據(jù)深圳國資消息，3月18日，重投天科與鵬進(jìn)高科、尚陽通科技正式簽署合作協(xié)議，共同聚焦于8英寸外延片功率器件工藝的聯(lián)合攻關(guān)。這一合作標(biāo)志著國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)在關(guān)鍵材料技術(shù)領(lǐng)域的深度協(xié)同，旨在突破高端功率器件制造中的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸。
source：深重投集團(tuán)
8英寸外延片是半導(dǎo)體制造中的重要基礎(chǔ)材料，其性能直接影響功率器件的效率和可靠性。當(dāng)前，高端外延片市場仍被國外企業(yè)占據(jù)較大份額，國內(nèi)企業(yè)在該領(lǐng)域的突破對于實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控具有重大意義。
公開資料顯示，重投天科憑借其在產(chǎn)業(yè)投資和資源整合方面的優(yōu)勢，為合作項(xiàng)目提供了堅(jiān)實(shí)的資金支持和戰(zhàn)略規(guī)劃。鵬進(jìn)高科在功率器件設(shè)計(jì)和制造工藝上擁有深厚的技術(shù)積累，而尚陽通科技則在半導(dǎo)體材料研發(fā)和生產(chǎn)方面具備強(qiáng)大實(shí)力。三方優(yōu)勢互補(bǔ)，形成了從材料研發(fā)到器件制造的完整技術(shù)鏈條。
此次合作不僅有助于突破外延片功率器件的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，還將推動國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同發(fā)展。通過聯(lián)合攻關(guān)，三家企業(yè)有望加速技術(shù)轉(zhuǎn)化，提升我國在高端功率器件領(lǐng)域的自給率，減少對進(jìn)口產(chǎn)品的依賴，為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
活動當(dāng)日，深圳國資委重點(diǎn)推介了深重投集團(tuán)的“國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺。據(jù)悉，深重投集團(tuán)的“國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺”聚焦打造具有全國重要影響力的第三代及第四代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心、中試轉(zhuǎn)化集聚中心、產(chǎn)業(yè)合作促進(jìn)中心，支撐國家重大戰(zhàn)略需求，服務(wù)行業(yè)高質(zhì)量可持續(xù)發(fā)展。
2024年11月中旬，深重投集團(tuán)投建的國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺正式亮相。據(jù)介紹，建成發(fā)布的深圳綜合平臺具備碳化硅、氮化鎵及超寬禁帶功率材料與器件研發(fā)、集成設(shè)計(jì)及試制能力。
據(jù)悉，深圳綜合平臺主要由三部分組成：
一、8英寸中試工藝平臺，可覆蓋第三代功率半導(dǎo)體襯底、外延、器件制備、封裝測試、失效分析、可靠性驗(yàn)證全鏈條，具備研發(fā)、中試與產(chǎn)業(yè)化能力；
二、功率半導(dǎo)體分析檢測中心，將為產(chǎn)業(yè)提供全面、細(xì)致且高效的服務(wù)和解決方案，幫助合作伙伴加速技術(shù)創(chuàng)新；
三、自主可控的第三代半導(dǎo)體工程服務(wù)平臺，提供復(fù)雜的計(jì)算機(jī)仿真、驗(yàn)證、培訓(xùn)、成果轉(zhuǎn)化服務(wù)。
在更早的2024年2月，由重投天科建設(shè)運(yùn)營的第三代半導(dǎo)體碳化硅材料生產(chǎn)基地在深圳啟動。項(xiàng)目總投資32.7億元，重點(diǎn)布局6英寸碳化硅單晶襯底和外延生產(chǎn)線。（集邦化合物半導(dǎo)體 王奇 整理）
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