深圳特區(qū)報近日報道，深圳市納設(shè)智能裝備股份有限公司（以下簡稱“納設(shè)智能”）在碳化硅裝備技術(shù)上取得了突破。
當(dāng)前碳化硅憑借優(yōu)異性能在新能源汽車、智能電網(wǎng)等下游領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大應(yīng)用潛力，然而應(yīng)用于碳化硅材料生產(chǎn)核心環(huán)節(jié)的外延設(shè)備其國產(chǎn)化之路卻面臨諸多阻礙，高溫沉積均勻性設(shè)備穩(wěn)定性等核心技術(shù)長期受制于人。
面對困境，納設(shè)智能創(chuàng)始人陳炳安帶領(lǐng)團隊自主研發(fā)可獨立控制的多區(qū)進氣系統(tǒng)，顯著提升了設(shè)備工藝的均勻性，并通過與深圳先進院成立聯(lián)合實驗室成功將碳化硅外延設(shè)備工藝良率提升至98%。
針對進口碳化硅外延設(shè)備耗材成本高、維護復(fù)雜的痛點，納設(shè)智能推出創(chuàng)新的反應(yīng)腔室設(shè)計，使耗材成本降低30%，同時大幅降低維護難度。
數(shù)年間，陳炳安帶領(lǐng)團隊攻克技術(shù)壁壘成功研發(fā)5款化學(xué)氣相沉積設(shè)備，填補了國內(nèi)先進材料產(chǎn)業(yè)鏈上游關(guān)鍵設(shè)備的空白。
目前，納設(shè)智能的碳化硅外延設(shè)備已實現(xiàn)全面產(chǎn)業(yè)化。在光伏鈣鈦礦領(lǐng)域，納設(shè)智能也正全力推進大尺寸設(shè)備研發(fā)，預(yù)計年內(nèi)實現(xiàn)產(chǎn)品上市。
（集邦化合物半導(dǎo)體整理）
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