12月20日，復旦大學高密度刻蝕機和介質刻蝕機采購項目中標結果公布。
項目中標人均為北方華創(chuàng)。其中，高密度刻蝕機采購項目，中標金額1500萬元，涉及標的物2臺高密度刻蝕機；介質刻蝕機采購項目，中標金額1050萬元，涉及標的物1臺介質刻蝕機。
同日，北京大學公布多項設備采購項目中標結果，包括北京大學集成電路學院原子層沉積設備采購項目、北京大學集成電路學院四管擴散爐采購項目、北京大學集成電路學院磁控濺射臺（金屬）采購項目、北京大學集成電路學院等離子增強原子層沉積設備采購項目、北京大學集成電路學院高密度等離子刻蝕系統(tǒng)采購項目、北京大學集成電路學院高密度等離子刻蝕機（Poly Si）采購項目、北京大學等離子增強化學氣相淀積系統(tǒng)采購項目。
以上項目中標人均為北方華創(chuàng)。其中，原子層沉積設備采購項目，中標金額395萬元，涉及標的物2套原子層沉積設備；四管擴散爐采購項目，中標金額435萬元，涉及標的物2套四管擴散爐；磁控濺射臺（金屬）采購項目，中標金額598.8萬元，涉及標的物2套磁控濺射臺（金屬）；等離子增強原子層沉積設備采購項目，中標金額495萬元，涉及標的物1套等離子增強原子層沉積設備。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫
高密度等離子刻蝕系統(tǒng)采購項目，中標金額1295萬元，涉及標的物2套高密度等離子刻蝕；高密度等離子刻蝕機（Poly Si）采購項目，中標金額598萬元，涉及標的物1套高密度等離子刻蝕機；等離子增強化學氣相淀積系統(tǒng)采購項目，中標金額1095萬元，涉及標的物1套等離子增強化學氣相淀積系統(tǒng)。
北方華創(chuàng)是國內集成電路高端工藝裝備的先進企業(yè)，主營半導體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件業(yè)務，為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。
今年前三季度，北方華創(chuàng)實現(xiàn)營收100.12億元，同比增長62.19%；歸屬于上市公司股東的凈利潤為16.86億元，同比大幅增長156.13%。（文：集邦化合物半導體 Cecilia整理）
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