5月16日，據(jù)日媒導報，住友重工子公司—住友重工離子技術(shù)公司最早將于2025年在市場上推出用于碳化硅(SiC)功率半導體的離子注入機。 source：住友重工離子技術(shù)公司 報介紹，離子注入設備將磷、硼等雜質(zhì)離子注入晶圓中，以改變其電特性。對于硅晶片，在離子注入后進行熱處理以恢復...  [詳內(nèi)文]