近日，中導(dǎo)光電 披露，公司NanoPro-150納米級(jí)晶圓檢測(cè)設(shè)備再次獲得全球碳化硅（SiC）行業(yè)頭部客戶的復(fù)購(gòu)訂單，將用于該客戶8英寸SiC晶圓前道制程的缺陷檢測(cè)。
.jpg)
圖片來(lái)源：中導(dǎo)光電
相較于傳統(tǒng)6英寸SiC晶圓，8英寸SiC在單位成本、生產(chǎn)效率和良率控制上具有顯著優(yōu)勢(shì)，是未來(lái)功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的主流方向。中導(dǎo)光電董事長(zhǎng)表示，公司NanoPro-150系列設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率已達(dá)95%以上，在保證性能的同時(shí)大幅降低了客戶的設(shè)備投入成本。
此次訂單是客戶繼今年初批量采購(gòu)后，半年內(nèi)第二次追加。訂單獲取歷經(jīng)三個(gè)月嚴(yán)格的技術(shù)對(duì)標(biāo)，NanoPro-150在檢測(cè)效率、穩(wěn)定性及數(shù)據(jù)追溯性等核心指標(biāo)上全面達(dá)標(biāo)。
此前1月，中導(dǎo)光電表示，計(jì)劃在SiC晶圓納米級(jí)缺陷檢測(cè)領(lǐng)域投入更多研發(fā)資源，通過(guò)高精度多模式缺陷檢測(cè)技術(shù)的升級(jí)、人工智能AI缺陷識(shí)別算法的系統(tǒng)優(yōu)化以及設(shè)備整體性能的提升，進(jìn)一步提高SiC晶圓制造的質(zhì)量和效率。
目前，公司正在研發(fā)下一代檢測(cè)設(shè)備NanoPro-200和NanoPro-300，這些設(shè)備將具備更高的檢測(cè)精度和更廣泛的工藝覆蓋能力。其中，NanoPro-200的技術(shù)規(guī)格已達(dá)到40納米，并在AI智能化和自動(dòng)化方面取得了顯著突破。而第三代NanoPro-300也已進(jìn)入研發(fā)關(guān)鍵期。
（集邦化合物半導(dǎo)體 EMMA 整理）
更多SiC和GaN的市場(chǎng)資訊，請(qǐng)關(guān)注微信公眾賬號(hào)：集邦化合物半導(dǎo)體。