深耕化合物半導(dǎo)體,48所拿下超億元MOCVD設(shè)備訂單

作者 | 發(fā)布日期 2025 年 07 月 28 日 17:08 | 分類 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

近期,中國電科第四十八研究所(以下簡稱“48所”)與國內(nèi)某頭部企業(yè)簽訂超億元MOCVD設(shè)備訂單,并與國內(nèi)頭部砷化鎵電池企業(yè)簽訂大規(guī)模MOCVD供貨戰(zhàn)略合作協(xié)議。

據(jù)悉,48所自研的MOCVD設(shè)備是一款專用于III-V族化合物半導(dǎo)體材料外延生長的關(guān)鍵裝備,該設(shè)備以砷/磷材料體系為核心,可高效制備砷化鎵、磷化銦等材料。

同時,該設(shè)備適用于光電激光器、射頻器件、空間太陽電池等領(lǐng)域,為5G通信、人工智能和自動駕駛等新興技術(shù)提供了核心材料制備平臺。設(shè)備集成了在線監(jiān)測、全自動傳輸?shù)认冗M(jìn)技術(shù),在材料均勻性、界面陡峭度和摻雜精度等關(guān)鍵指標(biāo)上均達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。

資料顯示,48所是國內(nèi)化合物半導(dǎo)體外延裝備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)之一,已成功推出SiC外延爐、MBE設(shè)備及MOCVD等系列化設(shè)備。此次MOCVD設(shè)備的最新突破,將進(jìn)一步拓寬48所在半導(dǎo)體領(lǐng)域的業(yè)務(wù)范疇,更好助力國家半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)的建設(shè)。

 

(集邦化合物半導(dǎo)體整理)

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