首個(gè)1700V GaN HEMT器件發(fā)布

作者 | 發(fā)布日期 2024 年 01 月 24 日 17:17 | 分類 功率

近日,廣東致能科技團(tuán)隊(duì)與西安電子科技大學(xué)廣州研究院/廣州第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心郝躍院士、張進(jìn)成教授團(tuán)隊(duì)等等合作攻關(guān),通過(guò)采用廣東致能科技有限公司的薄緩沖層AlGaN / GaN外延片,基于廣州第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心中試平臺(tái),成功在6英寸藍(lán)寶石襯底上實(shí)現(xiàn)了1700V GaN HEMTs器件。

相關(guān)研究成果于2024年1月發(fā)表于IEEE Electron Device Letters期刊。X. Li et al., “1700 V High-Performance GaN HEMTs on 6-inch Sapphire With 1.5 μm Thin Buffer,” IEEE Electron Device Lett., vol. 45, no. 1, pp. 84–87, Jan. 2024, doi: 10.1109/LED.2023.3335393.

圖1:150mm GaN HEMT器件及外延結(jié)構(gòu)圖

實(shí)現(xiàn)這一器件所采用的GaN外延材料結(jié)構(gòu)包括1.5μm薄層緩沖層和AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)。該外延結(jié)構(gòu)由廣東致能團(tuán)隊(duì)通過(guò)MOCVD方法在6英寸藍(lán)寶石襯底上外延實(shí)現(xiàn),其外延結(jié)構(gòu)如圖1所示。

1.5 μm的GaN緩沖層具有良好的晶體質(zhì)量和均勻性,晶圓級(jí)方塊電阻R□中值為342Ω /□,不均勻度為1.9 %。得益于絕緣的藍(lán)寶石襯底,緩沖層垂直漏電通道被切斷,外延/襯底界面處的橫向寄生通道也被顯著抑制。制備的LGD為30 μm的d – mode HEMT器件具有超過(guò)3000 V的高阻斷電壓(如圖2)和17Ω·mm的低導(dǎo)通電阻。

藍(lán)寶石上的薄緩沖層GaN技術(shù)可以顯著降低外延和加工難度,降低成本,使GaN成為1700 V甚至更高電平應(yīng)用的有力競(jìng)爭(zhēng)者。

圖2:GaN HEMT器件耐壓特性以及HTRB結(jié)果

藍(lán)寶石襯底上高性能GaN HEMTs的成功展示和評(píng)估為即將到來(lái)的1700 V商用GaN器件提供了一個(gè)非常有前景的選擇。1.5 μm的薄緩沖層表現(xiàn)出非常高的均勻性、出色的耐壓能力和可忽略不計(jì)的電流崩塌。制備的GaN HEMT器件在3000 V以上兼顧了低RON和高VBD,并通過(guò)1700 V的長(zhǎng)期HTRB應(yīng)力初步驗(yàn)證了其魯棒性。

此外,高均勻性、廉價(jià)襯底、簡(jiǎn)單外延等優(yōu)勢(shì)勢(shì)必會(huì)加速降低成本,推動(dòng)GaN HEMT走向更廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域。

來(lái)源:西安電子科技大學(xué)廣州研究院/廣州第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心、致能科技

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