中導(dǎo)光電設(shè)備股份有限公司（下文簡(jiǎn)稱(chēng)“中導(dǎo)光電”）的納米級(jí)圖形晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備（NanoPro-150）于近日再次交付客戶(hù)。 據(jù)悉，前道圖形晶圓檢測(cè)設(shè)備是半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中的核心設(shè)備之一，技術(shù)門(mén)檻高，對(duì)提高產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本、推進(jìn)工藝迭代起著重要作用。目前，雖然中國(guó)大陸已...  [詳內(nèi)文]