u7ba1\u3001\u5e02\u573a\u548c\u5176\u4ed6\u56e0\u7d20\uff0c\u5982\u5316\u5b66\u3001\u751f\u7269\u6807\u5fd7\u7269\u3001\u91cf\u5b50\u4f18\u52bf\u7b49\u3002\u6211\u4eec\u4e5f\u6ca1\u6709\u6df1\u5165\u7814\u7a76\u7845\u5149\u5b50\u5bf9\u8fd9\u4e9b\u5e94\u7528\u7684\u597d\u5904\uff0c\u56e0\u4e3a\u4e4b\u524d\u7684\u5927\u591a\u6570\u5de5\u4f5c\u90fd\u5bf9\u5176\u8fdb\u884c\u4e86\u8be6\u7ec6\u63cf\u8ff0\u3002<\/p>\n

\"\"
<\/figcaption><\/figure>\n

\u88685 \u7845\u5149\u5b50\u5728\u901a\u4fe1\u3001\u8ba1\u7b97\u3001\u4fe1\u53f7\u5904\u7406\u548c\u4f20\u611f\u9886\u57df\u7684\u5404\u79cd\u5e94\u7528\u9762\u4e34\u7684\u6700\u5927\u6280\u672f\u6311\u6218\uff08\u622a\u81f32023\u5e74\uff09<\/p>\n

\u4e3a\u4e86\u4f7fIMDD\u6536\u53d1\u5668\u8fdb\u4e00\u6b65\u63d0\u9ad8\u5176\u80fd\u91cf\u6548\u7387\uff08pJ\/b\uff09\u5e76\u6269\u5c55\u5230\u66f4\u9ad8\u7684\u6570\u636e\u901f\u7387\uff0c\u8c03\u5236\u5668FoMeefficiency\u9700\u8981\u8fdb\u4e00\u6b65\u964d\u4f4e\uff0c?3dB E\/O BW\u9700\u8981\u63d0\u9ad8\u5230100 GHz\u3002\u6539\u8fdb\u6fc0\u5149\u5668\u7684WPE\u5bf9\u4e8e\u5927\u591a\u6570\u5e94\u7528\u6765\u8bf4\u662f\u5fc5\u4e0d\u53ef\u5c11\u7684\uff0c\u4f46\u5bf9\u4e8e\u901a\u4fe1\u548c\u8ba1\u7b97\u5e94\u7528\u6765\u8bf4\u5c24\u5176\u91cd\u8981\u3002\u8fd8\u9700\u8981\u5728\u6bcf\u4e2a\u6ce2\u957f\u4e2d\u5177\u6709\u8db3\u591f\u5927\u529f\u7387\u7684\u9ad8\u6548\u591a\u6ce2\u957f\u5149\u6e90\u3002<\/p>\n

O\/L\/C\u9891\u5e26\u4e2d\u7684\u4f4e\u566a\u58f0\u3001\u5927\u589e\u76ca\u5e26\u5bbdAPD\u53ef\u4ee5\u5728\u6ca1\u6709\u663e\u8457\u529f\u8017\u635f\u5931\u7684\u60c5\u51b5\u4e0b\u63d0\u4f9bSNR\u6539\u8fdb\uff0c\u4f46\u4ece\u5386\u53f2\u4e0a\u770b\uff0c\u5b83\u4eec\u7684\u5e26\u5bbd\u3001\u7ebf\u6027\u3001\u566a\u58f0\u548c\u529f\u7387\u5904\u7406\u7279\u6027\u963b\u788d\u4e86\u5b83\u4eec\u5728\u6700\u9ad8\u5e26\u5bbd\u4e0b\u7684\u4f7f\u7528\u3002\u6700\u540e\uff0c\u4f7f\u7528\u9ad8\u589e\u76ca\u3001\u4f4e\u566a\u58f0TIA\u653e\u5927PD\u4fe1\u53f7\u4ecd\u7136\u662f\u4e00\u4e2a\u5173\u952e\u7684\u6311\u6218\u3002\u6700\u8fd1\u5df2\u7ecf\u8bc1\u660e\u4e86\u51e0\u79cd\u57fa\u4e8e\u5747\u8861\u7684\u6280\u672f\u53ef\u4ee5\u4f7f\u7528\u4f4eBW TIA\u6765\u9650\u5236\u566a\u58f0\uff0c\u4f46\u5927\u591a\u6570\u6280\u672f\u90fd\u53ea\u662f\u5728\u63a5\u6536\u673a\u65f6\u949f\u53ef\u7528\u7684\u5047\u8bbe\u4e0b\u64cd\u4f5c\u7684\u3002<\/p>\n

