隨著國內(nèi)半導(dǎo)體發(fā)展的勢頭越發(fā)旺盛，此前國產(chǎn)化率處于較低水平的半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域也借勢而起，相關(guān)企業(yè)融資、交付產(chǎn)品的消息隨之增多。
蓋澤科技完成新一輪數(shù)千萬級融資
近日，蓋澤精密科技（蘇州）有限公司（下文簡稱：“蓋澤科技”）完成了新一輪融資，該輪融資金額為數(shù)千萬元。本輪融資由蘇創(chuàng)投·國發(fā)創(chuàng)投、蘇高新融晟、元禾原點(diǎn)、澤禾創(chuàng)投、卓源資本等機(jī)構(gòu)聯(lián)合投資。這也是繼今年5月獲數(shù)千萬元Pre-A輪戰(zhàn)略融資后（Pre-A輪融資由小苗基金，蘇高新科創(chuàng)天使基金投資）,蓋澤科技再次獲得產(chǎn)業(yè)資本和蘇州政府資本的戰(zhàn)略投資 。
本輪融資將主要用于公司團(tuán)隊(duì)擴(kuò)充，新產(chǎn)品研發(fā)及市場拓，進(jìn)一步加速半導(dǎo)體檢測設(shè)備及高端傳感產(chǎn)品的深度開發(fā)、擴(kuò)大產(chǎn)品種類、加大人才和研發(fā)投入。
據(jù)悉，蓋澤科技專注于半導(dǎo)體光學(xué)量檢設(shè)備和工業(yè)智能光學(xué)傳感產(chǎn)品的研發(fā)和創(chuàng)新。半導(dǎo)體量測設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制造工藝中的缺陷檢測和參數(shù)測量，被廣泛應(yīng)用在晶圓制造、芯片制造、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫
優(yōu)睿譜薄膜厚度測量設(shè)備成功交付
同為國產(chǎn)半導(dǎo)體檢測設(shè)備廠商的優(yōu)睿譜，繼成功推出晶圓電阻率量測設(shè)備SICV200后，近日又成功交付客戶一款薄膜厚度測量設(shè)備Eos200DSR。
據(jù)介紹，優(yōu)睿譜Eos200DSR是一款兼容8/6英寸晶圓尺寸，用于測量SOI（Silicon-On-Insulator）晶圓表面多層不同材料薄膜厚度的全自動化設(shè)備。其中一個應(yīng)用是同時測量SOI晶圓的二氧化硅（BOX）和寬范圍頂層硅厚度。Eos200DSR可以在測量幾十納米至幾微米的BOX的同時，完成小于1微米至幾百微米的頂層硅厚度的測量。
該設(shè)備也可以應(yīng)用于其它材料的薄膜量測要求，比如新崛起的硅基鈮酸鋰等。
據(jù)悉，優(yōu)睿譜近期推出的碳化硅（SiC）襯底片位錯及微管檢測設(shè)備SICD200s / SICD200，將IC行業(yè)缺陷檢測中的線掃描技術(shù)（Line Scan）引入SiC襯底片中位錯和微管檢測，較于傳統(tǒng)的面掃技術(shù)，優(yōu)睿譜的SICD系列設(shè)備可快速實(shí)現(xiàn)整片晶圓的全掃描（全片掃描時間≤7分鐘），大幅提升客戶端檢測效率，同時保證檢測結(jié)果的真實(shí)性和可靠性，為SiC襯底晶圓的質(zhì)量保駕護(hù)航。
小結(jié)
近來，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測設(shè)備廠商新聞不斷。其中出現(xiàn)不少新興企業(yè)，為何大家將目光投向了半導(dǎo)體檢測設(shè)備？
據(jù)了解，半導(dǎo)體檢測設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制造過程中檢測芯片性能與缺陷，幾乎每一步主要工藝完成后都需要進(jìn)行，貫穿于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，廣義上根據(jù)測試環(huán)節(jié)分為前道檢測和后道檢測設(shè)備。
目前，前道檢測市場由科磊（KLA）、應(yīng)用材料（Applied Materials）、日立等企業(yè)占據(jù)大頭，后道檢測市場中，泰瑞達(dá)（Teradyne）及愛德萬（Advantest）處于領(lǐng)先地位。由于我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域起步晚，技術(shù)相對落后，占有的市場份額很少。雖然國內(nèi)廠商技術(shù)在逐漸升級，但是與國外龍頭還是有一定差距。
國內(nèi)半導(dǎo)體檢測設(shè)備之所以越來越被重視，系因?yàn)槲覈鴵碛腥蜃畲蟛?qiáng)有力的半導(dǎo)體市場，即便是全球半導(dǎo)體行業(yè)處于低谷周期，國內(nèi)的半導(dǎo)體市場依然熱度不減——荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備商ASM的2023第三季度報(bào)告指出，得益于中國市場的強(qiáng)力拉動，公司營收超出預(yù)期，這也意味著我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備擁有廣闊的發(fā)展空間。
隨著國內(nèi)SiC等半導(dǎo)體市場的爆火，無論是國內(nèi)相關(guān)廠商生產(chǎn)需要還是出于本土的巨大市場考量，加快推進(jìn)半導(dǎo)體檢測設(shè)備國產(chǎn)化是必然的趨勢。（文：集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）
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