據(jù)外媒報道，日本Nitride Semiconductors已開發(fā)出一款波長為365nm的UV LED芯片，并宣稱是首個用于半導(dǎo)體和PCB制程曝光系統(tǒng)的紫外光源。
據(jù)悉，用于半導(dǎo)體制程的曝光系統(tǒng)目前仍使用紫外汞燈，存在待機(jī)時間長、工作壽命短、紫外光照度穩(wěn)定性低、開關(guān)控制不便等功能性限制問題。另外，由于環(huán)境污染問題，預(yù)計《水俁公約》的實(shí)施將推動LED光源加快替代含汞光源。
Nitride Semiconductors表示，波長為365nm的新型NS365L-9RXT UV LED芯片具有效率高、節(jié)能且壽命長等特點(diǎn)，在正向電流If為3A，正向電壓Vf為4.6V的條件下，紫外輸出功率為3.2W。同時，這款UV LED結(jié)構(gòu)非常緊湊，尺寸為9mm(長) x 9mm(寬) x 8.5mm(高)，因此安裝密度更高。
新型UV LED還具有適用于半導(dǎo)體曝光的窄發(fā)光角。通常情況下，半導(dǎo)體制程為實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)曝光，需要使用平行光。然而，由于UV LED光源發(fā)光角比較寬（約120°），用于曝光所獲的光量往往不足。因此，通過結(jié)合深度反射鏡與高透光率透鏡，該公司實(shí)現(xiàn)了小于或等于15°的發(fā)光角。這表明UV LED有可能直接替換傳統(tǒng)曝光系統(tǒng)所用的UV光源，無需購買新的UV LED曝光系統(tǒng)。(LEDinside Janice編譯)
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