\u4e3a\u4e86\u4f7f\u76f8\u5e72\u6536\u53d1\u5668\u5728\u6570\u636e\u4e2d\u5fc3\u5185\u90e8\u5177\u6709\u7ade\u4e89\u529b\uff0c\u5fc5\u987b\u89e3\u51b3\u989d\u5916\u7684\u6311\u6218\uff08\u76f8\u5bf9\u4e8eIMDD\uff09\u3002TIA\u548c\u9a71\u52a8\u5668\u7684\u7ebf\u6027\u8981\u6c42\u66f4\u52a0\u4e25\u683c\uff0c\u9700\u8981\u5c3d\u53ef\u80fd\u51cf\u5c11\u5bf9\u8017\u7535DSP\u7684\u4f9d\u8d56\u3002\u7814\u7a76\u4eba\u5458\u6b63\u5728\u63a2\u7d22\u7684\u4e00\u79cd\u7b56\u7565\u662f\u5229\u7528\u96c6\u6210\u5149\u5b50\u548c\u6a21\u62df\u7535\u5b50\u7535\u8def\u5c06\u4e00\u4e9b\u4fe1\u53f7\u5904\u7406\u4efb\u52a1\u8f6c\u79fb\u5230\u5149\u5b66\u9886\u57df\u3002\u540e\u8005\u9700\u8981\u5927\u91cf\u7684\u7535\u5b50-\u5149\u5b50\u534f\u540c\u8bbe\u8ba1\u5de5\u4f5c\uff0c\u4e3aCMOS\u8bbe\u8ba1\u8005\u5229\u7528\u6df7\u5408\u4fe1\u53f7\u548cRF IC\u7684\u4e13\u4e1a\u77e5\u8bc6\u63d0\u4f9b\u4e86\u673a\u4f1a\u3002<\/p>\n

\u5b9e\u9645\u7684\u91cf\u5b50\u901a\u4fe1\u548c\u8ba1\u7b97\u5e94\u7528\u9700\u8981\u5177\u6709\u5148\u8fdbCMOS\u63a7\u5236\u5668\u7684LSI-VLSI\u5149\u5b50\u7ec4\u4ef6\u3002\u5bf9\u4e8e\u82af\u7247\u7ea7\u79bb\u6563\u53ef\u53d8\u91cf\u5b50\u5bc6\u94a5\u5206\u5e03\uff08QKD\uff09\uff0c\u6700\u91cd\u8981\u7684\u8981\u6c42\u662f\u8d85\u5bfc\u7eb3\u7c73\u7ebf\u5355\u5149\u5b50\u63a2\u6d4b\u5668\uff08SPD\uff09\u9635\u5217\u7684\u4f4e\u6e29\u517c\u5bb9\u5149\u5b50\/\u7535\u5b50\u8bfb\u51fa\u548c\u63a7\u5236\uff1b\u5f00\u53d1\u4f4e\u635f\u8017\u3001\u4f4e\u529f\u7387\u4f4e\u6e29\u8c03\u5236\u5668\u548c\u4f4e\u6e29\u517c\u5bb9WDM\u590d\u7528\u5668\/\u89e3\u590d\u7528\u5668\uff1b\u4ee5\u53ca\u5728\u4f4e\u566a\u58f0\u3001\u4f4e\u4e32\u6270\u7684\u82af\u7247\u7ea7\u5149\u5b50\u7535\u5b50\u89e3\u51b3\u65b9\u6848\u4e2d\u96c6\u6210\u53d1\u5c04\u5668\u5904\u7684\u5355\u5149\u5b50\u6e90\uff08SPS\uff09\u9635\u5217\u3002\u8d85\u5bfc\u7eb3\u7c73\u7ebfSPD\u5728\u7535\u4fe1\u6ce2\u957f\u4e0b\u5de5\u4f5c\uff0c\u6709\u52a9\u4e8e\u5c06\u73b0\u6709\u5149\u7ea4\u7528\u4f5c\u91cf\u5b50\u901a\u9053\u3002<\/p>\n

\u9664\u4e86\u5927\u89c4\u6a21\u5e76\u884c\u5316\u4e4b\u5916\uff0c\u51cf\u5c11\u63a5\u6536\u673a\u4e2d\u7684\u635f\u8017\u548c\u63d0\u9ad8SPD\u6027\u80fd\u5c06\u6709\u52a9\u4e8e\u63d0\u9ad8\u4f20\u8f93\u901f\u7387\u3002\u5bf9\u4e8e\u91cf\u5b50\u8ba1\u7b97\u5e94\u7528\uff0c\u6311\u6218\u662f\u76f8\u4f3c\u7684\uff0c\u4f46\u9700\u8981\u66f4\u5927\u7684\u91cf\u5b50\u4f4d\u63a7\u5236\/\u8bfb\u51fa\u53ef\u6269\u5c55\u6027\uff0c\u5305\u62ec\u5149\u5b50\u5b66\u548c\u4f4e\u5ef6\u8fdf\u63a7\u5236\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\u3002\u5f53\u7136\uff0c\u91cf\u5b50\u4f4d\u7684\u8d28\u91cf\u662f\u81f3\u5173\u91cd\u8981\u7684\u3002\u63a7\u5236\/\u8bfb\u53d6\u7684\u53ef\u6269\u5c55\u6027\u968f\u7740IL\u800c\u964d\u4f4e\u2014\u2014\u6bcf\u635f\u5931\u4e00\u4e2a\u5149\u5b50\u90fd\u4f1a\u4ee5\u6307\u6570\u65b9\u5f0f\u964d\u4f4e\u91cf\u5b50\u7cfb\u7edf\u7684\u80fd\u529b\u3002\u56e0\u6b64\uff0c\u9700\u8981\u8d85\u4f4e\u635f\u8017\u8026\u5408\u5668\u6765\u8fde\u63a5\u5230PIC\u3002<\/p>\n

