據(jù)外媒報(bào)道，澳大利亞BluGlass公司正在與德國(guó)的沉積設(shè)備制造商Aixtron （愛(ài)思強(qiáng)）合作，以評(píng)估BluGlass的RPCVD（遠(yuǎn)程等離子體化學(xué)氣相沉積）技術(shù)。
BluGlass選擇了Aixtron的系統(tǒng)，將RPCVD擴(kuò)展到批量生產(chǎn)的能力，首次集成將在BluGlass的悉尼Silverwater工廠進(jìn)行。據(jù)悉，BluGlass的RPCVD技術(shù)可實(shí)現(xiàn)III-V氮化物材料的低溫沉積，從而有可能提高器件的性能。
BluGlass的總經(jīng)理Giles Bourne表示，“我們非常高興獲得愛(ài)思強(qiáng)對(duì)我們這一重大擴(kuò)展項(xiàng)目的支持”，“這是展示RPCVD批量生產(chǎn)可行性的重要一步”。
愛(ài)思強(qiáng)集團(tuán)創(chuàng)新官Ken Teo博士說(shuō)，“在愛(ài)思強(qiáng)，我們一直在努力將新技術(shù)引入我們的平臺(tái)”，“我們希望探索RPCVD技術(shù)在氮化物層低溫沉積方面的潛力，這可能為光電/電子設(shè)備開(kāi)辟新的可能性；我們期待與BluGlass合作，整合RPCVD并評(píng)估該技術(shù)。”（編譯：LEDinside James）
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