近期，2家國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商——拓荊科技和蘇州優(yōu)晶科技都有新消息傳來(lái)。
蘇州優(yōu)晶科技碳化硅（SiC）長(zhǎng)晶設(shè)備通過(guò)驗(yàn)收
4月29日， 蘇州優(yōu)晶科技宣布，公司最新出口至某國(guó)際知名客戶的大尺寸電阻法長(zhǎng)晶設(shè)備已順利通過(guò)驗(yàn)收。
source：蘇州優(yōu)晶科技
蘇州優(yōu)晶科技表示，此次出口的SiC電阻法長(zhǎng)晶設(shè)備，是優(yōu)晶科技根據(jù)市場(chǎng)需求研發(fā)的第四代產(chǎn)品。該設(shè)備達(dá)到了客戶的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，既是對(duì)公司產(chǎn)品的認(rèn)可，也為公司未來(lái)國(guó)際市場(chǎng)的拓展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
公開(kāi)資料顯示，蘇州優(yōu)晶半導(dǎo)體科技股份有限公司是一家專注于大尺寸（6英寸及以上）導(dǎo)電型SiC晶體生長(zhǎng)設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)及銷售的企業(yè)。公司于2019年成功研制出6英寸電阻法SiC單晶生長(zhǎng)設(shè)備，目前已推出至第四代機(jī)型——UKING ERH SiC RV4.0電阻法SiC長(zhǎng)晶設(shè)備，可用于6英寸、8英寸量產(chǎn)。
拓荊科技半導(dǎo)體先進(jìn)工藝裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目結(jié)構(gòu)封頂
近日，拓荊科技（上海）半導(dǎo)體先進(jìn)工藝裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目主體鋼結(jié)構(gòu)全面完工，順利封頂。
source：上海臨港
據(jù)介紹，該項(xiàng)目計(jì)劃總投資9.3億元，建筑面積約10萬(wàn)㎡，用于開(kāi)發(fā)先進(jìn)的ALD薄膜工藝技術(shù)及高產(chǎn)能設(shè)備平臺(tái)，并實(shí)現(xiàn)以臨港為中心客戶群所需半導(dǎo)體設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化。
公開(kāi)資料顯示，拓荊科技（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“拓荊科技”）成立于2020年12月，是拓荊科技股份有限公司在臨港設(shè)立的全資子公司。拓荊科技主要從事高端集成電路薄膜裝備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，聚焦半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，是國(guó)內(nèi)專用量產(chǎn)型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)。（集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）
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