\u5149\u5b50\u8ba1\u7b97\u6d89\u53ca\u5149\u5b50\u57df\u4e2d\u4fe1\u606f\u7684\u6a21\u62df\u8ba1\u7b97\u548c\u5904\u7406\u3002\u8fd9\u9700\u8981\u5904\u7406\u591a\u7ea7\u4fe1\u4ee4\u5e76\u63d0\u9ad8\u6743\u91cd\u63a7\u5236\u7684\u7cbe\u5ea6\uff0c\u4ee5\u4fdd\u6301\u8db3\u591f\u9ad8\u7684SNR\uff0c\u4ece\u800c\u4e0e\u73b0\u6709\u7684CMOS EIC\u8ba1\u7b97\u5f15\u64ce\u76f8\u6bd4\u4fdd\u6301\u7cbe\u5ea6\u3002<\/p>\n

\u8bbf\u95ee\u9ad8\u901f\u5185\u5b58\u4ee5\u9632\u6b62\u975e\u91cd\u91cf\u56fa\u5b9a\u7684\u6fc0\u6d3b\u548c\u4efb\u52a1\u51fa\u73b0\u5185\u5b58\u5899\u662f\u53e6\u4e00\u4e2a\u6311\u6218\u3002\u5149\u5b50\u8ba1\u7b97\u91c7\u7528\u9ad8\u5e76\u884c\u6027\uff0c\u56e0\u6b64\u9700\u8981\u51cf\u5c11\u65e0\u6e90\u548c\u6709\u6e90\u5668\u4ef6\uff08\u8c03\u5236\u5668\u3001\u79fb\u76f8\u5668\uff09\u7684IL\uff0c\u5e76\u63d0\u9ad8\u591a\u6ce2\u957f\u6fc0\u5149\u5668\u7684\u8f93\u51fa\u529f\u7387\uff0c\u4ee5\u589e\u52a0\u7f51\u7edc\u89c4\u6a21\u3002<\/p>\n

\u5bf9\u4e8e\u6c7d\u8f66\u9a7e\u9a76\uff0c\u7845\u5149\u5b50\u6fc0\u5149\u96f7\u8fbe\u5c06\u81ea\u5df1\u5b9a\u4f4d\u4e3a\u5229\u7528\u673a\u68b0\u6216\u57fa\u4e8eMEMS\u7684\u626b\u63cf\u7684\u98de\u884c\u65f6\u95f4\uff08ToF\uff09\u6fc0\u5149\u96f7\u8fbe\u7684\u56fa\u6001\u6311\u6218\u8005\u3002\u6fc0\u5149\u96f7\u8fbe\u7531\u4e24\u4e2a\u5b50\u7cfb\u7edf\u7ec4\u6210\u2014\u2014\u6d4b\u8ddd\u548c\u6ce2\u675f\u63a7\u5236\uff0c\u8fd9\u4e24\u4e2a\u5b50\u7cfb\u7edf\u90fd\u53ef\u4ee5\u4f7f\u7528\u7845\u5149\u5b50\u6280\u672f\u3002ToF\u548c\u8c03\u9891\u8fde\u7eed\u6ce2\uff08FMCW\uff09\u662f\u6d4b\u8ddd\u6280\u672f\u3002<\/p>\n

FMCW\u63d0\u4f9b\u4e86\u4ee5\u4e0b\u4f18\u70b9\uff1a\uff081\uff09\u76f8\u5e72\u68c0\u6d4b\u4f4e\u81f3\u51e0\u4e2a\u5149\u5b50\u7684\u4fe1\u53f7\uff0c\uff082\uff09\u5bf9\u6765\u81ea\u73af\u5883\u6e90\u7684\u5e72\u6270\u7684\u9c81\u68d2\u6027\uff0c\u4ee5\u53ca\uff083\uff09\u540c\u65f6\u8fdb\u884c\u8ddd\u79bb\u548c\u901f\u5ea6\u6d4b\u91cf\u3002\u76f8\u5e72\u68c0\u6d4b\u7684\u6240\u6709\u5fc5\u8981\u7ec4\u4ef6\u90fd\u53ef\u4ee5\u96c6\u6210\u5728\u5355\u4e2a\u82af\u7247\u4e0a\u3002<\/p>\n

\u5bf9\u4e8e\u6ce2\u675f\u63a7\u5236\uff0c\u5b58\u5728\u4e24\u79cd\u96c6\u6210\u7684\u53ef\u80fd\u6027\uff1a<\/p>\n

