2022年12月30日,2022年株洲市項目建設“百日攻堅”行動重大項目開竣工活動正式舉行?;顒蝇F場共有76個項目集中開竣工,總投資306.9億元,半導體用碳化硅蝕刻環(huán)項目便是其中一個。
據悉,SiC刻蝕環(huán)是半導體材料在等離子刻蝕環(huán)節(jié)中的關鍵耗材。SiC刻蝕環(huán)對純度要求極高,只能...  [詳內文]
總投資2.5億,半導體用碳化硅蝕刻環(huán)項目竣工 |
作者 lin, lynn|發(fā)布日期 2023 年 01 月 03 日 18:00 | 分類 碳化硅SiC |