近日，國產(chǎn)化合物半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)傳來兩個(gè)好消息：北京爍科中科信宣布特種離子注入機(jī)順利交付，粵升半導(dǎo)體宣布成功研發(fā)SiC外延設(shè)備。
北京爍科中科信
今日，北京爍科中科信宣布不特種離子注入機(jī)順利交付。就在4月，公司宣布北京總公司和長沙分公司實(shí)現(xiàn)12臺(tái)離子注入機(jī)先后順利交付，同比增長300%。一季度新簽合同再創(chuàng)新高，合同總額突破3.5億元，同比增長21%。
日前，爍科中科信大基金二期入股了爍科中科信，持股比例為8%。當(dāng)前，爍科中科信已獲得大基金二期、中信建投資本、博時(shí)資本、中芯聚源等知名投資機(jī)構(gòu)的投資。
在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。
根據(jù)離子束電流和束流能量范圍，離子注入機(jī)可分為三大類：中低束流離子注入機(jī)、低能大束流離 子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)。另外還有用于注入氧的氧注入機(jī)，或者注入氫的氫離子注入機(jī)等。
離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫
粵升半導(dǎo)體
昨日，廣州粵升半導(dǎo)體設(shè)備有限公司宣布其自主研發(fā)的4/6吋SiC外延設(shè)備，已無故障連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行近300小時(shí)，生長的4/6吋SiC外延片質(zhì)量均達(dá)到國際先進(jìn)水平，滿足MOSFET和SBD器件的制備要求。
粵升半導(dǎo)體成立于2021年，專注于SiC外延設(shè)備、單晶設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。（文：集邦化合物半導(dǎo)體 Arely整理）
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