\uff081\uff09\u57fa\u4e8e\u8fde\u7eed\u53ef\u8c03\u8c10\u79fb\u76f8\u5668\u548c\u5149\u6805\u7684\u5149\u5b66\u76f8\u4f4d\u9635\u5217\u3002\u4f53\u5149\u5b66\u89e3\u51b3\u65b9\u6848\uff0c\u5982\u65cb\u8f6c\u955c\u548c\u632f\u8361\u955c\uff0c\u5177\u6709\u5ec9\u4ef7\u3001\u6210\u719f\u548c\u7b80\u5355\u7684\u4f18\u70b9\uff1b\u7528\u7247\u4e0aOPA\u53d6\u4ee3\u8fd9\u6837\u7684\u89e3\u51b3\u65b9\u6848\u5c06\u662f\u4e00\u4e2a\u91cd\u5927\u6311\u6218\u3002\u4e3a\u4e86\u4f7fOPA\u53d1\u5c04\u5355\u4e2a\u6ce2\u675f\uff0c\u5149\u6805\u5929\u7ebf\u7684\u95f4\u8ddd\u9700\u8981\u5c0f\u4e8e\u534a\u4e2a\u6ce2\u957f\uff08\u5728\u81ea\u7531\u7a7a\u95f4\u4e2d\uff09\u2014\u2014\u8fd9\u5bf9\u4e8e\u7845\u82af\u7247\u4e0a\u76842D\u6ce2\u675f\u63a7\u5236\u6765\u8bf4\u662f\u4e00\u4e2a\u5177\u6709\u6311\u6218\u6027\u7684\u547d\u9898\u3002\u56e0\u6b64\uff0c\u7845\u5149\u5b50OPA\u901a\u5e38\u5177\u6709\u5e03\u7f6e\u7528\u4e8e1D\u4e2d\u7684\u5149\u675f\u8f6c\u5411\u7684\u5149\u6805\uff0c\u5e76\u4e14\u6fc0\u5149\u7684\u6ce2\u957f\u88ab\u626b\u8fc7\u4ee5\u5c06\u5149\u675f\u8f6c\u5411\u53e6\u4e00\u4e2a\u65b9\u5411\u3002<\/p>\n

\uff082\uff09 \u57fa\u4e8e\u7247\u4e0a\u5f00\u5173\u7f51\u7edc\u548c\u5149\u6805\u8026\u5408\u5668\u7684\u7126\u5e73\u9762\u9635\u5217\u3002\u5176\u4e2d\u5305\u62ec\u9700\u8981MEMS\u5f00\u5173\u76842D FPA\uff0c\u6216\u5177\u6709\u6ce2\u957f\u63a7\u5236\u76841D FPA\u3002\u65e0\u8bba\u89e3\u51b3\u65b9\u6848\u5982\u4f55\uff0c\u4f4e\u529f\u7387\uff0810s\u7684nW\uff09\u548c\u6539\u8fdb\u7684FoMeefficiency\u79fb\u76f8\u5668\u5bf9\u4e8e\u6ce2\u675f\u63a7\u5236\u6765\u8bf4\u90fd\u662f\u91cd\u8981\u7684\u548c\u5fc5\u8981\u7684\u3002\u6539\u8fdb\u6fc0\u5149\u662f\u4e0b\u4e00\u4e2a\u6311\u6218\u3002\u5bf9\u4e8e1D\u8fd0\u7b97\u653e\u5927\u5668\u6216FPA\uff0c\u591a\u6ce2\u957f\u6fc0\u5149\u5668\u53ef\u4ee5\u653e\u677e\u6ce2\u957f\u8c03\u8c10\u3002\u5bf9\u4e8eFMCW\u89e3\u8c03\uff0c\u7a84\u7ebf\u5bbd\uff08<100kHz\uff09\u8fde\u7eed\u53ef\u8c03\u8c10\u6fc0\u5149\u5668\uff08\u4f18\u9009\u65e0\u6a21\u5f0f\u8df3\u53d8\uff09\u81f3\u5173\u91cd\u8981\u3002\u7f29\u653e\u548c\u5c01\u88c5\u662f\u7b2c\u4e09\u4e2a\u6311\u6218\u3002<\/p>\n

\u7f29\u653e\u8bb8\u591a\u53d1\u5c04\u5668\u548c\u79fb\u76f8\u5668\u7684\u5149\u5b50\u5b66\u548c\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\uff0c\u5e76\u4e3a\u6fc0\u5149\u5668\u548c\u590d\u6742\u7684DSP\u96c6\u6210\u76f8\u5f53\u5927\u7684\u5ef6\u8fdf\uff08\u56fe2\uff0c\u89c1\u8865\u5145\uff09\uff0c\u8fd9\u4e24\u8005\u90fd\u662f\u5fc5\u8981\u7684\u3002<\/p>\n

\u5fae\u6ce2\u5149\u5b50\u7684\u5e94\u7528\uff08\u5982\u6ee4\u6ce2\u5668\u548c\u4f4e\u76f8\u4f4d\u566a\u58f0\u632f\u8361\u5668\uff09\u4e0e\u8fc4\u4eca\u4e3a\u6b62\u8ba8\u8bba\u7684\u5927\u591a\u6570\u5176\u4ed6\u5e94\u7528\u76f8\u6bd4\uff0c\u5177\u6709\u4e0d\u540c\u7684\u6311\u6218\u3002<\/p>\n

