據(jù)LEDinsde了解,隨著紫外LED和Mini/Micro LED等新興產(chǎn)業(yè)如火如荼地發(fā)展,近兩年來,國內(nèi)外相關(guān)大企紛紛加購重要的MOCVD設備,很大程度推動了MOCVD設備的發(fā)展并刺激了市場需求。
昨(16)日晚間,MOCVD設備制造商中微半導體設備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”)公布了亮眼的2019年成績單。報告期內(nèi),該公司已開發(fā)出用于深紫外LED生長的高溫MOCVD設備,并且正在開發(fā)用于Mini/Micro LED的新型MOCVD設備。
中微公司主要從事高端半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,主要為集成電路、LED芯片、MEMS等半導體產(chǎn)品的制造企業(yè)提供刻蝕設備、MOCVD設備及其他設備。其中,MOCVD設備主要應用于藍綠光及紫外LED外延片和功率器件的生產(chǎn),目前已在行業(yè)領先客戶的生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn)。
報告期內(nèi),中微公司實現(xiàn)營收19.47億元,同比增長18.77%;實現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤1.89億元,同比增長107.51%。
值得注意的是,中微公司去年完成開發(fā)適用于深紫外LED生長的高溫MOCVD設備,可承載18片2寸外延片,主要應用于深紫外LED、紫外殺菌、工業(yè)水凈化等領域。
中微公司指出,MOCVD設備采購金額一般占LED生產(chǎn)線總投入的一半以上,是LED外延片制造中最重要的設備。目前MOCVD設備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導體材料外延生長,其中氮化鎵基LED MOCVD主要用于生產(chǎn)氮化鎵基LED的外延片。
除用于制造通用照明和背光顯示的藍光LED,MOCVD設備還可制造應用于高端顯示的Mini LED和Micro LED、用于殺菌消毒和空氣凈化的紫外LED、應用于電力電子的功率器件,隨著這些新興領域的應用拓展及逐步推廣,氮化鎵基MOCVD設備的市場規(guī)模有望進一步擴大。
報告顯示,中微公司的MOCVD設備已在全球氮化鎵基LED設備市場中占據(jù)領先地位。其中,用于制造深紫外光LED的MOCVD設備已在行業(yè)領先客戶端驗證成功。同時,用于Mini LED生產(chǎn)的MOCVD設備的研發(fā)工作正在有序進行中,并計劃推動相關(guān)驗證。此外,制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD設備也在開發(fā)中。
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