9月26日，瑤光半導(dǎo)體公司（下文簡稱“瑤光半導(dǎo)體”）公眾號發(fā)文稱，公司自研的首批SiC激光退火設(shè)備ES500-2量產(chǎn)下線，并舉行了交付儀式。
SiC激光退火設(shè)備ES500-2采用正向研發(fā)的思路，自主研發(fā)集成系統(tǒng)和光路設(shè)計，創(chuàng)新性使用六西格瑪穩(wěn)健性開發(fā)、可靠性設(shè)計，結(jié)合自研生產(chǎn)核心零部件，實(shí)現(xiàn)了長期、安全、穩(wěn)定、可靠運(yùn)行，滿足客戶的使用要求。
瑤光半導(dǎo)體（浙江）有限公司成立于2023年4月28日，從事于半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造和銷售。
該企業(yè)4月份簽約落地到如今的產(chǎn)品交付，其速度令人咂舌。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫
據(jù)悉，瑤光是浙江工業(yè)大學(xué)莫干山研究院今年引進(jìn)的重點(diǎn)項(xiàng)目，主要從事第三代寬禁帶半導(dǎo)體制程設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前公司已完成瑤光閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)，并擁有瑤光功率芯片背面激光退火方法，自主創(chuàng)新瑤光SiC外延生長方案，惰性氣體屏障技術(shù)等多項(xiàng)專有技術(shù)。
官微稱，瑤光半導(dǎo)體在研設(shè)備“星型SiC MOCVD”（ES600)，將持續(xù)加大自主研發(fā)力度，進(jìn)一步提供核心部件國產(chǎn)化解決方案。ES600計劃于今年四季度完成研發(fā)，這將有望填補(bǔ)國內(nèi)該市場領(lǐng)域的空白。
全球范圍內(nèi)，激光退火機(jī)市場主要集中在亞太地區(qū)，其中又以中國、日本、韓國等國家為主要參與者。
激光退火機(jī)市場集中度較高，高端市場幾乎被國外企業(yè)壟斷，其中三井集團(tuán)、日本住友重工、YAC BEAM、日本日立、應(yīng)用材料等企業(yè)市場占有率較高。
瑤光半導(dǎo)體現(xiàn)自研并產(chǎn)出交付SiC激光退火設(shè)備，這對打破該設(shè)備由外國市場壟斷的現(xiàn)狀有著積極意義。（文：集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）
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