\u7528\u4e8e\u5fae\u6ce2\u6ee4\u6ce2\u7684\u65e0\u6742\u6563\u52a8\u6001\u8303\u56f4\uff08SFDR\uff09\u89c4\u8303\u5728\u5f53\u524d\u4e00\u4ee3\u7845\u5149\u5b50\u4e2d\u5b9e\u73b0\u8d77\u6765\u76f8\u5f53\u5177\u6709\u6311\u6218\u6027\u3002\u8c03\u5236\u5668\u548cPD\u9700\u8981\u4e25\u683c\u7684\u7ebf\u6027\uff0c\u540c\u65f6\uff0c\u5fc5\u987b\u5c06\u51e0\u79cd\u566a\u58f0\u6e90\uff08\u6fc0\u5149\u3001PD\u3001TIA\uff09\u964d\u81f3\u6700\u4f4e\u3002\u83b7\u5f97RF\u51c0\u589e\u76ca\u7684\u76ee\u6807\u4f7f\u8bbe\u8ba1\u66f4\u52a0\u590d\u6742\u3002\u901a\u8fc7\u5177\u6709\u4f18\u4e8e\u4ec5CMOS\u5bf9\u5e94\u7269\u7684\u76f8\u4f4d\u566a\u58f0\u7684\u7845\u5149\u5b50\u5b9e\u73b0\u6fc0\u5149\u8f85\u52a9\u5fae\u6ce2\u632f\u8361\u5668\u8fd8\u9700\u8981\u6700\u5c0f\u5316\u6fc0\u5149\u566a\u58f0\u3001PD\u548cTIA\u566a\u58f0\u3002\u8fd8\u9700\u8981\u826f\u597d\u7684\u77ed\u671f\u548c\u957f\u671f\u7a33\u5b9a\u6027\u3002<\/p>\n

\u7845\u5149\u5b50\u8fd8\u53ef\u4ee5\u7528\u4e8e\u4f4e\u6210\u672c\u548c\u7d27\u51d1\u8bbe\u8ba1\u7684\u9640\u87ba\u4eea\u3002\u4f46\u662f\uff0c\u4e3a\u4e86\u5728\u6027\u80fd\u4e0a\u4e0e\u57fa\u4e8e\u5149\u7ea4\u7684\u540c\u884c\u7ade\u4e89\uff0c\u5229\u7528Sagnac\u6548\u5e94\u7684\u7845\u5149\u5b50\u4e2d\u7684\u9640\u87ba\u4eea\u5fc5\u987b\u8bc1\u660e\u6ce2\u5bfc\u4e2d\u7684\u8d85\u4f4e\u635f\u8017\uff08\u6a21\u4eff\u5149\u7ea4\uff09\u3001\u5728\u632f\u52a8\u548c\u6e29\u5ea6\u53d8\u5316\u7684\u6781\u7aef\u6761\u4ef6\u4e0b\u7531\u4e8e\u53cd\u5c04\u800c\u5bfc\u81f4\u7684\u504f\u7f6e\u6f02\u79fb\u7684\u51cf\u5c11\uff08\u4ee5\u4e0d\u63a9\u76d6Sagnac\u76f8\u79fb\uff09\u4ee5\u53ca\u9ad8\u7075\u654f\u5ea6\u7684\u4f4e\u566a\u58f0\u3002<\/p>\n

SiN\u6ce2\u5bfc\u7684\u5de5\u7a0b\u5316\u5df2\u7ecf\u5c06\u635f\u8017\u964d\u4f4e\u52300.5dB\/m\uff0c\u8fd8\u9700\u8981\u8fdb\u4e00\u6b65\u6539\u8fdb\u3002\u5fc5\u987b\u6d88\u9664\u7247\u4e0a\u548c\u7247\u5916\u7684\u80cc\u53cd\u5c04\uff0c\u4e3a\u6b64\u5fc5\u987b\u53ef\u9760\u5730\u5b9e\u73b0\u7247\u4e0a\u9694\u79bb\u5668\u3001\u53cd\u5c04\u6d88\u9664\u7535\u8def\u6216\u81ea\u6ce8\u5165\u9501\u5b9a\u3002\u7531\u4e8e\u9640\u87ba\u4eea\u65e2\u4e0d\u9700\u8981LSI\u5b9e\u73b0\uff0c\u4e5f\u4e0d\u9700\u8981\u9ad8\u901f\u8c03\u5236\u5668\uff0c\u56e0\u6b64\u5982\u679c\u89e3\u51b3\u4e86\u4e0a\u8ff0\u6311\u6218\uff0c\u5b83\u5c06\u4f1a\u662f\u4e00\u79cd\u5f88\u6709\u524d\u9014\u7684\u5b9a\u5236\u5e94\u7528\u3002\u5b83\u5bf9\u632f\u52a8\u7684\u9c81\u68d2\u6027\u4e5f\u8981\u6c42\u5f02\u6784\u5b9e\u73b0\uff0cHVM\u5fc5\u987b\u89e3\u51b3\u5176\u6311\u6218\u3002<\/p>\n

\u7528\u4e8e\u751f\u7269\u4f20\u611f\u5e94\u7528\u7684\u7845\u5149\u5b50\u5149\u8c31\u4eea\u901a\u5e38\u9700\u8981\u4e0eC\/L\/O\u6ce2\u6bb5\u4e0d\u517c\u5bb9\u7684\u5de5\u4f5c\u6ce2\u957f\u3002\u8fd9\u6210\u4e3a\u6700\u91cd\u8981\u7684\u74f6\u9888\uff0c\u56e0\u4e3a\u5fc5\u987b\u8bbe\u8ba1\u3001\u6d4b\u8bd5\u548c\u8868\u5f81\u65b0\u7684\u6ce2\u5bfc\uff08\u76f8\u5bf9\u4e8e\u6807\u51c6\u7684220nm\uff09\u548c\u5176\u4ed6\u5149\u5b50\u7ec4\u4ef6\u3002<\/p>\n

