2022年12月30日，2022年株洲市項(xiàng)目建設(shè)“百日攻堅(jiān)”行動(dòng)重大項(xiàng)目開竣工活動(dòng)正式舉行?；顒?dòng)現(xiàn)場(chǎng)共有76個(gè)項(xiàng)目集中開竣工，總投資306.9億元，半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)項(xiàng)目便是其中一個(gè)。
據(jù)悉，SiC刻蝕環(huán)是半導(dǎo)體材料在等離子刻蝕環(huán)節(jié)中的關(guān)鍵耗材。SiC刻蝕環(huán)對(duì)純度要求極高，只能采用CVD工藝進(jìn)行生長(zhǎng)SiC厚層塊體，隨后經(jīng)精密加工而制得，主要用于半導(dǎo)體刻蝕工藝的制備環(huán)節(jié)。
本次竣工的半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)項(xiàng)目位于株洲高新區(qū)新馬工業(yè)園，總投資約2.5億元，占地約60畝，主要進(jìn)行半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)的研發(fā)、制造。項(xiàng)目全部建成運(yùn)營(yíng)后，預(yù)計(jì)年均營(yíng)收將達(dá)6億元。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫(kù)
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該項(xiàng)目由湖南德智新材料有限公司投資，該公司是一家專業(yè)從事碳化硅納米鏡面涂層及陶瓷基復(fù)合材料研發(fā)，生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。2020年，德智新材自主設(shè)計(jì)的國(guó)內(nèi)最大化學(xué)氣相沉積設(shè)備正式投入使用，SiC涂層石墨基座順利實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。（化合物半導(dǎo)體市場(chǎng) Winter整理）
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