近日據(jù)平頂山市生態(tài)環(huán)境局官網(wǎng)消息，平頂山市生態(tài)環(huán)境局?jǐn)M對(duì)河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司（以下簡(jiǎn)稱：中宜創(chuàng)芯）年產(chǎn)1000噸電子級(jí)高級(jí)碳化硅粉體項(xiàng)目（一期）環(huán)境影響報(bào)告書進(jìn)行批準(zhǔn)。
據(jù)悉，項(xiàng)目總投資6億元，本次僅針對(duì)一期工程，主要建設(shè)年產(chǎn)500噸電子級(jí)高純碳化硅粉體生產(chǎn)線（生產(chǎn)區(qū)包含混料間、粉料合成間、純化間、原材料庫(kù)、成品庫(kù)等，辦公區(qū)包含會(huì)議室、辦公室等）、公用和環(huán)保配套設(shè)施設(shè)備等。
該項(xiàng)目采用改進(jìn)自蔓延高溫合成法（SHS）制備碳化硅粉體工藝（原料按一定化學(xué)計(jì)量比通過(guò)多向運(yùn)動(dòng)混合機(jī)將原料Si粉和C粉混合均勻，并裝入石墨坩堝中；然后將石墨坩堝放入原料合成爐，關(guān)爐，待真空抽至0.0001Pa以下后，充入氬氣等至所需壓強(qiáng)；接著按一定升溫速率進(jìn)行升溫至所需溫度進(jìn)行高溫合成，待一段時(shí)間后，降溫停爐。出爐后的碳化硅為塊狀，利用晶體一體機(jī)進(jìn)行破碎、研磨和篩分，破碎、研磨用來(lái)消除結(jié)塊和晶須，篩分使得粒徑分級(jí)，之后進(jìn)入純化爐進(jìn)行焙燒，除去未反應(yīng)的碳和浮灰，冷卻后包裝、標(biāo)記、入庫(kù)），設(shè)備均采用相符原料合成爐，所用原料Si粉和C粉純度均為6N以上，在高溫下持續(xù)反應(yīng)，最后得到高純碳化硅粉體。
作為該項(xiàng)目主導(dǎo)方，中宜創(chuàng)芯成立于2023年5月24日，由中國(guó)平煤神馬控股集團(tuán)和平頂山發(fā)展投資控股集團(tuán)共同出資設(shè)立。
項(xiàng)目方面，中宜創(chuàng)芯正在分期建設(shè)年產(chǎn)2000噸碳化硅半導(dǎo)體粉體生產(chǎn)線，總投資20億元。其中，項(xiàng)目一期總投資6億元，年產(chǎn)能500噸，占地12000平方米，于2023年6月20日開工建設(shè)，9月20日項(xiàng)目建成并試生產(chǎn)，9月30日首批產(chǎn)品出爐。
隨后在今年5月，中宜創(chuàng)芯碳化硅半導(dǎo)體粉體500噸生產(chǎn)線成功達(dá)產(chǎn)，產(chǎn)品純度最高達(dá)到99.99999%，已在國(guó)內(nèi)多家企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)開展試用和驗(yàn)證。
技術(shù)方面，作為一家碳化硅半導(dǎo)體粉體研發(fā)、生產(chǎn)和銷售企業(yè)，中宜創(chuàng)芯擁有先進(jìn)的粉體合成爐和自動(dòng)化無(wú)污染破碎技術(shù)，其產(chǎn)品具有單爐產(chǎn)能大、顆粒度大、純度高、阿爾法含量高和游離碳低等優(yōu)點(diǎn)，更適合8英寸碳化硅厚單晶的生長(zhǎng)。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）
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