\u6fc0\u5149\u5668\u4e5f\u662f\u5f88\u5177\u6709\u6311\u6218\u6027\u7684\uff0c\u5e76\u4e14\u5728\u8fd9\u4e9b\u975e\u6807\u51c6\u6ce2\u957f\u4e0b\u5bf9\u5bbd\u6ce2\u957f\u8c03\u8c10\u6216\u591a\u6ce2\u957f\u6fc0\u5149\u5668\u7684\u9700\u6c42\u9020\u6210\u4e86\u4e25\u91cd\u7684\u56f0\u96be\u3002\u6700\u540e\uff0c\u6d4b\u91cf\u7684\u7a33\u5b9a\u6027\u548c\u53ef\u590d\u5236\u6027\u5bf9\u4e8e\u751f\u7269\u4f20\u611f\u5e94\u7528\u81f3\u5173\u91cd\u8981\uff0c\u5c3d\u7ba1\u5b58\u5728\u73af\u5883\u6f02\u79fb\uff0c\u4f46\u5fc5\u987b\u4fdd\u6301PIC\u548c\u6fc0\u5149\u5668\u7684\u6027\u80fd\u3002<\/p>\n

\u500f\u901d\u573a\u751f\u7269\u4f20\u611f\u5668\u7684\u7a33\u5b9a\u6027\u548c\u53ef\u590d\u5236\u6027\u8981\u6c42\u751a\u81f3\u66f4\u4e25\u683c\uff0c\u56e0\u4e3a\u5bf9\u8840\u6db2\u6216\u5176\u4ed6\u4f53\u6db2\u7684\u4fb5\u5165\u6027\u6d4b\u91cf\u589e\u52a0\u4e86\u7528\u6237\u5bf9\u4fe1\u4efb\u7684\u671f\u671b\u3002\u68c0\u6d4b\u7684\u7cfb\u7edf\u6781\u9650\u4e0d\u4ec5\u53d6\u51b3\u4e8e\u8c10\u632f\u5668\u5bf9\u6e29\u5ea6\u3001\u6fc0\u5149\u566a\u58f0\u3001PD\u548cTIA\u566a\u58f0\u7684\u54cd\u5e94\uff0c\u8fd8\u53d6\u51b3\u4e8e\u6d41\u4f53\u6d41\u52a8\u3001\u673a\u68b0\u632f\u52a8\u548c\u751f\u7269\u566a\u58f0\u5f15\u8d77\u7684\u566a\u58f0\u3002\u5728\u6c27\u5316\u7269\u5f00\u653e\u6b65\u9aa4\u4e4b\u540e\uff0c\u8c10\u632f\u5668\u8868\u9762\u7684\u529f\u80fd\u5316\u5728\u5f88\u5927\u7a0b\u5ea6\u4e0a\u53d6\u51b3\u4e8e\u6ce2\u5bfc\u8bbe\u8ba1\u548c\u4eb2\u548c\u529b\u3002\u751f\u7269\u4f20\u611f\u5668\u7684\u5c01\u88c5\u548c\u96c6\u6210\u5e26\u6765\u4e86\u4e0b\u4e00\u7ec4\u6311\u6218\u3002\u53f0\u5f0f\u673a\u4f7f\u7528\u6602\u8d35\u7684\u53ef\u8c03\u8c10\u6fc0\u5149\u5668\u548c\u7eb3\u7c73\u5b9a\u4f4d\u5668\uff0c\u4f46\u4f7f\u7528\u7b80\u5355\u7684\u65e0\u6e90PIC\u8fdb\u884c\u751f\u7269\u4f20\u611f\u3002\u53e6\u4e00\u65b9\u9762\uff0c\u62a4\u7406\u70b9\u8bbe\u5907\u5fc5\u987b\u7d27\u51d1\u3001\u5ec9\u4ef7\uff0c\u5e76\u4e14\u9700\u8981\u4f7f\u7528\u4f4e\u6210\u672c\u53ef\u8c03\u8c10\u6fc0\u5149\u5668\u6216\u4e0ePIC\u3001EIC\u548c\u6d41\u4f53\u5b66\u7684\u5176\u4f59\u90e8\u5206\u96c6\u6210\u7684\u56fa\u5b9a\u6ce2\u957f\u6fc0\u5149\u5668\u8fdb\u884c\u64cd\u4f5c\u3002<\/p>\n

