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通用智能交付8英寸SiC晶錠激光剝離產(chǎn)線

作者 |發(fā)布日期 2023 年 12 月 18 日 17:45 | 分類 企業(yè)
12月16日,河南通用智能裝備有限公司(以下簡稱通用智能)自主研發(fā)的8英寸碳化硅(SiC)晶錠剝離產(chǎn)線正式交付客戶。 據(jù)通用智能介紹,由于SiC高硬度、高脆性特點,在SiC器件制造領(lǐng)域存在一個難點——晶錠分割工藝過程。目前,SiC晶錠主要通過砂漿線/金剛石線切割,效率低且損耗高。...  [詳內(nèi)文]