中電科48所交付20臺(tái)SiC外延設(shè)備

作者 | 發(fā)布日期 2023 年 10 月 11 日 14:39 | 分類 企業(yè)

10月9日,中國(guó)電科第四十八研究所(下文簡(jiǎn)稱“中電科48所”)官方公眾號(hào)發(fā)文稱,在連續(xù)數(shù)月實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)20臺(tái)套產(chǎn)能驗(yàn)證后,制造部汲取批產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),及時(shí)調(diào)整裝調(diào)節(jié)奏、優(yōu)化生產(chǎn)管理,順利完成20臺(tái)套SiC外延設(shè)備的產(chǎn)出及發(fā)貨。

圖片來(lái)源:拍信網(wǎng)正版圖庫(kù)

據(jù)早先消息,在6英寸SiC外延機(jī)型方面,中電科48所收獲了國(guó)內(nèi)第三代半導(dǎo)體裝備行業(yè)的第一大訂單。該所研發(fā)的芯片制造關(guān)鍵裝備SiC高溫離子注入機(jī)已實(shí)現(xiàn)100%國(guó)產(chǎn)化,穩(wěn)居國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率第一。

今年6月,2023上海國(guó)際半導(dǎo)體展覽會(huì)上,中電科48所攜自主研發(fā)用于生產(chǎn)SiC外延片的國(guó)產(chǎn)8英寸SiC外延設(shè)備亮相,標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)第三代半導(dǎo)體專用核心裝備邁進(jìn)“8英寸時(shí)代”。
(文:集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理)

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