3月19日，中微公司發(fā)布2023年年度報告。
中微公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司，致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。
中微公司主要擁有五類設備產(chǎn)品，分別是CCP電容性刻蝕機、ICP電感性刻蝕機、深硅刻蝕機、MOCVD、薄膜沉積設備、VOC設備。
在刻蝕設備業(yè)務的帶動下，2023年中微公司業(yè)績創(chuàng)歷史新高，公司實現(xiàn)營業(yè)收入62.64億元，同比增長32.15%；實現(xiàn)歸母凈利潤17.86億元，同比增長52.67%；公司總資產(chǎn)約215.26億元，較報告期初增長7.44%。報告期內(nèi)，中微公司新簽設備訂單83.60億元，同比增長32.30%，其中刻蝕設備新增訂單約69.5億元，同比增長約60.1%。
報告期內(nèi)，中微公司的刻蝕設備業(yè)務實現(xiàn)營收47.03億元，同比增長49.43%。中微公司表示，其刻蝕設備技術已達到5nm及以下，設備具備了更先進點的工藝水平，設備收到了多家客戶的批量訂單，市場占有率持續(xù)提升。
MOCVD設備營收則達到了4.62億元，同比下降約33.95%。中微公司表示，公司的MOCVD設備在Mini LED等氮化鎵基設備領域市場占有率較大份額，此外公司還在繼續(xù)開發(fā)用于氮化鎵、碳化硅等功率器件及Micro LED器件制造的MOCVD設備。報告期內(nèi)，受終端市場波動影響，2023年MOCVD設備訂單同比下降約72.2%。
目前，在LED領域，中微公司的MOCVD設備包括了用于LED藍光照明的PRISMO A7、用于深紫外LED的PRISMO HiT3、用于MiniLED顯示的PRISMO UniMax等產(chǎn)品。其中 PRISMO UniMax 產(chǎn)品自2021年6月正式發(fā)布以來，憑借高產(chǎn)量、高波長均勻性、高良率等優(yōu)點，受到下游客戶的廣泛認可。
而針對Micro LED應用的MOCVD設備目前開發(fā)順利，實驗室初步結(jié)果實現(xiàn)了優(yōu)良的波長均勻性能，并于報告期內(nèi)交運樣機至國內(nèi)領先客戶開展生產(chǎn)驗證。
在氮化鎵、碳化硅領域，中微公司于2022年推出了用于氮化鎵功率器件生產(chǎn)的MOCVD設備PRISMO PD5，已交付至國內(nèi)外領先客戶，并取得了重復訂單。而碳化硅功率器件外延生產(chǎn)設備正在開發(fā)中，報告期內(nèi)，中微公司取得較大的技術進展，實現(xiàn)了優(yōu)良的工藝結(jié)果，正與多家領先客戶開展商務洽談，預計2024年第一季度將開展客戶端生產(chǎn)驗證。
報告期內(nèi)，中微公司繼續(xù)加大研發(fā)與產(chǎn)能建設與投入，其研發(fā)費用提升至12.62億元，同比增長35.89%。項目建設方面，其位于南昌的約14萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地已于2023年7月投入使用；在上海臨港的約18萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地部分生產(chǎn)廠房及成品倉庫已經(jīng)于2023年10月投入使用；上海臨港約10萬平方米的研發(fā)中心暨總部大樓也即將封頂，未來將進一步提升中微公司的綜合競爭力。
中微公司表示，公司已形成三個維度擴展未來公司業(yè)務的布局規(guī)劃，將深耕集成電路關鍵設備領域、擴展在泛半導體關鍵設備領域應用并探索其他新興領域的機會。
在集成電路設備領域，公司考慮擴大在刻蝕設備領域的競爭優(yōu)勢，延伸到薄膜、檢測等其他關鍵設備領域；在泛半導體領域設備的應用，公司計劃擴展布局顯示、MEMS、功率器件等的關鍵設備；在其他新興領域的機會，公司擬探索利用獨特的設備及工藝技術，考慮從設備制造向器件大規(guī)模生產(chǎn)的機會，以及探索更多集成電路及泛半導體設備生產(chǎn)線相關環(huán)保設備及醫(yī)療健康智能設備等領域的市場機會。
文：集邦化合物半導體
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