思銳半導(dǎo)體先進裝備研發(fā)制造中心獲專項激勵補助資金

作者 | 發(fā)布日期 2025 年 07 月 21 日 14:46 | 分類 企業(yè)

近日,山東省發(fā)展改革委下達2025年度省新舊動能轉(zhuǎn)換重大產(chǎn)業(yè)攻關(guān)項目激勵補助資金計劃,青島市12個項目獲得省級專項激勵補助資金2430萬元。其中,思銳半導(dǎo)體先進裝備研發(fā)制造中心項目、海爾膠州冰箱智能制造(二期)項目因技術(shù)引領(lǐng)性強、建設(shè)進度良好均獲得最高補助額度400萬元。

今年6月思銳半導(dǎo)體先進裝備研發(fā)制造中心在青島自貿(mào)片區(qū)正式落成并投入生產(chǎn),該項目由思銳智能與青島城投集團聯(lián)合打造,聚焦原子層沉積鍍膜(ALD)和離子注入機(IMP)兩大關(guān)鍵半導(dǎo)體前道設(shè)備的研發(fā)與規(guī)?;a(chǎn)。

資料顯示,思銳智能主要聚焦半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,旨在提供具有自主可控關(guān)鍵核心技術(shù)的系統(tǒng)裝備產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)方案。其ALD和IMP設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路、以功率與化合物為代表的第三代半導(dǎo)體、新能源、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等諸多高精尖領(lǐng)域。

另據(jù)媒體報道,思銳半導(dǎo)體先進裝備研發(fā)制造中心項目研制的4.5MeV高能離子注入機打破國際壟斷、填補國內(nèi)空白;12英寸原子層沉積設(shè)備(ALD)獲得全球頭部企業(yè)重復(fù)訂單,功率化合物半導(dǎo)體市場占有率全球領(lǐng)先。

 

(集邦化合物半導(dǎo)體整理)

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