近期，2家國產半導體設備廠商——拓荊科技和蘇州優(yōu)晶科技都有新消息傳來。
蘇州優(yōu)晶科技碳化硅（SiC）長晶設備通過驗收
4月29日， 蘇州優(yōu)晶科技宣布，公司最新出口至某國際知名客戶的大尺寸電阻法長晶設備已順利通過驗收。
source：蘇州優(yōu)晶科技
蘇州優(yōu)晶科技表示，此次出口的SiC電阻法長晶設備，是優(yōu)晶科技根據市場需求研發(fā)的第四代產品。該設備達到了客戶的驗收標準，既是對公司產品的認可，也為公司未來國際市場的拓展奠定了堅實的基礎。
公開資料顯示，蘇州優(yōu)晶半導體科技股份有限公司是一家專注于大尺寸（6英寸及以上）導電型SiC晶體生長設備研發(fā)、生產及銷售的企業(yè)。公司于2019年成功研制出6英寸電阻法SiC單晶生長設備，目前已推出至第四代機型——UKING ERH SiC RV4.0電阻法SiC長晶設備，可用于6英寸、8英寸量產。
拓荊科技半導體先進工藝裝備研發(fā)與產業(yè)化項目結構封頂
近日，拓荊科技（上海）半導體先進工藝裝備研發(fā)與產業(yè)化項目主體鋼結構全面完工，順利封頂。
source：上海臨港
據介紹，該項目計劃總投資9.3億元，建筑面積約10萬㎡，用于開發(fā)先進的ALD薄膜工藝技術及高產能設備平臺，并實現(xiàn)以臨港為中心客戶群所需半導體設備的產業(yè)化。
公開資料顯示，拓荊科技（上海）有限公司（以下簡稱“拓荊科技”）成立于2020年12月，是拓荊科技股份有限公司在臨港設立的全資子公司。拓荊科技主要從事高端集成電路薄膜裝備的研發(fā)、生產與銷售，聚焦半導體薄膜沉積設備，是國內專用量產型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD設備領軍企業(yè)。（集邦化合物半導體Morty整理）
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