近日，中電科風華信息裝備股份有限公司推出首款具備完全自主知識產(chǎn)權(quán)的第三代半導體晶圓缺陷檢測設備—Mars 4410。目前，該設備已陸續(xù)發(fā)往國內(nèi)多家客戶進行使用。
Source：中電科風華
半導體制造工藝十分復雜，稍有差錯都可能影響芯片功效。半導體檢測貫穿半導體設計、晶圓制造、封裝三大流程，有效的檢測可以提高良率、控制成本。
Mars 4410 是碳化硅器件產(chǎn)線中的關鍵裝備，用于對碳化硅襯底片、外延片、腐蝕片的缺陷檢測。設計團隊經(jīng)過兩年不懈努力，攻克了激光散射、顯微成像等光學檢測核心關鍵技術。
Source：中電科風華
設備采用差分干涉相襯、光致發(fā)光、暗場等多種檢測手段，晶圓檢測可與數(shù)據(jù)分析并行處理，晶圓缺陷可與器件失效相關聯(lián)，具有低噪聲和高分辨率成像、高檢測通量、高檢出率和準確性等優(yōu)勢，能滿足提升 SiC 器件良率的需求。
中電科風華成立于1998年，注冊在山西轉(zhuǎn)型綜合改革示范區(qū)，隸屬于中國十大央企軍工集團—— 中國電子科技集團有限公司，是中國電科半導體裝備領域核心成員單位，是首批國家級創(chuàng)新型企業(yè)，國家級“專精特新”小巨人企業(yè)，國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心（山西）共建單位。
公司與浙江大學、之江實驗室、?？禉C器人開展產(chǎn)學研用深入合作，在半導體、高端裝備、電子信息等領域承擔了30余項國家級、省部級科技創(chuàng)新項目。產(chǎn)品布局分為半導體顯示、半導體檢測、光伏新能源、汽車電子、微電子等五大專用生產(chǎn)設備板塊。（文：集邦化合物半導體 Cecilia整理）
更多SiC和GaN的市場資訊，請關注微信公眾賬號：集邦化合物半導體。