\u76ee\u524d\u7528\u4e8e\u89c6\u7f51\u819c\u6210\u50cf\u7684\u4ee5\u7845\u5149\u5b50\u4e3a\u626b\u63cf\u6e90\u7684\u5149\u5b66\u76f8\u5e72\u65ad\u5c42\u626b\u63cf\uff08OCT\uff09\u539f\u578b\u7684\u7075\u654f\u5ea6\u8f83\u5dee\u3002\u9996\u5148\uff0c\u5b83\u4eec\u5728O\u6216C\u6ce2\u6bb5\u5de5\u4f5c\uff0c\u800c\u773c\u79d1OCT\u4f18\u9009\u57281050 nm\u5904\uff0c\u4ee5\u66f4\u6df1\u5730\u7a7f\u900f\u7ec4\u7ec7\u3002\u79fb\u52a8\u52301050nm\u5c06\u9700\u8981\u57fa\u4e8eSiN\u7684PIC\u548c\u8be5\u6ce2\u957f\u7684\u53ef\u8c03\u8c10\u6fc0\u5149\u6e90\u3002\u6700\u5927\u9650\u5ea6\u5730\u51cf\u5c11\u5185\u90e8\u53cd\u5c04\u5e76\u6539\u5584\u9694\u79bb\u5c06\u63d0\u9ad8\u7075\u654f\u5ea6\u3002<\/p>\n

\u4e0b\u4e00\u4e2a\u969c\u788d\u662f\u6fc0\u5149\u6e90\u7684\u8c03\u8c10\u8303\u56f4\u548c\u626b\u63cf\u901f\u7387\u6709\u9650\uff0c\u964d\u4f4e\u4e86\u56fe\u50cf\u91c7\u96c6\u901f\u7387\u3002\u6700\u540e\uff0c\u7531\u4e8e\u6fc0\u5149\u5b89\u5168\u6027\u7684\u9650\u5236\uff0c\u6fc0\u5149\u529f\u7387\u4e0d\u80fd\u592a\u9ad8\u3002\u8fd9\u53cd\u8fc7\u6765\u53c8\u9700\u8981PIC\u548c\u6210\u50cf\u5149\u5b66\u5668\u4ef6\u4e4b\u95f4\u51e0\u4e4e\u65e0\u635f\u7684\u8fde\u63a5\u3002<\/p>\n

5.\u603b\u7ed3\u4e0e\u7ed3\u8bba<\/strong><\/p>\n

\u6211\u4eec\u5728\u7845\u5149\u5b50\u65b9\u9762\u53d6\u5f97\u4e86\u5de8\u5927\u7684\u98de\u8dc3\u2014\u2014\u4ece\u51e0\u5341\u5e74\u524d\u624d\u5236\u9020\u51fa\u7b2c\u4e00\u4e2a\u9ad8\u9650\u5236\u6ce2\u5bfc\u548c\u7b2c\u4e00\u4e2a\u8c03\u5236\u5668\u2014\u2014\u5230\u6218\u7565\u6027\u5730\u5229\u7528CMOS\u884c\u4e1a\u7684\u6750\u6599\u3001\u96c6\u6210\u548c\u5c01\u88c5\u6280\u672f\u6210\u4e3a\u6536\u53d1\u5668\u9886\u57df\u7684\u4e3b\u5bfc\u6280\u672f\u3002\u4e0e\u6b64\u540c\u65f6\uff0c\u7845\u5149\u5b50\u5728\u5f88\u5927\u7a0b\u5ea6\u4e0a\u4ecd\u7136\u662f\u4e00\u9879\u6b63\u5728\u5f00\u53d1\u4e2d\u7684\u6280\u672f\uff0c\u800c\u4e00\u7cfb\u5217\u7684\u53ef\u80fd\u6027\uff08\u672c\u6587\u4ec5\u63cf\u8ff0\u4e86\u5176\u4e2d\u7684\u4e00\u4e9b\uff09\u9884\u793a\u7740\u672a\u6765\u7684\u524d\u666f\u3002<\/p>\n

\u672a\u6765\u5341\u5e74\u5c06\u51fa\u73b0\u4e00\u4e9b\u660e\u663e\u7684\u8d62\u5bb6\uff0c\u6574\u5408\u4e5f\u5c06\u53d1\u751f\u3002\u5c3d\u7ba1\u5982\u6b64\uff0c\u5e94\u7528\u7a0b\u5e8f\u7684\u591a\u6837\u6027\u5c06\u786e\u4fdd\u8be5\u6280\u672f\u6709\u8db3\u591f\u7684\u673a\u4f1a\u6269\u5927\u89c4\u6a21\u5e76\u5e7f\u6cdb\u4f20\u64ad\u3002<\/p>\n

\u6211\u4eec\u76f8\u4fe1\uff0c\u5728\u4e0b\u4e00\u4e2a\u5341\u5e74\uff0c\u6211\u4eec\u5c06\u770b\u5230\u4ee5\u4e0b\u53ef\u80fd\u5b9e\u73b0\u7684\u91cc\u7a0b\u7891\uff1a<\/p>\n

\u6df7\u5408\u3001\u5f02\u6784\u548c\u5355\u7247\u96c6\u6210\u5c06\u4e3a\u5927\u89c4\u6a21\u96c6\u6210\u7535\u8def\u751a\u81f3\u8d85\u5927\u89c4\u6a21\u96c6\u6210\u7535\u8def\u5b9e\u73b0\u63d0\u4f9b\u5177\u6709\u5fc5\u8981\u5bc6\u5ea6\u3001\u53ef\u914d\u7f6e\u6027\u548c\u53ef\u7f16\u7a0b\u6027\u7684\u6fc0\u5149\u5668\u3001\u79fb\u76f8\u5668\u3001\u8c03\u5236\u5668\u548c\u7535\u5b50\u5668\u4ef6\u3002\u8fd9\u4e9b\u96c6\u6210\u6280\u672f\u4e2d\u7684\u6bcf\u4e00\u79cd\u90fd\u6709\u5176\u4f18\u70b9\uff0c\u5e76\u4e14\u5728\u53ef\u9884\u89c1\u7684\u672a\u6765\u90fd\u53ef\u80fd\u5171\u5b58\u3002<\/p>\n

