廣州粵升、優(yōu)睿譜SiC相關設備完成出貨

作者 | 發(fā)布日期 2023 年 12 月 08 日 17:28 | 分類 企業(yè)

隨著碳化硅(SiC)產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展,相關設備廠商獲得了更多出貨機會,近日,又有兩家SiC相關設備廠商成功完成了批量出貨。

廣州粵升液相法SiC單晶爐批量出貨

11月13日,廣州粵升半導體設備有限公司(以下簡稱廣州粵升)多臺SiC設備產(chǎn)品批量出貨。據(jù)悉,其出貨產(chǎn)品-液相法SiC單晶爐,是SiC產(chǎn)業(yè)鏈中的關鍵環(huán)節(jié),可為客戶提供高質(zhì)量、低成本的SiC襯底新方案。

資料顯示,廣州粵升成立于2021年9月,專注于SiC外延設備、SiC晶體生長設備的研發(fā)和生產(chǎn),助力客戶生產(chǎn)高質(zhì)量的SiC外延片和晶片。

成立兩年以來,廣州粵升產(chǎn)品研發(fā)進展較快。2022年6月,廣州粵升與廣州海創(chuàng)產(chǎn)業(yè)技術研究院合作,成立SiC外延設備研發(fā)中心;11月,首臺SiC外延設備研發(fā)成功;2023年2月,廣州粵升開始液相法SiC單晶設備的研發(fā);9月,該公司SiC外延設備產(chǎn)品裝車交付;11月,液相法SiC單晶設備批量交付。

值得一提的是,廣州粵升自主研發(fā)的4/6英寸SiC外延設備,生長的4/6英寸SiC外延片質(zhì)量均達到國際先進水平,滿足MOSFET和SBD器件的制備要求,在一定程度上加速了SiC外延設備國產(chǎn)化進程。

圖片來源:拍信網(wǎng)正版圖庫

優(yōu)睿譜晶圓電阻率測量設備發(fā)貨兩家客戶

近日,優(yōu)睿譜半導體設備(無錫)有限公司(以下簡稱優(yōu)睿譜)宣布推出晶圓電阻率量測設備SICV200,目前已經(jīng)同時發(fā)貨兩家客戶。

據(jù)介紹,SICV200是一款用于測量硅片電阻率、SiC或其它半導體材料摻雜濃度的半導體量測設備,可支持對包括12英寸在內(nèi)的各種不同尺寸晶圓,進行多頻率下CV特性分析。機臺配置上,SICV200具有各種尺寸的半自動方案以及符合SEMI標準的全自動方案,可直接對接客戶工廠MES系統(tǒng),實現(xiàn)自動化生產(chǎn)。

資料顯示,優(yōu)睿譜成立于2021年,致力于打造高品質(zhì)的半導體前道量測設備。

今年7月,優(yōu)睿譜SiC自動光學位錯微管檢測設備SICD系列交付客戶,可用于SiC襯底的位錯及微管缺陷檢測。據(jù)介紹,較國內(nèi)同類功能的設備,SICD設備在檢測速度上提升了數(shù)倍。

此外,優(yōu)睿譜FTIR設備Eos200Lite可用于SiC外延片外延層厚度及均勻性測量,目前已獲得多家頭部SiC基外延廠訂單。未來,優(yōu)睿譜有望加快出貨速度。(集邦化合物半導體Zac整理)

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