成都高新區(qū)電子信息產業(yè)局官微消息，2月18日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）與成都高新區(qū)簽訂投資合作協議。
中微公司將設立全資子公司——中微半導體設備（四川）有限公司，專注于高端邏輯及存儲芯片相關設備的研發(fā)和生產，涵蓋化學氣相沉積設備、原子層沉積設備及其他關鍵設備。
同時，中微公司還將建設研發(fā)及生產基地暨西南總部項目。項目總投資額約30.5億元，注冊資本1億元，并計劃購地約50余畝，用于建設研發(fā)中心、生產制造基地、辦公用房及附屬配套設施，以滿足量產需求。項目擬于2025年啟動建設，2027年正式投入生產。
中微公司成立于2004年，是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司。公司是國內高端半導體設備龍頭企業(yè)之一，其主營業(yè)務涵蓋了多個領域，包括集成電路、MEMS、LED等不同的下游半導體應用。近年，中微公司積極布局第三代半導體領域，其用于氮化鎵基LED外延生產的MOCVD設備已在行業(yè)領先客戶生產線上大規(guī)模投入量產。（集邦化合物半導體整理）
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