\u96c6\u6210\u6fc0\u5149\u5668\u548c\u7845\u5149\u5b50SOA\u5c06\u8fc5\u901f\u53d1\u5c55\u3002\u5927\u591a\u6570\u6676\u5706\u5382\u5c06\u63d0\u4f9b\u96c6\u6210\u6fc0\u5149\u5668\uff0cWPE\u8d85\u8fc720%\u3002\u5c06\u652f\u6301\u591a\u6ce2\u957f\u6fc0\u5149\u5668\u548c\u53ef\u8c03\u8c10\u6fc0\u5149\u5668\u3002<\/p>\n

\u7845\u5149\u5b50\u6700\u7ec8\u5c06\u4ece\u53ef\u63d2\u62d4\u6536\u53d1\u5668\u8f6c\u5411\u5176\u4ed6\u6210\u529f\u7684\u5546\u4e1a\u4ea7\u54c1\uff0c\u5e7f\u6cdb\u5e94\u7528\u4e8eCPO\u548cxPU\u5e94\u7528\u3002\u4f7f\u7528\u63d2\u5165\u5668\u548c\u5c0f\u82af\u7247\u67b6\u6784\u6784\u5efa\u7684\u590d\u6742\u7cfb\u7edf\u5c06\u91c7\u7528\u5149\u5b50\u6280\u672f\u8fdb\u884c\u4e92\u8fde\u3002\u76f8\u5e72\u5149\u5b50\u5c06\u8fdb\u4e00\u6b65\u53d1\u5c55\u2014\u2014\u4f8b\u5982\u7528\u4e8e\u5185\u90e8\u901a\u4fe1\uff08\u751a\u81f3\u6570\u636e\u4e2d\u5fc3\u5185\u90e8\uff09\u3001\u4f20\u611f\uff08FMCW\u6fc0\u5149\u96f7\u8fbe\u3001\u751f\u7269\u4f20\u611f\uff09\u548c\u8ba1\u7b97\u3002<\/p>\n

\u57fa\u4e8e\u7b49\u79bb\u5b50\u4f53\u8272\u6563\u7684\u8c03\u5236\u5668\u5c06\u7ee7\u7eed\u5145\u5206\u7528\u4e8e\u8bb8\u591aWDM\u901a\u4fe1\u5e94\u7528\uff0c\u4f46\u4e0e\u6b64\u540c\u65f6\uff0cPockels\u8c03\u5236\u5668\u548c\u79fb\u76f8\u5668\u5c06\u5728SOI CMOS\u5de5\u827a\u4e2d\u5546\u4e1a\u5316\u3002LNOI\u5c06\u88ab\u5f15\u5165\u7845\u5149\u5b50\u5de5\u827a\u4e2d\uff0c\u7528\u4e8e\u9700\u8981\u975e\u5e38\u9ad8\u901f\u8c03\u5236\u548c\u4f4eV\u03c0\u7684\u5e94\u7528\uff0c\u5c3d\u7ba1\u5b83\u4eec\u7684\u5c3a\u5bf8\u8f83\u957f\u3002<\/p>\n

\u540c\u6837\uff0c\u9ad8\u6548\u70ed\u5149\u52a0\u70ed\u5668\u4e0d\u4f1a\u5728\u4e00\u591c\u4e4b\u95f4\u63a8\u51fa\u3002\u4f46\u662f\uff0c\u5bf9\u7406\u60f3\u7684\u4f4e\u529f\u8017\u79fb\u76f8\u5668\u7684\u8ffd\u6c42\u5c06\u5e26\u6765\u4e00\u4e2a\u771f\u6b63\u80fd\u591f\u5b9e\u73b0LSI\/VLSI\u5e94\u7528\u7684\u89e3\u51b3\u65b9\u6848\u3002\u8bb8\u591a\u6280\u672f\u6b63\u5728\u7ade\u4e89\uff0c\u660e\u663e\u7684\u8d62\u5bb6\u5c1a\u672a\u51fa\u73b0\u3002<\/p>\n

\u5546\u7528\u6676\u5706\u5382\u901a\u5e38\u652f\u6301\u591a\u5c42SiN\u548cSi\uff0c\u5e76\u5c06\u9488\u5bf9\u8fd9\u4e9bSiN\u5c42\u4f18\u5316\u9ad8\u6027\u80fd\u65e0\u6e90\u5143\u4ef6\uff08\u6ee4\u6ce2\u5668\u3001\u5ef6\u8fdf\u7ebf\uff09\u3002<\/p>\n

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\u5149\u7ea4\u5230PIC\u8026\u5408\u7684IL\u3001\u5e26\u5bbd\u548c\u7247\u4e0a\u9762\u79ef\u5c06\u4e0d\u65ad\u6539\u5584\uff0c\u5178\u578b\u7684IL\u5c06\u4f1a\u964d\u81f3<0.5 dB\u3002<\/p>\n

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