2024年3月20日-22日，全球半導體產業(yè)盛會SEMICON China 2024在上海圓滿收官。作為全球高端半導體設備制造商，德國PVA TePla集團在本次展會上向業(yè)界展示了多款前沿技術產品，獲得了半導體客戶的廣泛關注。
展會期間，PVA TePla向行業(yè)隆重介紹了其產品家族里的新成員—為中國市場定制的首款碳化硅晶體生長設備“SiCN”?！癝iCN”結合了半導體行業(yè)生產特點，將德國的設計經驗和理念與中國本土化生產配套能力優(yōu)勢聯合，采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產碳化硅晶體，該款設備計劃于2024Q2投入市場。
Source：PVA TePla
“SiCN”設計全方位貼合工藝特性，以實現更低能耗和更優(yōu)效益，同時設備的高度一致性和自動化長晶控制可有效提高良率，助力提高最終產品的附加值和核心競爭力。另外，“SiCN” 具備模組化設計理念，可兼容多種尺寸，同時擁有經過實操認證的低功耗線圈設計，且占地面積小，布局緊湊。另外，該款設備非常適合工業(yè)化大規(guī)模生產的要求，其優(yōu)秀的工藝匹配性，可讓客戶在PVA設備上使用原有自身工藝，無需進行大幅改動。
Source：PVA TePla
PVA在晶體制造系統方面積累了超過60年的經驗，已形成了較為明顯的技術優(yōu)勢，這與其過往的并購經歷緊密相關，其中包括收購Leybold-Heraeus與Haldor-Topsoe，這是PVA晶體生長技術的核心來源。
PVA TePla集團半導體業(yè)務中國區(qū)負責人謝秀紅表示：“PVA已經掌握幾乎所有工業(yè)領域應用的晶體生長技術，無論是區(qū)熔法、直拉法、垂直梯度法，還是化學氣相傳輸法?；谶@些經驗，我們的所有設備追求非常極致的質量和安全標準，并且對系統的自動化、標準化都有著獨到的理解和技術訣竅?！?/p>
PVA TePla集團已在全球范圍內銷售大量的碳化硅晶體生長系統，并與全球領先的主流碳化硅襯底材料供應商共同研發(fā)并為其提供長晶設備，其設備穩(wěn)定性和產品質量一致性，在大尺寸碳化硅材料的研發(fā)過程中起到了關鍵作用。
隨著中國成為全球碳化硅產業(yè)的重要生產基地，PVA TePla集團已在中國陜西西安建立了生產基地、演示中心及供應鏈中心，旨在將高端設備國產化，以更好地助力中國半導體產業(yè)提升和發(fā)展，特別是碳化硅晶體和大尺寸單晶硅片的生產。
同時，為了堅定服務中國市場的決心，并貼合本土市場需求，德國PVA TePla集團也在進一步完善本地團隊技術服務，加強與下游合作伙伴的研發(fā)合作，并且提供更加專業(yè)化、定制化的本地支持，幫助合作伙伴更加便捷、快速的實現大規(guī)模生產能力。（來源：PVA TePla集團）
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