中宜創(chuàng)芯將碳化硅粉體純度提升至99.999998%

作者 | 發(fā)布日期 2024 年 09 月 27 日 17:20 | 分類 企業(yè)

9月21日,有媒體從河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司(以下簡稱:中宜創(chuàng)芯)了解到,中宜創(chuàng)芯已將碳化硅粉體純度提升至7N8(99.999998%)。作為對(duì)比,據(jù)了解,目前國內(nèi)廠商電子級(jí)碳化硅粉體純度普遍維持在6N(99.9999%)。

中宜創(chuàng)芯碳化硅車間

source:中宜創(chuàng)芯

資料顯示,碳化硅粉體純度直接影響單晶的生長質(zhì)量和電學(xué)性能,純度越高,單晶的生長質(zhì)量和電學(xué)性能越優(yōu)秀。

據(jù)中宜創(chuàng)芯公司技術(shù)總監(jiān)楊正宏介紹,目前全球碳化硅粉體純度最高達(dá)8N(99.999999%),核心技術(shù)由一家國際行業(yè)巨頭掌握。表面看起來,中宜創(chuàng)芯和國際巨頭的產(chǎn)品純度差距很小,但實(shí)際上,中間還隔著很深的技術(shù)“護(hù)城河”。中宜創(chuàng)芯下一步的目標(biāo)就是調(diào)動(dòng)所有的資源,全力突破8N。

中宜創(chuàng)芯成立于2023年5月,是由中國平煤神馬控股集團(tuán)有限公司(以下簡稱:平煤神馬,持股比例70%)和平頂山發(fā)展投資控股集團(tuán)有限公司(持股比例30%)共同出資設(shè)立的合資公司,主要開展電子級(jí)高純碳化硅粉體和碳化硅襯底的生產(chǎn)和經(jīng)營業(yè)務(wù),其產(chǎn)品具有單爐產(chǎn)能大、顆粒度大、純度高、阿爾法含量高和游離碳低等優(yōu)點(diǎn),更適合8英寸碳化硅厚單晶的生長。

早在2021年,平煤神馬投資7000萬元,啟動(dòng)碳化硅基半導(dǎo)體材料示范線開發(fā)項(xiàng)目,主要研發(fā)生產(chǎn)碳化硅粉體和碳化硅襯底材料,旨在打造芯片材料產(chǎn)業(yè)“試驗(yàn)田”。

隨后在2023年1月4日,平煤神馬生產(chǎn)的碳化硅高純粉體和碳化硅晶錠成功下線。彼時(shí),平煤神馬生產(chǎn)線生產(chǎn)的碳化硅粉體產(chǎn)品純度已達(dá)6N5(99.99995%),碳化硅晶錠產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)國內(nèi)一流水平。

中宜創(chuàng)芯碳化硅粉體項(xiàng)目一期于2023年6月20日開工建設(shè),9月20日項(xiàng)目建成并試生產(chǎn),9月30日首批產(chǎn)品出爐。2023年國慶期間,經(jīng)權(quán)威機(jī)構(gòu)檢測(cè),中宜創(chuàng)芯首爐碳化硅粉體產(chǎn)品純度為99.99996%,達(dá)到國內(nèi)優(yōu)等品標(biāo)準(zhǔn)。

今年5月,中宜創(chuàng)芯碳化硅粉體項(xiàng)目一期500噸生產(chǎn)線成功達(dá)產(chǎn),產(chǎn)品純度最高達(dá)到99.99999%。預(yù)計(jì)明年年底,二期工程建成投產(chǎn),將實(shí)現(xiàn)2000噸年產(chǎn)能目標(biāo)。項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后,碳化硅粉體產(chǎn)品預(yù)計(jì)在國內(nèi)市占率超30%,全球市占率超10%。

產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展方面,目前國內(nèi)30多家企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)正在對(duì)中宜創(chuàng)芯產(chǎn)品進(jìn)行試用和驗(yàn)證。預(yù)計(jì)今年年底,其中10家以上企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)將完成產(chǎn)品驗(yàn)證并進(jìn)行批量購貨,并逐步實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。(集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理)

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