據(jù)企查查資料顯示，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)：大基金二期）入股了北京爍科中科信電子裝備有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)：爍科中科信），持股比例為8%。
據(jù)了解，爍科中科信成立于2019年6月，由中電48所和北京中科信離子注入機(jī)業(yè)務(wù)戰(zhàn)略整合而成，是國(guó)內(nèi)集成電路高端工藝裝備的領(lǐng)先企業(yè)，主營(yíng)業(yè)務(wù)包括半導(dǎo)體器件專(zhuān)用設(shè)備的制造。公司總部位于北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)（通州）光機(jī)電一體化產(chǎn)業(yè)基地，在長(zhǎng)沙設(shè)有分公司。
爍科中科信的產(chǎn)品聚焦集成電路主要應(yīng)用領(lǐng)域，同時(shí)涵蓋化合物半導(dǎo)體、材料加工制備等領(lǐng)域，已形成中束流、大束流、高能機(jī)、特種、化合物半導(dǎo)體等系列化離子注入機(jī)產(chǎn)品體系。
目前，爍科中科信已擁有中束流離子注入機(jī)、大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)和定制離子注入機(jī)四種產(chǎn)品，構(gòu)建了較為系統(tǒng)的集成電路離子注入機(jī)譜系。
在化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域，爍科中科信針對(duì)SiC市場(chǎng)，基于中束流離子注入機(jī)技術(shù)，推出了適用4-6英寸的定制注入機(jī)。目前，公司的特種注入機(jī)和化合物半導(dǎo)體注入機(jī)已出貨幾十臺(tái)。
資料顯示，離子注入機(jī)是集成電路制造摻雜工藝的主要設(shè)備，在器件小型化和多樣化方面起重要作用，研發(fā)難度極大。目前，離子注入機(jī)市場(chǎng)主要被美日企業(yè)壟斷，爍科中科信是國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)向終端客戶(hù)交付和驗(yàn)收離子注入機(jī)的公司，并已承擔(dān)十五、十一五、十二五離子注入機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，實(shí)現(xiàn)全系列集成電路離子注入機(jī)批量應(yīng)用，產(chǎn)業(yè)化能力達(dá)到28nm，面向第三代半導(dǎo)體離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)批量銷(xiāo)售。
由此可見(jiàn)，爍科中科信將成為我國(guó)實(shí)現(xiàn)電子元器件制造工藝裝備自主可控的重要力量，助力推動(dòng)關(guān)鍵裝備的國(guó)產(chǎn)化替代。當(dāng)前，爍科中科信已獲得大基金二期、中信建投資本、博時(shí)資本中芯聚源等知名投資機(jī)構(gòu)的投資，資金實(shí)力將逐步提升，有利于其加快設(shè)備研發(fā)、技術(shù)工藝突破、設(shè)備產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程。（化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)Jenny整理）
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