7月11日，半導體離子注入解決方案供應商Axcelis Technologies，Inc.（以下簡稱“Axcelis”）宣布，其向全球領先的碳化硅（SiC）功率器件芯片制造商批量出貨Purion Power系列?離子注入機系統(tǒng)。
Axcelis表示，這些出貨均在第二季度交付，其中包括為美國一家領先的碳化硅功率器件制造商提供的Purion H200 SiC評估系統(tǒng)，以及為亞洲客戶提供的多種收入系統(tǒng)。
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據介紹，交付的Purion Power系列注入機型號包括Purion H200?高電流、Purion EXE?高能量、Purion XE高能量和Purion M?中電流注入器。這些系統(tǒng)將用于支持汽車行業(yè)電動汽車（EV）應用的功率器件的大批量生產。其中幾個系統(tǒng)是從韓國的Axcelis亞洲運營中心發(fā)貨。
此前5月，Axcelis宣布，公司向歐洲和亞洲功率器件芯片制造商客戶交付了多臺Purion H200 SiC Power Series?離子注入系統(tǒng)，并將用于支持電動汽車(EV)應用的功率器件大批量生產。
Axcelis總裁兼首席執(zhí)行官Russell Low稱，由于向電動汽車的過渡，碳化硅功率器件市場繼續(xù)快速增長。該市場是公司增長的關鍵驅動力，公司將繼續(xù)滲透新客戶，并擴大其在現有客戶中的覆蓋范圍。公司預計，2023年公司超過55%的系統(tǒng)收入將來自整個功率器件領域。（文：全球半導體觀察）
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