中導光電設備股份有限公司（下文簡稱“中導光電”）的納米級圖形晶圓缺陷光學檢測設備（NanoPro-150）于近日再次交付客戶。
據(jù)悉，前道圖形晶圓檢測設備是半導體芯片制造過程中的核心設備之一，技術門檻高，對提高產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本、推進工藝迭代起著重要作用。目前，雖然中國大陸已經(jīng)成為全球最大的前道量檢測市場，國內(nèi)廠商市場份額占比仍然較小。
此次交付用戶的NanoPro-150產(chǎn)品靈敏度系納米級序列，充分滿足半導體芯片90nm及以上產(chǎn)線制造工藝需求。該型號首臺設備于去年首次交付給國內(nèi)知名功率半導體企業(yè)使用，如今再次迎來訂單，表明了市場對該設備有著很高的認可度。
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NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端產(chǎn)品，除與國際頂尖公司同類產(chǎn)品在靈敏度、檢出速度等主要性能參數(shù)相近外，還開發(fā)和引入了許多先進的AI算法和軟件，進一步提高了信噪比，顯著提升了設備在關鍵制程的缺陷檢測靈敏度和檢出率。
此外，該設備還可兼容兩種不同的晶圓尺寸，如8英寸與12英寸、6英寸與8英寸、5英寸與6英寸等，拓展了設備使用范圍。
同時，該產(chǎn)品實現(xiàn)了精密光機電關鍵核心部件的國產(chǎn)化和自主可控，為產(chǎn)品的量產(chǎn)和穩(wěn)產(chǎn)提供了保障。
中導光電是國內(nèi)半導體及泛半導體前道圖形缺陷檢測設備的領軍企業(yè)。中導光電于成立以來的16年內(nèi)，在平板顯示（FPD）等工業(yè)領域，銷售各種亞微米（≥0.5μm）“有圖形”檢測設備近300臺。
公司目前進入銷售和量產(chǎn)的NanoPro-1XX系列產(chǎn)品和MDI亞微米檢測設備，加上NanoPro-2XX和NanoPro-3XX將先后進入市場，有望打破國內(nèi)企業(yè)重度依賴國外檢測設備的局面。（化合物半導體市場Morty整理）
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