集邦化合物半導(dǎo)體觀察到，近日，安森美、PVA TePla等企業(yè)分別就碳化硅（SiC）加工/長(zhǎng)晶領(lǐng)域達(dá)成了新的合作。
安森美與Entegris開展合作
8月7日，材料加工商Entegris宣布，公司已與安森美達(dá)成長(zhǎng)期供應(yīng)協(xié)議。根據(jù)協(xié)議條款，Entegris將為安森美提供一系列用于碳化硅（SiC）應(yīng)用的同步優(yōu)化CMP解決方案。
source：Entegris
Entegris指出，SiC作為新一代半導(dǎo)體雖然在功率器件等領(lǐng)域有著不俗表現(xiàn)，但其作為一種高硬度的材料，天然密度高且化學(xué)惰性強(qiáng)，晶圓表面加工難度大。
Entegris材料解決方案總裁Dann Woodland表示：“Entegris認(rèn)識(shí)到SiC技術(shù)具有光明且長(zhǎng)遠(yuǎn)的前景，包括電動(dòng)汽車、電力設(shè)備、可再生能源、無(wú)線通信和云計(jì)算在內(nèi)，許多行業(yè)的制造商越來(lái)越依賴SiC技術(shù)。公司寬泛的CMP解決方案組合有助于安森美等SiC晶圓制造商以高產(chǎn)量和低缺陷率拋光此類晶圓?！?/p>
PVA TePla收購(gòu)Scientific Visual 25%的股份
8月7日，SiC設(shè)備廠商PVA TePle宣布，公司已與Scientific Visual建立合作伙伴關(guān)系，并收購(gòu)了其25%的股份（價(jià)格并未披露），以進(jìn)一步加強(qiáng)雙方在SiC材料相關(guān)的合作。
通過(guò)收購(gòu)Scientific Visual的股份，PVA TePle集團(tuán)在計(jì)量和散裝材料表征領(lǐng)域的現(xiàn)有專業(yè)技術(shù)上又有了新的突破。合作前期，PVA TePle重點(diǎn)將放在SiC晶體的檢測(cè)上，目的是進(jìn)一步改善晶體生長(zhǎng)過(guò)程、晶體質(zhì)量，最后提高產(chǎn)量。
通過(guò)與Scientific Visual的獨(dú)家合作，PVA TePla正在擴(kuò)充其在SiC晶體缺陷檢測(cè)方面的專業(yè)知識(shí)。公司客戶能從中受益，他們能夠采用PVA TePla 解決方案生產(chǎn)SiC晶體來(lái)提高產(chǎn)量，從而獲得更高質(zhì)量的晶圓。
據(jù)悉，PVA TePla在SEMICON China 2024上推出了專供中國(guó)市場(chǎng)的首款SiC晶體生長(zhǎng)設(shè)備“SiCN”。該設(shè)備采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產(chǎn)SiC晶體，可兼容多種尺寸。
source：PVA TePla
隨著中國(guó)成為全球SiC產(chǎn)業(yè)的重要生產(chǎn)基地，PVA TePla集團(tuán)已在中國(guó)陜西西安建立了生產(chǎn)基地、演示中心及供應(yīng)鏈中心，專注于SiC晶體和大尺寸單晶硅片的生產(chǎn)。（集邦化合半導(dǎo)體Morty整理）
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