4月29日，據(jù)成都高新區(qū)天使投資協(xié)會官微消息，成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司（以下簡稱成都超純）于近日完成新一輪股權(quán)融資，由比亞迪股份獨家投資。
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官網(wǎng)資料顯示，成都超純（UPAM）成立于2005年，是一家以技術(shù)為先導(dǎo)的半導(dǎo)體刻蝕器件、高功率激光器件和特種陶瓷廠商，研發(fā)及廠房超過一萬平方米。
成都超純具有自主知識產(chǎn)權(quán)，開發(fā)了多類工藝，包括先進(jìn)表面處理工藝，可為半導(dǎo)體刻蝕器件和MOCVD器件提供專業(yè)的表面處理服務(wù)；提純工藝，可將材料的純度提純到5N以上；先進(jìn)陶瓷生產(chǎn)工藝，制造高密度碳化物和氮化物陶瓷；同時公司針對不同基底材料開發(fā)了一整套超光滑表面處理工藝來控制表面疵病，提高器件的使用壽命。
近年來，比亞迪持續(xù)投資化合物半導(dǎo)體相關(guān)廠商。2022年，比亞迪投資了半導(dǎo)體設(shè)備廠商邑文科技。2022年12月23日，邑文科技發(fā)生工商變更，新增比亞迪等新股東，注冊資本變更為1947.6655萬元。
據(jù)悉，邑文科技成立于2011年3月，專注于半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備的研發(fā)、制造，主要產(chǎn)品為刻蝕工藝設(shè)備和薄膜沉積工藝設(shè)備，應(yīng)用于半導(dǎo)體（IC及OSD）前道工藝階段，尤其是SiC、GaN等化合物半導(dǎo)體和MEMS等特色工藝領(lǐng)域。
2023年，比亞迪又入股一家半導(dǎo)體設(shè)備廠。2023年7月，長三角一體化示范區(qū)（浙江嘉善）嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司（以下簡稱嘉芯半導(dǎo)體）發(fā)生工商變更，新增股東比亞迪股份有限公司、深圳市創(chuàng)啟開盈創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)（有限合伙）；公司注冊資本從3.71億元增加到4.12億元。
截至2023年7月，嘉芯半導(dǎo)體累計訂單已突破4.6億元，其中包括氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側(cè)墻等離子刻蝕機等在內(nèi)的刻蝕設(shè)備，高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（PVD）等在內(nèi)的薄膜沉積設(shè)備。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）
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