近日，中電科風(fēng)華信息裝備股份有限公司推出首款具備完全自主知識產(chǎn)權(quán)的第三代半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測設(shè)備—Mars 4410。目前，該設(shè)備已陸續(xù)發(fā)往國內(nèi)多家客戶進(jìn)行使用。
Source：中電科風(fēng)華
半導(dǎo)體制造工藝十分復(fù)雜，稍有差錯都可能影響芯片功效。半導(dǎo)體檢測貫穿半導(dǎo)體設(shè)計、晶圓制造、封裝三大流程，有效的檢測可以提高良率、控制成本。
Mars 4410 是碳化硅器件產(chǎn)線中的關(guān)鍵裝備，用于對碳化硅襯底片、外延片、腐蝕片的缺陷檢測。設(shè)計團(tuán)隊經(jīng)過兩年不懈努力，攻克了激光散射、顯微成像等光學(xué)檢測核心關(guān)鍵技術(shù)。
Source：中電科風(fēng)華
設(shè)備采用差分干涉相襯、光致發(fā)光、暗場等多種檢測手段，晶圓檢測可與數(shù)據(jù)分析并行處理，晶圓缺陷可與器件失效相關(guān)聯(lián)，具有低噪聲和高分辨率成像、高檢測通量、高檢出率和準(zhǔn)確性等優(yōu)勢，能滿足提升 SiC 器件良率的需求。
中電科風(fēng)華成立于1998年，注冊在山西轉(zhuǎn)型綜合改革示范區(qū)，隸屬于中國十大央企軍工集團(tuán)—— 中國電子科技集團(tuán)有限公司，是中國電科半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域核心成員單位，是首批國家級創(chuàng)新型企業(yè)，國家級“專精特新”小巨人企業(yè)，國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（山西）共建單位。
公司與浙江大學(xué)、之江實驗室、?？禉C器人開展產(chǎn)學(xué)研用深入合作，在半導(dǎo)體、高端裝備、電子信息等領(lǐng)域承擔(dān)了30余項國家級、省部級科技創(chuàng)新項目。產(chǎn)品布局分為半導(dǎo)體顯示、半導(dǎo)體檢測、光伏新能源、汽車電子、微電子等五大專用生產(chǎn)設(shè)備板塊。（文：集邦化合物半導(dǎo)體 Cecilia整理）
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